线性引导装置和致动器的制作方法

文档序号:11934558阅读:来源:国知局
技术总结
一种线性引导装置(10A),该线性引导装置构成致动器(12),该线性引导装置设置有:基座部分(20);滑动器(26),滑动器可滑动地设置至基座部分(20);和引导部分(28a,28b),在滑动部分在滑动器(26)的滑动方向上延伸的状态下,引导部分(28a,28b)布置在基座部分(20)和滑动器(26)之间。DLC薄膜(92a,92b)形成在引导部分上,并且引导部分(28a,28b)锁定到滑动器(26),从而使得引导部分可以在DLC薄膜(92a,92b)将预定预载荷施加于基座部分(20)的状态下滑动。

技术研发人员:中山徹;杉山亨;增井隆一
受保护的技术使用者:SMC株式会社
文档号码:201480081865
技术研发日:2014.09.11
技术公布日:2017.05.17

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