流体封入式隔振装置的制作方法

本发明涉及一种利用基于被封入到内部的非压缩性流体的流动作用的隔振效果的流体封入式隔振装置。

背景技术：
以往，作为安装在构成振动传递系统的构件之间的隔振连结体、隔振支承体等隔振装置的一种，存在有利用主体橡胶弹性体将第一安装构件和第二安装构件连结起来而成的隔振装置，作为该隔振装置的发展型，公知有一种流体封入式隔振装置。该流体封入式隔振装置设为以下这样的构造：形成承压室和平衡室，该承压室的壁部的一部分由主体橡胶弹性体构成，该平衡室的壁部的一部分由挠性膜构成，在承压室和平衡室内封入非压缩性流体，并且使两室通过节流通路相互连通。采用这样的构造，当振动被输入承压室时，能够在利用承压室和平衡室之间的压力差而经由节流通路进行流动的流体的共振作用等流动作用的作用下，发挥隔振效果。正在研究该流体封入式隔振装置向例如汽车用的发动机支架、车身支架(bodymount)、差动齿轮箱支架(diffmount)、悬架构件支架的应用，此外还在研究该流体封入式隔振装置向悬架衬套等的应用。然而，对于汽车用的发动机支架等而言，针对多个频域的振动分别要求隔振效果。因此，通常，通过如下的措施等来进行应对，即：将节流通路调谐为发动机抖动等的低频大振幅振动，并且针对行车轰鸣声等高频小振幅振动设置用于吸收承压室的压力变化的可动膜。此外，近年来，对于汽车用发动机支架等而言，在输入过大的振动负荷、冲击负荷时产生振动、异响被视为问题。认为这主要是由伴随在承压室产生过大的负压而产生的空化气泡所导致的。即，当输入大振幅的振动而使承压室处于过大的负压状态时，溶解在承压室的流体中的空气发生液相分离，从而形成空化气泡。而且，认为伴随该气泡的破裂而产生的水击压力向第一安装构件、第二安装构件传递，并传递至汽车车身等的构成振动传递系统的构件，从而产生成为问题的异响、振动。为了应对该问题，本发明的申请人之前在专利文献1(日本特许第5243863号公报)中提案了这样一种新颖的构造：在分隔承压室和平衡室的分隔构件上设置将两室连通的连通口，并且针对连通口配设自承压室侧与连通口叠合并将连通口封闭的封闭橡胶弹性板，从而构成对连通口的连通、阻断进行控制的部件。在输入过大的振动负荷、冲击负荷时在承压室压力急剧下降的情况下，封闭橡胶弹性板弹性变形而自分隔构件隔开间隔，从而使连通口成为连通状态，承压室与平衡室之间发生短路，由此能够避免承压室产生负压。另外，该封闭橡胶弹性板利用在阻断了连通口的状态下的弹性变形来发挥对承压室的压力变化进行吸收的功能，从而也能够发挥针对高频小振幅振动的隔振效果。在此，本发明人对专利文献1所记载的流体封入式隔振装置进行了进一步的研究，发现该专利文献1所记载的流体封入式隔振装置还存在有改进的余地。即，对于该专利文献1所记载的连通、阻断控制部件而言，利用弹性变形使连通口敞开的封闭橡胶弹性板的弹性变形区域在周向上设于抵接保持部之间，在输入发动机抖动、行车轰鸣声等一般的振动时，弹性变形区域不易自连通口的开口离开。因此，利用由覆盖连通口的封闭橡胶弹性板的弹性变形带来的液压吸收功能来发挥针对高频小振幅振动的输入的振动绝缘作用，振动绝缘作用可能在某种程度上被封闭橡胶弹性板的变形刚性所限制。另外，为了更好地获得振动绝缘作用，还考虑使封闭橡胶弹性板的变形刚性明显地减小，于是，在输入发动机抖动等振动时，封闭橡胶弹性板容易基于作用于其正面和背面的压力差而进行弹性变形。其结果，承压室和平衡室之间的相对压力差减小，从而导致经由节流通路的流体的流动量下降，会产生难以充分地发挥节流通路针对低频大振幅振动的隔振效果的问题。专利文献1：日本特许第5243863号公报

技术实现要素：
发明要解决的问题在此，本发明即是以上述情况为背景而做成的，其解决课题在于提供一种改进后的构造的流体封入式隔振装置，该流体封入式隔振装置能够充分地确保(i)节流通路针对低频振动的隔振效果和(ii)在输入过大的振动时对冲击、异响的抑制效果，且能够更加有效地达成(iii)提高针对高频振动的隔振效果。用于解决问题的方案以下，记载为了解决该课题而做成的本发明的方案。另外，以下记载的各方案中所采用的结构要素能够尽可能以任意的组合被采用。