专利名称：一种游星轮片蚀刻法生产工艺的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种游星轮片的生产工艺，特别涉及一种研磨用游星 轮片蚀刻法生产工艺。
背景技术：
目前一般生产游星轮片采用比较广泛的都是机械冲压技术，即按 照产品图纸要求设计好相应的模具，利用模具对材料进行机械冲压形 成产品。这种方式是对金属材料进行物理切割，在对材料挤压冲裁过 程中容易使产品边缘产生毛刺，影响产品的良品率，加工精度一般也 比较低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种游星轮片蚀刻法生产工艺，采用精密 蚀刻方式进行生产。为达到上述目的，本发明的技术方案是-
游星轮片蚀刻法生产工艺，包括设计、制版、上料、清洗、感光 材料涂敷、曝光、显影、固化、蚀刻、剥膜、清洗、检验、包装过程， 其具体步骤如下-
(1) 、设计
用CAD制图，制版按A-T/2计算，其中A为腐蚀余量，T为原 材料厚度；
(2) 、制版 采用光电绘图仪制作菲林胶片版；
(3) 、上料
用剪板机将巻材切成板材；
(4) 、清洗
用清洗剂进行除油，然后再用清水清洗；
(5) 、感光材料涂敷对清洗烘干后的板材用丝网进行涂墨，墨层为感光性抗蚀油墨。 —面涂墨完成后进入红外烘干机里烘干，在烘道内进行传动烘干，完
成后再对另一面用同样的工艺进行涂墨、烘干；
(6) 、曝光
将已烘干的油墨板材夹在菲林胶片版中间进行紫外线双面曝光， 将胶片版上的图形复制到涂过油墨的板材上；
(7) 、显影
用2% 5%的Na2C03溶液作为显影液，在一定的温度和压力下对单 板进行显影，将未被曝光的部分显影掉，保留曝过光的图形；
(8) 、固化
显影后的单板用烘箱在150'C 20(TC的条件下进行固化，固化 时间3min 5min;
(9) 、蚀刻
采用蚀刻机喷淋蚀刻，FeCl3溶液在4(TC 55'C的温度和 0.15MPa 0.35MPa的腐蚀压力下进行蚀刻，FeCl3溶液的疲劳度、游 离酸、波美等参数通过分析根据实际检测数据，采用调整氧化剂的方 法保证FeCl3溶液的疲劳度，采用追加盐酸的方法保证FeCl3溶液的 游离酸浓度，采用追加纯水的方法保证FeCl3溶液的波美度；
(10) 、剥膜
将经过蚀刻的单板放入浓度为10% 20%,温度为90'C土10'C的 NaOH溶液进行剥膜处理；
(11) 、清洗烘干-
单板在剥膜处理后，依次用工业水、纯水清洗，然后进入60'C 90'C的烘道内烘干。
本工艺生产的游星轮片加工精度高、产品边缘比较光滑，能提高 游星轮片良品率，降低生产成本。
图l是本发明的工艺流程图。
图2是游星轮片的示意图
具体实施例方式
参见附图本发明的实施例工艺过程是
1、 设计
用CAD制图，制版按A-T/2计算，其中A为腐蚀余量，T为原
材料厚度；
2、 制版
采用光绘机制作菲林，在100倍显微镜下对位，对位偏差不超过
5Mm;
3、 上料
用剪板机将巻材剪切成产品所需要的板材尺寸，，
4、 清洗
对剪切好的板材用清洗剂进行除油，然后再用清水清洗；
5、 感光材料涂敷
对清洗烘干后的板材用丝网工艺进行涂墨，墨层为感光性抗蚀油 墨。待第一面涂墨完成后进入红外烘干机进行传动烘干，烘道温度范
围为90。C土20'C,完成后再对另一面用同样的工艺进行涂墨、烘干；
6、 曝光
将已烘干的油墨板材夹在菲林胶片版中间进行紫外线双面曝光， 将胶片版上的图形复制到涂过油墨的板材上，曝光时间3s 8s;
7、 显影
用2.0% 5.0%的Na2C03溶液作为显影液，显影温度45。C土5'C, 显影压力0.25 MPa土0.05 MPa,将未被曝光的部分显影掉，保留曝 过光的图形；
8、 固化
固化过程釆用烘箱，烘箱内温度200'C土10'C,固化时间200s 士10s;
9、 蚀刻
采用蚀刻机喷淋蚀刻，FeCla液的疲劳度在5% 15%,温度保持 40'C 55'C,腐蚀压力为0.15MPa 0. 35MPa; FeCl3溶液在40'C 55r的温度和0.15MPa 0. 35MPa的腐蚀压 力下进行蚀刻，FeCl3溶液的疲劳度、游离酸、波美等参数通过分析 手段掌握具体数值，并且采取添加氧化剂的方法保证FeCl3溶液的疲 劳度，采取追加盐酸的方法保证FeCh溶液的游离酸浓度，采取追加 纯水的方法保证FeCl3溶液的波美度；
10、 剥膜
将经过蚀刻的单板放入90'C土10'C的NaOH溶液中，NaOH溶液浓 度为10% 20%;
11、 清洗烘干
单板在剥膜处理后，用工业水、纯水清洗，然后进入60'C 90 'C的烘道内烘干；
