背景技术:
:目前连接PECVD(等离子增强化学气相沉积)腔体和Foreline(前级真空管线)的连接件都是一个入口一个出口的结构,这样势必会增大连接件的体积,对设备的维护空间减小了。
技术实现要素:
:针对上述现有技术的不足,本发明提供了一种新型抽气管路连接件。
为实现上述目的,本发明采用的技术方案是:一种新型抽气管路连接件,包括双孔法兰盘,锥形法兰管,底部法兰盘和法兰接头。双孔法兰盘固定在锥形法兰管粗的一端,底部法兰盘固定在锥形法兰管细的一端。法兰接头固定在锥形法兰管的外面。
本发明有两个入口端,一个出口端,采用流线型过渡,减少了气流阻力,减少了零件体积,为设备预留了更多维护空间。
附图说明:
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式:
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清晰、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普 通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
如图1所示:一种新型抽气管路连接件,包括双孔法兰盘1,锥形法兰管2,底部法兰盘4和法兰接头4。双孔法兰盘1固定在锥形法兰管2粗的一端,底部法兰盘4固定在锥形法兰管2细的一端。法兰接头4固定在锥形法兰管2的外面。