即，本发明的第一方案为一种流体封入式隔振装置，其利用主体橡胶弹性体将第一安装构件和第二安装构件连结起来，并且形成承压室和平衡室，该承压室的壁部的一部分由该主体橡胶弹性体构成，该平衡室的壁部的一部分由挠性膜构成，在该承压室和平衡室内封入非压缩性流体，并且该流体封入式隔振装置设有将该承压室和平衡室相互连通的节流通路，该流体封入式隔振装置的特征在于，在用于对上述承压室和上述平衡室之间进行分隔的分隔构件上形成用于连通该承压室和平衡室的连通口，并且，以自该承压室侧相对于该连通口进行叠合的方式配设封闭橡胶弹性板而将该连通口封闭，且该封闭橡胶弹性板能基于弹性变形而使该连通口敞开，该封闭橡胶弹性板的一侧的表面受到该承压室的压力的作用，且该密封橡胶弹性板的另一侧的表面通过该连通口而受到该平衡室的压力的作用，另一方面，在该封闭橡胶弹性板的外周缘部，在周向上设有多个抵接保持部，该抵接保持部被保持为相对于该分隔构件叠合的状态，并且，在周向上在该封闭橡胶弹性板的相邻的该抵接保持部之间形成弹性变形区域，该弹性变形区域基于该承压室和该平衡室之间的压力差进行弹性变形并自该分隔构件隔开间隔，从而使该连通口敞开并容许流体通过该连通口在该承压室与该平衡室之间流动，而且，在设于该封闭橡胶弹性板的外周缘部的该弹性变形区域的周向中间部分设有质量部，利用该质量部和该弹性变形区域构成弹簧-质量系统(日文：マス－バネ系)，该弹簧-质量系统的共振频率被调谐为50Hz以上，并且上述节流通路的调谐频率被设定为低于该弹簧-质量系统的共振频率的较低的频率。采用按照这样的第一方案构造成的流体封入式隔振装置，针对输入弹簧-质量系统被调谐后的频率的振动的情况，弹性变形区域的设有质量部的周向中间部分因弹簧-质量系统的共振而积极地位移或弹性变形，从而使连通口充分地敞开。由此，在承压室与平衡室之间产生通过了连通口的流体流动，从而有利地发挥因低动刚度化(日文：低動ばね化)而产生的振动绝缘作用。而且，在配设于非压缩性流体中的封闭橡胶弹性板中，弹簧-质量系统的共振频率被调谐为50Hz以上，由此容易将节流通路调谐为低于弹簧-质量系统的共振频率的较低的频率。而且，针对输入节流通路被调谐后的频域的振动的情况，能够避免因弹簧-质量系统的共振而导致连通口积极的敞开，从而能够限制承压室和平衡室通过连通口而连通，由此能够充分地获得通过节流通路而流动的流体的量，从而能够有效地获得节流通路的隔振效果。因而，能够有效地获得基于节流通路的流体流动作用的隔振效果，并且针对输入节流通路因反共振而实际被封闭的频域的振动的情况，也能够借助经由利用弹簧-质量系统的共振而敞开的连通口的流体流动，获得优异的振动绝缘效果。根据第一方案所记载的流体封入式隔振装置，在本发明的第二方案中，在上述弹性变形区域的周向中间部分设有厚壁部，上述质量部由该厚壁部构成。采用第二方案，通过利用设于弹性变形区域的厚壁部，能够简单地在弹性变形区域的周向中间部分形成质量部，并且质量部的质量的自由度变大，从而容易调节弹簧-质量系统的共振频率。优选的是，将厚壁部设置成向承压室侧突出，由此，例如将叠合于连通口的开口部的面设为平坦面，能够做成容易将连通口封闭的形状。另外，在抵接保持部被分隔构件沿封闭橡胶弹性板的厚度方向夹持的情况下，为了使厚壁部在厚度方向上离开分隔构件，期望厚壁部的壁厚小于抵接保持部的壁厚。根据第一方案或第二方案所记载的流体封入式隔振装置，在本发明的第三方案中，上述质量部与上述弹性变形区域形成为一体。采用第三方案，不需要通过将独立构件固定等而后形成质量部，能够简单地获得质量部。另外，质量部除了通过例如第二方案所示的由厚壁部构成从而与弹性变形区域形成为一体以外，还能够利用比重不同的橡胶、树脂弹性体等将弹性变形区域和质量部以大致相同的厚度双色成形，从而将弹性变形区域和比重大于弹性变形区域的比重的质量部形成为一体。根据第一方案～第三方案中的任一项所记载的流体封入式隔振装置，在本发明的第四方案中，上述质量部设于上述封闭橡胶弹性板的外周端部。采用第四方案，覆盖连通口的封闭橡胶弹性板的外周端部因质量部的位移而弹性变形，因此，能够以相对于质量部的位移具有优异的响应性的方式切换连通口的敞开和封闭，从而能够进一步有效地发挥因弹簧-质量系统的共振而产生的低动刚度效果。根据第一方案～第四方案中的任一项所记载的流体封入式隔振装置，在本发明的第五方案中，上述分隔构件形成有多个上述连通口，并且在上述封闭橡胶弹性板的周向上形成有多个上述弹性变形区域，在该多个弹性变形区域各自的周向中间部分分别设有上述质量部从而构成多个上述弹簧-质量系统。采用第五方案，通过将多个弹簧-质量系统的共振频率设定为大致相同，从而在该弹簧-质量系统的共振时使连通孔的敞开面积的合计面积变大。由此，能够更有利地获得流体经由连通口在承压室与平衡室之间流动的流动量，从而能够进一步有效地获得针对特定频率的振动输入的振动绝缘作用。