另一实施例为喇叭网生产工艺，其工艺步骤如下
1、 设计
用CAD制图，制版按A-T/2计算(其中A为腐蚀余量，T为原
材料厚度)；
2、 制版
采用光电绘图仪制作菲林胶片版，在100倍显微镜下对一、二面 胶片版进行粘贴对位，对位偏差不超过5Mm;
3、 上料
用剪板机将巻材切成板材；
4、 清洗
对切好的板材用清洗剂进行除油，然后再用清水清洗
5、 感光材料涂敷
对清洗烘干后的板材用丝网进行涂墨，墨层为感光性抗蚀油墨。 一面涂墨完成后进入红外烘干机进行传动烘干，烘道温度范围为100 'C,完成后再对另一面用同样的工艺进行涂墨、烘干；
6、 曝光
将已烘干的油墨板材夹在菲林胶片版中间进行紫外线双面曝光， 将胶片版上的图形复制到涂过油墨的板材上，曝光时间为6s;
7、 显影
用Na2C03溶液作为显影液，用3.0%的Na2C03溶液作为显影液， 显影温度45'C土5'C,显影压力0.25土0.05Mpa,将未被曝光的部分 显影掉，保留曝过光的图形；
8、 固化
固化过程采用烘箱，烘箱内温度200'C,固化时间200s;
9、 蚀刻
采用蚀刻机喷淋蚀刻，FeCl3液的疲劳度在8 129&,温度保持45 'C,腐蚀压力为0.20Mpa;
10、 剥膜-
将经过蚀刻的单板放入90'C的NaOH溶液中，NaOH溶液浓度为
10%;
11、 清洗烘干
单板在剥膜处理后，用工业水、纯水清洗，然后进入80'C的烘 道内烘干；
由于本发明的游星轮片蚀刻法生产工艺具有机械加工的冲 裁加工所无法具有的优点，适用于重量较轻的细小零件的加工，对于 产品外观要求较高，对于产品零件不允许毛刺飞边存在的行业，具有 广阔的应用前景，同时，由于本发明的游星轮片蚀刻法生产工艺适合 于中小规模的生产，产品零件的精度高， 一致性较好，因而细小零件 的传统的冲裁加工方法可以用本发明的游星轮片蚀刻法生产工艺所 替代。
权利要求
1、一种游星轮片蚀刻法生产工艺，包括设计、制版、上料、清洗、感光材料涂敷、曝光、显影、固化、蚀刻、剥膜、清洗、检验、包装过程，其特征在于(1)、设计制图，计算预留制版腐蚀余量；(2)、制版制作菲林胶片版，在显微镜下对胶片版进行粘贴对位；(3)、上料用剪板机将卷材切成板材；(4)、清洗对切好的板材用清洗剂进行除油，然后再用清水清洗；(5)、感光材料涂敷对清洗烘干后的板材进行丝网涂墨，烘干；(6)、曝光将已烘干的油墨板材进行双面曝光，将胶片版上的图形复制到涂过油墨的板材上；(7)、显影将未被曝光的部分显影掉，保留曝过光的图形；(8)、固化显影后的单板用烘箱进行固化；(9)、蚀刻采用蚀刻机喷淋蚀刻；(10)、剥膜将经过蚀刻的单板放入NaOH溶液进行剥膜处理；(11)、清洗烘干单板在剥膜处理后，烘道内烘干处理。
2. 根据权利要求1所述的游星轮片蚀刻法生产工艺，其特征在 于步骤1中所述设计的腐蚀余量为加工板材厚度的一半。
3. 根据权利要求1所述的游星轮片蚀刻法生产工艺，其特征在 于步骤5中所述丝网涂墨层材料为感光性抗蚀油墨材料。
4. 根据权利要求1所述的游星轮片蚀刻法生产工艺，其特征在 于步骤6中将胶片版上的图形复制到涂过油墨的板材上，是将已烘 干的油墨板材夹在菲林胶片版中间进行曝光处理的。
5. 根据权利要求1所述的游星轮片蚀刻法生产工艺，其特征在 于步骤8中所述固化工艺的参数是，烘箱内温度200'C，固化时间 200s。
6. 根据权利要求1所述的游星轮片蚀刻法生产工艺，其特征在 于步骤9中采用蚀刻机喷淋蚀刻，FeCl3液的疲劳度在5yn 159fc，温 度保持40'C 55'C,腐蚀压力为0.15MPa 0. 35Mpa。
7. 根据权利要求1所述的游星轮片蚀刻法生产工艺，其特征在 于步骤(10)中所述剥膜工序是经过蚀刻的单板置入9CTC土10'C 的NaOH溶液中，NaOH溶液浓度为10% 20%。
全文摘要
一种游星轮片蚀刻法生产工艺，包括设计、制版、上料、清洗、涂墨烘干、曝光、显影、固化、蚀刻、剥膜、清洗、检验、包装过程。本发明的目的在于提供一种游星轮片蚀刻法生产工艺，采用精密蚀刻方式进行生产，本工艺生产的游星轮片加工精度高、产品边缘比较光滑，能提高游星轮片良品率，降低生产成本，由于本发明的游星轮片生产工艺适合于中小规模的生产，一致性较好，因而细小零件的传统的冲裁加工方法可以用本发明的游星轮片蚀刻法生产工艺所替代。
文档编号F16H55/17GK101377619SQ20081015101
公开日2009年3月4日 申请日期2008年9月17日 优先权日2008年9月17日
发明者新 王, 郑建博 申请人:彩虹集团电子股份有限公司