技术总结
本实用新型公开了一种新型真空舱前级泵机组，它涉及真空泵机组领域，第一罗茨泵与第二罗茨泵连接，第二罗茨泵与第三罗茨泵连接，第三罗茨泵通过蝶阀二通与蝶阀和泵架弯头连接，泵架弯头的一端与内置管道泵架连接，内置管道泵架上安装有第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器，其中第一过滤器与第一旋片泵连接，第二过滤器与第二旋片泵连接，第三过滤器与第三旋片泵连接。它结构设计合理，安装简单，使用方便，相比之前的结构，该结构设计缩短了三分之一的抽气时间，大大的提高了工作效率，同时配合便携式可拆装的过滤器，大大增加了旋片泵的使用寿命，泵架上的罗茨泵间减少了90°弯头，使气流效率增加了10%以上。
技术研发人员：陈生贩;江裕捺;陈生镇;王蕾
受保护的技术使用者：上海宝镀真空设备科技有限公司
技术研发日：2017.06.13
技术公布日：2018.06.08