另外，若将多个弹簧-质量系统的共振频率设定为互不相同的多个频率，则多个连通口能够针对广阔的频率的振动输入有选择地敞开，从而能够在较广的频域内获得振动绝缘作用。根据第一方案～第五方案中的任一项所记载的流体封入式隔振装置，在本发明的第六方案中，在上述封闭橡胶弹性板的中央部分一体形成有中央安装部，该中央安装部以固定状态被安装于上述分隔构件，另一方面，设有自该中央安装部朝向外周侧以放射状延伸的辐条状保持部，并且以自该辐条状保持部的顶端部分沿周向延伸的方式设有上述抵接保持部。采用第六方案，由于封闭橡胶弹性板在中央部分和外周部分这两个部分被分隔构件支承，因而在输入节流通路被调谐后的频率的振动时，封闭橡胶弹性板的弹性变形量受到限制，从而能够防止承压室和平衡室之间的相对的液压变化因封闭橡胶弹性板的弹性变形而降低。因而，能够高效地产生通过节流通路的流体流动，从而能够有效地获得基于流体的流动作用的隔振效果。而且，由于将中央安装部和抵接保持部连接起来的辐条状保持部形成为以放射状延伸，因此，能够进一步限制封闭橡胶弹性板的弹性变形量，而能够进一步有效地发挥节流通路针对低频大振幅振动的输入的隔振效果。另外，在封闭橡胶弹性板的被中央安装部、抵接保持部以及辐条状保持部包围起来的部分，对于频率高于节流通路的调谐频率的小振幅振动，能够发挥因厚度方向上的弹性变形而产生的液压吸收作用，从而能够发挥因低动刚度化而产生的振动绝缘效果。根据第一方案～第六方案中的任一项所记载的流体封入式隔振装置，在本发明的第七方案中，上述节流通路的调谐频率被设定为5Hz～15Hz。采用第七方案，封闭橡胶弹性板的弹簧-质量系统的共振频率被设定为充分高于节流通路的调谐频率的高频。由此，针对输入节流通路被调谐后的频率的振动的情况，连通口保持封闭状态，从而能有效地发挥节流通路的隔振效果。另一方面，针对输入频率高于节流通路的调谐频率的振动的情况，由于连通口利用弹簧-质量系统的共振而敞开，因此能够发挥因低动刚度化而产生的隔振效果。发明的效果采用本发明，由于利用用于切换连通口的封闭和敞开的封闭橡胶弹性板的弹性变形区域和设于弹性变形区域的周向中间部分的质量部构成弹簧-质量系统，因此，对于相当于弹簧-质量系统的共振频率的频率的振动输入，利用弹簧-质量系统的共振使连通口敞开，从而能够实现因承压室和平衡室之间的连通而产生的低动刚度化。另外，由于弹簧-质量系统的共振频率被设定在50Hz以上，并且节流通路的调谐频率被设定为低于弹簧-质量系统的共振频率的较低的频率，因此，在输入节流通路被调谐后的频率的振动时，能够避免连通口的共振状态下的敞开，从而能够有效地发挥节流通路的隔振效果。附图说明图1是表示本发明的第一实施方式的发动机支架的纵剖视图，是图4的I－I剖视图。图2是图1所示的发动机支架的纵剖视图，是图4的II－II剖视图。图3是构成图1所示的发动机支架的分隔构件的俯视图。图4是表示在图3的分隔构件中将盖板构件拆除后的状态的俯视图。图5是图3所示的分隔构件的仰视图。图6是构成图3所示的分隔构件的可动橡胶膜的俯视图。图7是图6所示的可动橡胶膜的右视图。图8是图6的VIII－VIII剖视图。图9是放大表示图1所示的发动机支架的主要部位的纵剖视图，图9的(a)表示下透孔被可动橡胶膜封闭的状态，图9的(b)表示下透孔被打开的状态。图10是表示第一实施方式的发动机支架的衰减特性的曲线图。图11是表示第一实施方式的发动机支架的刚度特性的曲线图。附图标记说明10、发动机支架(流体封入式隔振装置)；12、第一安装构件；14、第二安装构件；16、主体橡胶弹性体；24、挠性膜；30、分隔构件；36、可动橡胶膜(封闭橡胶弹性板)；48、下透孔(连通口)；58、中央安装部；60、辐条状保持部；62、抵接保持部；66、缓解膜部(弹性变形区域)；68、厚壁部(质量部)；70、弹簧-质量系统；72、承压室；74、平衡室；76、节流通路。具体实施方式下面，参照附图说明本发明的实施方式。在图1、图2中，示出了汽车用的发动机支架10作为按照本发明构造成的流体封入式隔振装置的第一实施方式。发动机支架10具有使第一安装构件12和第二安装构件14之间利用主体橡胶弹性体16相互弹性连结起来而成的构造。在以下的说明中，原则上，上下方向是指主要的振动输入方向、即图1中的上下方向。更详细而言，第一安装构件12为由铁、铝合金等形成的、具有圆形块形状或倒置的大致截头圆锥状的构件，在中心轴线上设有朝向上方突出的固定螺栓18。