给管线36中。供给管线36与喷射栗24连接并且用于如箭头39所图示的那样供给动力气体，该动力气体例如可以是压缩空气。管线40与第一切换阀32的连接器38连接，该管线与供给管线36连接。因而，在第一切换阀的连接器38处存在动力气体的压力。第一切换阀32的另一入口经由管线44与第二切换阀34连接。此夕卜，第一切换阀32包括布置在连接器42那侧上的弹簧46。因而当连接器38处的压力高于连接器42处的压力和由弹簧42施加的力时，第一切换阀32处于打开位置(图1)。
[0032]第二切换阀具有连接器48，该连接器48经由管线50与主真空栗10的出口 16的区域连接。连接器52经由管线44与第一切换阀32的连接器42连接。第二切换阀34的另一连接器54经由管线56与动力气体供给管线连接。因而，在连接器54处存在动力气体的压力。此外，第二切换阀在连接器48的区域中与可调节弹簧58连接。
[0033]只要主真空栗10的出口 16处的压力下降并且因而第二切换阀的连接器48的区域中的压力也下降，第二切换阀即移动到图2中图示的位置中。这些时间例如可以是图3中用t3和t4指示的时间。通过以这种方式切换第二切换阀，管线56与管线44连接使得在第一切换阀32的连接器42处存在动力气体压力。由于由弹簧46额外地施加的力，第一切换阀切换至图2中图示的关闭位置。因此，没有更多的动力气体被供给至喷射栗24。
[0034]如果主真空栗的出口 16处的压力例如在待机模式下特别地由于存在泄漏而增大，则切换阀34在达到压力上限Pl (图3)时一一例如在时间t#P 15处一一返回到图1中图示的位置中。因此，第一切换阀32的连接器42处的压力下降使得由于在连接器38处仍然存在动力气体压力而使该阀被移回到图1中图示的位置中。因而，喷射栗24经由供给管线36被供给有动力气体，使得栗送得以执行。
[0035]在真空栗系统的另一优选实施方式(图4)中，相似和相同的部件用相同的附图标记标识。具体地，图4中图示的真空栗系统可以与图1和2中图示的真空栗系统组合。图4中图示的真空栗系统特别地用于保持喷射栗24在主栗送模式期间停用。为此，在图示的实施方式中，辅助控制装置具有电气切换阀60。该电气切换阀60设置在喷射栗24的沿动力气体的流动方向62观察的上游处。因此，喷射栗24仅在阀60打开时运转。在图示的实施方式中，阀60——其在优选实施方式中为可电气切换的阀——与电控制器64连接，而将控制器64集成在阀60中也是可行的。控制器64可以与栗入口 12处的压力传感器66、栗出口 16处的压力传感器68和/或电动马达一一此处未图示，其用于驱动主真空栗10—一的传感器70连接。相应的数据经由以点示出的线路而传输至控制器64。在这方面，可以设置两个传感器66、68，而且也可以设置两个压力传感器66、68中的仅一者。除了两个压力传感器66、68之外或者代替两个压力传感器66、68，可以设置对电动马达的性能进行检测的传感器70。控制器64可以处理相应的信号，尤其是在对多个传感器进行采样的情况下。如果需要，则阀60根据极限值一一这些极限值彼此组合一一进行切换。这里，值优选地被选择成使得阀60在主栗送模式期间关闭。
[0036]代替可电气切换的阀60，还能够设置辅助压力摇杆。压力摇杆根据存在于主真空栗10的入口 12和/或出口 16处的压力而切换，使得优选地只有当主栗送模式终止时才向辅助真空栗24供给动力气体。
[0037]基于图3中的曲线图中的示意性图示，主栗送模式可以限定在时间t。与时间t间。待机模式限定为从时间^开始。腔室14的排空开始于时间t。。为此，主真空栗10运转。如上面参照图4中图示的栗系统所描述的那样，喷射栗24在时间t。与时间t i之间不运转。根据应用的情况，喷射栗也可以在腔室14的排空期间在〖。至^的时段运转。使喷射栗在主栗送循环期间运转是可接受的，例如，当设备基本上在待机模式下运行并且因此在主栗送循环期间不需要单独的控制器来节约动力气体时或者当这种控制器将只产生可忽略的成本减少量时。因此，优选地当在时间t处达到压力ρ:时喷射栗24启用。从这时起，待机模式生效。在时间L处，喷射栗24启用。当在时间12处出口 16处达到所需的压力P。时，喷射栗24停用。由于出口 16处的压力增大至压力Pl，特别地由于泄漏，因此喷射栗24在时间t3处再次启用。因此，通过使用完全机械的控制装置，喷射栗24根据存在于出口处的压力在压力范围Δρ内启用和停用。
[0038]压力上限选地在500mbar (毫巴)至150mbar的范围内，更优选地在200mbar至300mbar的范围内。压力下限ρ。优选地在450mbar至lOOmbar的范围内，特别地在150mbar至250mbar的范围内。呈Δ ρ的形式的压差优选地在20mbar至200mbar的范围内，特别地在大约为50mbar。