第二安装构件14与第一安装构件12同样为高刚性的构件，且其整体具有薄壁大径的大致圆筒形状，第二安装构件14的上端部分被设为以向内周侧凸出的纵剖面在整周上延伸而成的槽形状，并且第二安装构件14的下端部分随着朝向下方去逐渐成为小径。而且，第一安装构件12相对于第二安装构件14在同一中心轴线上向上方隔开间隔地配置，该第一安装构件12和第二安装构件14利用主体橡胶弹性体16相互弹性连结起来。主体橡胶弹性体16具有厚壁大径的大致截头圆锥状，主体橡胶弹性体16的小径侧的端部硫化粘接于第一安装构件12，并且主体橡胶弹性体16的大径侧的端部硫化粘接于第二安装构件14的上端部分。由此，主体橡胶弹性体16形成为包括第一安装构件12和第二安装构件14的一体硫化成形品。而且，主体橡胶弹性体16上形成有大径凹部20。大径凹部20为呈倒置的大致研钵形状的凹部，在主体橡胶弹性体16的大径侧端面开口。由此，主体橡胶弹性体16具有以在第一安装构件12与第二安装构件14之间随着朝向下方去而扩展的方式倾斜延伸的纵剖面形状。另外，在主体橡胶弹性体16上一体形成有密封橡胶层22。密封橡胶层22为呈薄壁大径的大致圆筒形状的橡胶膜，自比大径凹部20的开口部靠外周侧的位置朝向下方突出，并且以覆盖第二安装构件14的内周面的方式固定。另外，在主体橡胶弹性体16的一体硫化成形品上安装有挠性膜24。挠性膜24为具有倒置的大致圆顶形状的薄壁大径的橡胶膜，被做成为在上下方向上具有足够的松弛度而能够容易变形。而且，在挠性膜24上硫化粘接有固定构件26。固定构件26为具有大径的大致圆筒形状的高刚性的金属构件，硫化粘接于挠性膜24的外周面。而且，挠性膜24被插入于第二安装构件14的下端开口部分，通过对第二安装构件14进行缩径加工从而使固定构件26嵌入固定于第二安装构件14的下端部。另外，在本实施方式中，在将固定构件26插入第二安装构件14之后，将第二安装构件14的下端部加工成随着朝向下方去而成为小径的锥形形状，从而能够避免固定构件26自第二安装构件14向下方脱落。像这样将挠性膜24安装于主体橡胶弹性体16的一体硫化成形品，从而第二安装构件14的上侧开口部被主体橡胶弹性体16封闭，并且第二安装构件14的下侧开口部被挠性膜24封闭。由此，在主体橡胶弹性体16与挠性膜24的相对面之间，区划出与外部空间隔开的流体室28，在流体室28内封入有非压缩性流体。封入在流体室28内的非压缩性流体没有特殊限定，能够采用水、乙二醇、亚烷基二醇、聚亚烷基二醇、硅油或它们的混合液等，更优选的是，采用0.1Pa·s以下的低粘性流体。在该流体室28内配设有图3～图5所示的分隔构件30。分隔构件30具有由分隔构件主体32和盖板构件34组合而成的构造，并且该分隔构件30安装有作为封闭橡胶弹性板的可动橡胶膜36。分隔构件主体32为由合成树脂、金属等形成的硬质的构件，具有厚壁大径的大致圆板形状。另外，在分隔构件主体32的外周端部形成有在上表面和外周面开口且沿周向以规定长度(在本实施方式中为不足半周)连续延伸的周槽38，周槽38的周向一侧的端部形成为下壁部上表面随着向长度方向外侧去而逐渐向上倾斜的斜面状，并且，在周槽38的周向另一侧的端部形成有贯通下壁部的下开口部40，并且该下开口部40在分隔构件主体32的下表面开口。另外，如图4所示，在分隔构件主体32的径向中央部分形成有在上表面开口的收容凹部42。收容凹部42为具有大致恒定的圆形横截面且在上下方向上具有规定深度的凹部，在收容凹部42的径向中央形成有自底壁部向上方立起的小径圆柱形状的中央突部44。而且，在中央突部44和收容凹部42的周壁部的多个部位分别形成有向上方突出的卡定突起46。而且，如图5所示，在收容凹部42的底壁部贯通形成有作为连通口的下透孔48，且沿周向排列配置有多个(在本实施方式中为六个)下透孔48。该下透孔48的靠收容凹部42侧的上部以大致恒定的孔截面形状沿上下方向延伸，并且该下透孔48的靠后述平衡室74侧的下部以随着朝向下方去而向外周侧扩展的方式沿上下方向延伸，且随着朝向下方去孔截面积增大。另外，在周向上相邻的下透孔48、48之间形成有在收容凹部42的底壁部的上表面开口且沿周向延伸的浅底的连通槽50。连通槽50的周向端部与下透孔48连通，在本实施方式中，在周向上等间隔配置有三组利用连通槽50在周向上相互连接的下透孔48、48。盖板构件34与分隔构件主体32同样为硬质构件，具有薄壁大径的大致圆板形状。另外，如图3所示，在盖板构件34的径向内周部分贯通形成有多个(在本实施方式中为六个)沿厚度方向贯通的上透孔52。而且，在盖板构件34的径向中央部分以及比上透孔52靠外周侧的部位，且是在与分隔构件主体32的卡定突起46相对应的位置，分别以在厚度方向上贯穿盖板构件34的方式形成有卡定孔54。另外，在盖板构件34的外周端部形成有在厚度方向上贯穿周向上的一部分的上开口部56。而且，盖板构件34自上方叠合于分隔构件主体32，并且使分隔构件主体32的卡定突起46分别贯穿盖板构件34的对应的卡定孔54，之后卡定突起46的顶端部分被压扁而扩径，从而卡定突起46沿上下方向卡定于卡定孔54的开口周缘部，使分隔构件主体32和盖板构件34以无法分开的方式固定在一起。另外，还可以通过将形成于收容凹部42的周壁部的三个卡定突起46、46、46和与卡定突起46、46、46相对应的卡定孔54、54、54在周向上不均等地配置、或使多组卡定突起46和卡定孔54的形状互不相同等，来使分隔构件主体32和盖板构件34在周向上相对定位。另外，通过使分隔构件主体32和盖板构件34相互固定，从而周槽38的上侧开口被盖板构件34覆盖，并且收容凹部42的开口部被盖板构件34覆盖。另外，盖板构件34的上透孔52形成在覆盖收容凹部42的开口部的部分，从而与收容凹部42连通。如图4所示，在分隔构件主体32的收容凹部42配设有作为封闭橡胶弹性板的可动橡胶膜36。如图6～图8所示，可动橡胶膜36整体具有大致圆板形状，例如由橡胶弹性体、树脂弹性体等形成。另外，在可动橡胶膜36的径向中央部分一体地形成有朝向上方突出的大致圆筒形状的中央安装部58。另外，在可动橡胶膜36上设有三个辐条状保持部60、60、60。辐条状保持部60为朝向上方突出且自中央安装部58朝向外周侧以放射状延伸的突条，在本实施方式中，三个辐条状保持部60、60、60在周向上以等间隔形成。另外，在可动橡胶膜36上一体形成有三个抵接保持部62、62、62。抵接保持部62为向上方突出且在可动橡胶膜36的外周端部沿周向延伸的突条，在周向上按照规定间隔一个一个地分开地设有三个。另外，在各抵接保持部62的周向中央部分一体地连接有一个辐条状保持部60的外周端部。换言之，以自各辐条状保持部60的外周端部朝向周向两侧延伸的方式分别一体形成有抵接保持部62。而且，在可动橡胶膜36的、在周向上相邻的辐条状保持部60、60的周向之间，设有利用辐条状保持部60、60和抵接保持部62、62包围起来的薄壁的弹性膜部64。另外，各弹性膜部64的外周端部设有作为弹性变形区域的缓解膜部(日文：リリーフ膜部)66。缓解膜部66被设为薄壁膜状且能够在厚度方向上容易进行弹性变形，在周向上形成在周向相邻的抵接保持部62、62之间，并且设于可动橡胶膜36的周向上的三个部位。另外，在缓解膜部66和弹性膜部64上一体形成有作为质量部(日文：マス部)的厚壁部68。厚壁部68被设为壁厚大于缓解膜部66和弹性膜部64的壁厚，且比该缓解膜部66和弹性膜部64向上方突出，在本实施方式中，在俯视时，厚壁部68呈沿周向延伸的大致圆弧形状或大致四边形形状。另外，厚壁部68设于各缓解膜部66的周向中央部分，且相对于配置在缓解膜部66的周向两侧的抵接保持部62、62在周向上离开规定的距离，厚壁部68和抵接保持部62、62利用缓解膜部66弹性连结起来。另外，厚壁部68设于可动橡胶膜36的外周端部、换句话说设于缓解膜部66的外周端部，并且延伸到比缓解膜部66靠内周侧的位置，厚壁部68的内周部分位于弹性膜部64上。另外，厚壁部68隔开间隔地配置于中央安装部58的外周侧，厚壁部68和中央安装部58利用弹性膜部64弹性连结起来。另外，厚壁部68相比于中央安装部58、辐条状保持部60以及抵接保持部62而言向上方突出的尺寸较小，厚壁部68的上表面相对于中央安装部58的上表面、辐条状保持部60的上表面以及抵接保持部62的上表面而言位于靠下方的位置。在本实施方式中，中央安装部58的上表面、辐条状保持部60的上表面以及抵接保持部62的上表面大致位于同一个与轴线垂直的平面上。另外，本实施方式的厚壁部68利用与缓解膜部66和弹性膜部64相同的橡胶材料与缓解膜部66和弹性膜部64形成为一体，例如，也可以利用比重大于该橡胶材料的橡胶材料、树脂弹性体等通过双色成形而将厚壁部68(质量部)与缓解膜部66和弹性膜部64形成为一体，还可以通过将金属等的独立构件后固定从而独立地形成。像这样厚壁部68被缓解膜部66和弹性膜部64弹性支承，从而构成以厚壁部68作为质量并且以缓解膜部66和弹性膜部64作为弹簧的弹簧-质量系统70。