【主权项】
1.一种真空栗系统，包括: 主真空栗(10)，所述主真空栗(10)适于与待排空的腔室(14)连接， 辅助栗(24)，所述辅助栗(24)与所述主真空栗(10)的出口(16)连接，以及 控制装置(32、34)，所述控制装置(32、34)用于在存在于所述主真空栗的所述出口(16)处的压力的限定范围(Δρ)内启用所述辅助栗(24)， 其特征在于， 所述控制装置(32、34)仅包括机械部件。2.根据权利要求1所述的真空栗系统，其特征在于，所述控制装置(32、34)包括压力摇杆，所述压力摇杆在不足压力下限(Ρ。)时使所述辅助栗(24)停用并且在超过压力上限(Pl)时使所述辅助栗(24)启用。3.根据权利要求1或2所述的真空栗系统，其特征在于，所述辅助栗设计为喷射栗(24)。4.根据权利要求2或3所述的真空栗系统，其特征在于，所述压力摇杆(32、34)打开或关闭动力气体的供给。5.根据权利要求3或4所述的真空栗系统，其特征在于，在用于将动力气体供给至所述喷射栗(24)的供给管线(36)中布置有第一切换阀(32)。6.根据权利要求5所述的真空栗系统，其特征在于，第二切换阀(34)与所述主真空栗的所述出口(16)连接。7.根据权利要求6所述的真空栗系统，其特征在于，在所述第一切换阀与所述第二切换阀之间布置有压力管线(44、56)。8.根据权利要求1至7中的一项所述的真空栗系统，其特征在于，所述辅助栗(24)布置在出口管线(18)的分支管线(22)中，所述出口管线(18)与所述主真空栗(10)的所述出口 (16)连接。9.根据权利要求8所述的真空栗系统，其特征在于，在所述出口管线(18)的与所述分支管线(22)的连接部的下游处布置有止回阀(30)。10.根据权利要求8或9所述的真空栗系统，其特征在于，在所述分支管线(22)中、于所述辅助栗(24)的上游布置有辅助止回阀(28)。11.一种真空栗系统，包括: 主真空栗(10)，所述主真空栗(10)适于与待排空的腔室(14)连接， 辅助栗(24)，所述辅助栗(24)与所述主真空栗(10)的出口(16)连接，以及 辅助控制装置(60)，所述辅助控制装置￠0)用于根据预定控制参数启用所述辅助栗。12.根据权利要求11所述的真空栗系统，其特征在于，所述预定控制参数被限定为实现待机模式。13.根据权利要求11或12所述的真空栗系统，其特征在于，所述预定控制参数被限定为不足所述主真空栗(10)的所述入口(12)处的压力值，所述主真空栗(10)的所述入口(12)处的压力值特别地借助于压力传感器￠6)来确定，所述压力限值优选地为lmbar。14.根据权利要求11至13中的一项所述的真空栗系统，其特征在于，所述预定控制参数被限定为不足所述主真空栗(10)的所述出口(16)处的压力值，所述主真空栗(10)的所述出口(16)处的压力值特别地借助于压力传感器￠8)来确定，所述压力限制优选地为1020mbaro15.根据权利要求11至14中的一项所述的真空栗系统，其特征在于，所述预定控制参数为一种性能，特别是驱动所述主真空栗(10)的电动马达的功率消耗。16.根据权利要求11至15中的一项所述的真空栗系统，其特征在于，所述辅助控制装置(60)包括可电气切换的阀，所述可电气切换的阀优选地布置在所述辅助栗(24)的沿流动方向￠2)观察的上游处。17.根据权利要求11至16中的一项所述的真空栗系统，其特征在于，所述辅助控制装置(60)包括辅助压力摇杆，所述辅助压力摇杆在存在于所述主真空栗的所述出口(16)和/或所述入口(12)处的压力不足时启用所述辅助栗(24)。18.根据权利要求11至17中的一项所述的真空栗系统，包括用于启用根据权利要求1至10中的一项所述的辅助栗(24)的控制装置(32、34)。
【专利摘要】本发明提供了一种真空泵系统，该真空泵系统具有用于对腔室(14)进行排空的主真空泵(10)。辅助泵(24)与主真空泵(24)的出口(16)连接。此外，控制装置(32、34)被提供用于使辅助泵(34)在存在于出口(16)处的压力的限定范围内启用。控制装置(32、34)仅包括机械部件。
【IPC分类】F04F5/54, F04B37/14, F04C18/16, F04B41/06, F04B49/00
【公开号】CN105484969
【申请号】CN201510632863
【发明人】丹尼尔·施奈登巴赫, 克里斯蒂安·拜尔, 哈特穆特·科瑞翰, 克劳斯-彼得·施利克
【申请人】厄利孔莱博尔德真空技术有限责任公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2015年9月29日
【公告号】DE202014007963U1