该弹簧-质量系统70的共振频率设定为50Hz以上的高频，优选设定为50Hz～200Hz，在本实施方式中，调谐为相当于汽车的行车轰鸣声的50Hz～150Hz。而且，在本实施方式中，在周向上在三个抵接保持部62、62、62之间分别设有弹簧-质量系统70，该三个弹簧-质量系统70、70、70被设为彼此大致相同的形状和大小，且该弹簧-质量系统70、70、70的共振频率设定为彼此大致相同。另外，可动橡胶膜36的弹簧-质量系统70的共振频率能够根据被设为待隔振对象的振动的频域来调节。例如，考虑每个车辆成为问题的由扭矩变动、道路噪声等引起的振动，若以低速行驶噪声作为对象则调谐到50Hz～100Hz左右，若以高速行驶噪声作为对象则调谐到100Hz～200Hz左右。另外，弹簧-质量系统70的共振频率是指在像后述那样地将可动橡胶膜36配置于流体室28的非压缩性流体中的状态下的共振频率，而并不是大气中的可动橡胶膜36单体的共振频率。而且，可动橡胶膜36收容配置于分隔构件主体32的收容凹部42，分隔构件主体32的中央突部44嵌入并以固定状态安装于可动橡胶膜36的中央安装部58的内孔，由此可动橡胶膜36在收容凹部42内被弹性地定位。另外，分隔构件主体32和盖板构件34以上下叠合的方式被固定，由此可动橡胶膜36的中央安装部58、辐条状保持部60以及抵接保持部62在分隔构件主体32与盖板构件34之间被上下压缩，从而被分隔构件主体32和盖板构件34弹性支承。从上述说明还可以明确的是，可动橡胶膜36的三个辐条状保持部60、60、60在周向上位于六个下透孔48、48、···、48之间、三个连通槽50、50、50之间以及六个上透孔52、52、···、52之间，并且中央安装部58位于相对于上述上透孔52、下透孔48靠向内周的位置，抵接保持部62位于相对于上述上透孔52、下透孔48靠向外周的位置。另外，弹性膜部64和缓解膜部66以下表面与分隔构件主体32的收容凹部42的底壁部相接触的状态叠合于收容凹部42的底壁部，弹性膜部64覆盖下透孔48和连通槽50的上开口，从而封闭下透孔48。另外，包括在周向上相邻的下透孔48、48和用于连接该下透孔48、48的连通槽50在内的各组被各弹性膜部64覆盖，各弹性膜部64的周向中央部分与连通槽50的底壁部在上下方向上相对。另外，弹性膜部64的上表面和缓解膜部66的上表面相对于盖板构件34向下方离开，并且厚壁部68的上表面也相对于盖板构件34向下方隔开规定距离地与盖板构件34相对。这样构造成的分隔构件30收容配置于流体室28。更具体而言，将分隔构件30插入于第二安装构件14，直到分隔构件30的上表面的外周端部与主体橡胶弹性体16的大径侧端面相抵接，并利用整周缩径(日文：八方絞り)等将第二安装构件14缩径，从而分隔构件30被第二安装构件14支承。另外，分隔构件30的外周端部在主体橡胶弹性体16与固定构件26之间被上下夹持，从而在上下方向上被定位。像这样，分隔构件30被配设为在流体室28内沿与轴线垂直的方向扩展，从而流体室28相对于分隔构件30被分成上下两部分。即，在分隔构件30的一侧(上侧)形成有承压室72，该承压室72的壁部的一部分由主体橡胶弹性体16构成且在振动输入时会引起该承压室72发生压力变化，并且在分隔构件30的另一侧(下侧)形成有平衡室74，该平衡室74的壁部的一部分由挠性膜24构成且该平衡室74容易产生容积变化。总之，流体室28被分隔构件30分隔为承压室72和平衡室74，在该承压室72和平衡室74内封入有流体室28的非压缩性流体。另外，分隔构件30的外周面隔着密封橡胶层22被第二安装构件14以流体密封的方式覆盖，因此在分隔构件30中，在分隔构件主体32的外周面开口的周槽38以流体密封的方式被覆盖，从而形成有沿周向以规定长度延伸的隧道状的流路。而且，隧道状流路的一侧的端部经由盖板构件34的上开口部56与承压室72连通，并且隧道状流路的另一侧的端部经由分隔构件主体32的下开口部40与平衡室74连通。由此，利用周槽38形成了将承压室72和平衡室74相互连通的节流通路76。节流通路76的作为流动流体的共振频率的调谐频率被设定为低于弹簧-质量系统70的共振频率的较低的频率，优选的是，为了成为充分低于弹簧-质量系统70的共振频率的较低的频率而设定为5Hz～15Hz左右。本实施方式的节流通路76通过调节通路截面积(A)与通路长度(L)之比(A/L)，从而被调谐为相当于发动机抖动的10Hz左右。而且，节流通路76的调谐频率设定为低于弹簧-质量系统70的共振频率的频率即可，除了例示的发动机抖动振动以外，还能够设定在发动机空转振动等的频域。另外，通过上透孔52在分隔构件30的可动橡胶膜36的上表面作用有承压室72的液压，并且通过下透孔48在分隔构件30的可动橡胶膜36的下表面作用有平衡室74的液压。由此，在振动输入时，根据承压室72和平衡室74之间的相对的压力差，使可动橡胶膜36的弹性膜部64和缓解膜部66弹性变形。另外，在本实施方式中，在收容凹部42的底壁上表面形成有用于连接下透孔48的连通槽50，由此使平衡室74的液压更大范围地作用于可动橡胶膜36的下表面。通过将第一安装构件12利用固定螺栓18安装于未图示的动力单元并且将第二安装构件14安装于未图示的车辆车身，从而将做成这样的构造的发动机支架10安装于车辆。而且，在发动机支架10安装于车辆的状态下，动力单元借助发动机支架10隔振支承于车辆车身。在该发动机支架10安装于车辆的状态下，当向第一安装构件12与第二安装构件14之间输入相当于发动机抖动的低频大振幅振动时，利用承压室72和平衡室74之间的相对的压力变化，产生通过了节流通路76的流体流动。由此，根据流体的共振作用等的流动作用，发挥目标的隔振效果(高衰减效果)。而且，可动橡胶膜36的弹性膜部64和缓解膜部66的自由长度被中央安装部58、辐条状保持部60以及抵接保持部62限制，因此该弹性膜部64和缓解膜部66向厚度方向的弹性变形量被限制。因此，对于相当于发动机抖动的低频大振幅振动的输入，弹性膜部64和缓解膜部66无法追随进行弹性变形，而使液压的损失降低从而能够获得足够大的承压室72和平衡室74之间的相对的压力差。其结果，能够有利地确保通过节流通路76而流动的流体的量，从而能够有效地获得利用流体流动发挥的隔振效果。此外，在本实施方式中，弹性膜部64的周向中央部分与连通槽50的底壁部上下相对，弹性膜部64的弹性变形量还因弹性膜部64与连通槽50的底壁部相抵接而被限制。因此，由弹性膜部64的弹性变形所带来的液压吸收作用被限制，从而能够更有效地发挥节流通路76的隔振效果。另一方面，当向第一安装构件12与第二安装构件14之间输入相当于行车轰鸣声等的50Hz以上的高频振动时，被调谐为低频的节流通路76因反共振而实际上被封闭。另外，如图9所示，通过设于可动橡胶膜36的弹簧-质量系统70的共振，厚壁部68在上下方向上积极地位移，从而支承厚壁部68的缓解膜部66以及弹性膜部64在膜厚方向上弹性变形。其结果，缓解膜部66和弹性膜部64自分隔构件30的连通槽50的上开口离开，从而下透孔48经由连通槽50向承压室72侧开口。由此，承压室72和平衡室74借助上透孔52、下透孔48、收容凹部42以及连通槽50相互连通起来，从而迅速地降低或消除承压室72相对于平衡室74的相对的压力变化，因此能够避免因承压室72的实际的封闭而导致的高动刚度化，从而有效地发挥振动绝缘效果。特别是，可动橡胶膜36对下透孔48的封闭被解除，从而承压室72与平衡室74直接连通，因此能够更有效地实现低动刚度化，并能够有效地获得目标的隔振效果。而且，在可动橡胶膜36的周向上设有三个同一形状的弹簧-质量系统70，具有相同共振频率的该弹簧-质量系统70、70、70分别共振，从而能够进一步有效地发挥由低动刚度化带来的振动绝缘效果。而且，在本实施方式中，弹簧-质量系统70的质量部是将缓解膜部66的周向中间部分局部厚壁化而成的厚壁部68利用与缓解膜部66相同的材料一体形成的。由此，部件个数减小，并且质量部容易成形，而且通过变更厚壁部68的形状、大小，能够容易调节弹簧-质量系统70的质量体质量和弹簧特性。此外，对于高频小振幅振动的输入，即使覆盖下透孔48的可动橡胶膜36的弹性膜部64因承压室72和平衡室74之间的相对的内压变化而向厚度方向弹性变形，可动橡胶膜36也能够吸收承压室72的液压而发挥振动绝缘效果。因而，在本实施方式的发动机支架10中，对于高频小振幅振动的输入，通过弹性膜部64的微小变形和利用了刚度质量系统70的共振的承压室72和平衡室74的相互连通，能够有利地发挥液压吸收作用所带来的振动绝缘效果。另外，将弹簧-质量系统70的共振频率设定在50Hz以上，并且将节流通路76的调谐频率设定为低于弹簧-质量系统70的共振频率的较低的频率。特别是，在本实施方式中，通过将节流通路76调谐为5Hz～15Hz，从而使弹簧-质量系统70的共振频率和节流通路76的调谐频率设定为彼此充分远离的频率。由此，在节流通路76被调谐后的、相当于发动机抖动的低频振动的输入时，不会产生由弹簧-质量系统70的共振引起的可动橡胶膜36的积极的弹性变形，从而能够避免由下透孔48的敞开引起的液压损失，因此，能够有效地发挥由通过节流通路76的流体流动所带来的隔振效果。总之，在提高高频域的隔振性能时，通过利用共振现象使可动橡胶膜36的缓解膜部66较大程度地弹性变形，从而使下透孔48处于连通状态。由此，利用包含缓解膜部66的可动橡胶膜36设定较大的弹簧刚性，从而在低频振动输入时、未达到产生空化的程度的冲击性负荷的输入时等情况下，能有效地防止发生如下现象，即：因可动橡胶膜36较大程度地变形而使下透孔48不必要地连通，从而导致压力泄漏。其结果，能够高度实现针对低频振动的节流隔振效果、由低动刚度化带来的针对高频振动的隔振效果以及防止因冲击性大负荷而产生空化的效果。另外，当因输入冲击负荷、输入过大振幅的振动等而导致承压室72的内压大幅度下降时，可动橡胶膜36的弹性膜部64和缓解膜部66根据承压室72与平衡室74之间的压力差而在厚度方向上弹性变形。而且，弹性膜部64的外周部分和缓解膜部66的外周部分自收容凹部42的底壁部离开，从而下透孔48被切换为连通状态。由此，承压室72和平衡室74之间通过上透孔52、下透孔48、收容凹部42以及连通槽50相互连通起来，从而尽可能迅速地降低或消除承压室72的负压，因此能够防止产生空化气泡，防止在空化气泡消失时产生的异响。另外，能够同时实现输入低频大振幅振动时的高衰减特性和输入高频小振幅振动时的低动刚度化这一点，可以通过图10、图11所示的特性实测结果来进行确认。另外，在图10、图11中，用实线表示的实施例是本发明的流体封入式隔振装置的特性实测结果，另一方面，用虚线表示的比较例是日本特许第5243863号公报的流体封入式隔振装置的特性实测结果。即，图10是表示针对输入低频大振幅振动的衰减特性的曲线图。根据该图10，可以明确的是，在5Hz～20Hz的低频区域中，在实施例中发挥与比较例大致相同或相比于比较例更高的振动衰减性能。另外，认为在图10的实测结果中，实施例的衰减大于比较例的原因在于：在缓解膜部66设有厚壁部68，因此在自刚度质量系统70的共振频率偏离的频域中，因缓解膜部66的弹性变形而导致的下透孔48的敞开更容易被限制。另外，图11是表示针对输入高频小振幅振动的动刚度特性的曲线图。根据该图11，可以明确的是：在50Hz～180Hz左右的频域中，在实施例中能够发挥低于比较例的动刚度特性，从而能够有利地获得振动绝缘效果。根据这些特性实测结果，可以明确的是：在本发明的流体封入式隔振装置(实施例)中，相比于以往构造的流体封入式隔振装置(比较例)，针对输入低频大振幅的振动能够有效地发挥节流通路76的振动衰减效果，并且针对输入高频小振幅的振动，能够更有效地发挥由低动刚度化带来的振动绝缘效果。以上，详细说明了本发明的实施方式，但本发明并不限定于该具体的记载。例如，在上述实施方式中，在三个抵接保持部62、62、62之间分别设有刚度质量系统70，但刚度质量系统70可以不设在全部的抵接保持部62、62之间，例如可以在周向上仅设有一个刚度质量系统70。另外，在设置多个刚度质量系统70的情况下，能够如上述实施方式所示那样将各刚度质量系统70的共振频率设定为彼此大致相同，但是例如还可以通过使各刚度质量系统70的共振频率互不相同，从而针对频率不同的多种振动，利用刚度质量系统70的共振而使下透孔48连通。另外，质量部未必相对于弹性变形区域而言是厚壁的，例如，若由与封闭橡胶弹性板密度不同的金属等形成质量部，则也能够以与弹性变形区域相同的厚度调节质量部的质量。另外，只要能够适当地设定刚度质量系统70的共振频率，还能够利用弹性变形区域的一部分在不使材质、形状不同的情况下构成质量部。另外，质量部除了与弹性变形区域形成为一体以外，还能够通过将独立的金属板等固定而形成质量部。另外，还可以在一个弹性变形区域的周向上设置彼此分开的多个质量部。另外，上述实施方式所示的可动橡胶膜36仅是封闭橡胶弹性板的一例子，并不限定封闭橡胶弹性板的具体的构造。即，可动橡胶膜36的中央安装部58、辐条状保持部60不是必须设定的，能够省略。此外，在上述实施方式中，说明了将本发明应用于汽车用发动机支架的具体例，但本发明除汽车用车身支架、差动齿轮箱支架、悬架构件支架、悬架轴衬等以外，还能够应用于对除汽车以外的各种振动体进行隔振的任何流体封入式隔振装置。