一种双轴共轨直线运动装置的制作方法

本实用新型涉及通用机械部件领域，尤其涉及一种双轴共轨直线运动装置。

背景技术：

目前，在半导体加工领域，经常需要用到直线运动模组，大多仅仅能满足一个滑座的往复运动，当需要两个滑座配合运动时，就要安装两套直线运动模组，但其往往达不到精确控制，严重限制了直线运动模组的使用，有鉴于此，发明一种可以精确控制运动精度的装置变得有尤为重要。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种结构紧凑的双轴共轨直线运动装置。

为解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案是：

一种双轴共轨直线运动装置，其关键技术点在于，其包括基座、端盖、导轨、第一丝杠驱动机构和第二丝杠驱动机构，所述基座的横截面为中空U型结构，所述基座两端分别安装有端盖，所述导轨固定设置在所述基座上；

所述第一丝杠驱动机构包括第一驱动电机、第一丝杠固定座、第一联轴器、第一丝杠、第一滑座和第一轴承支座，所述第一驱动电机设于所述基座的一端，所述第一驱动电机的输出轴端设有第一丝杠固定座，所述第一轴承支座设于所述基座的另一端，所述第一丝杠穿过所述第一滑座，且两端分别连接所述第一丝杠固定座和所述第一轴承支座，所述第一驱动电机通过第一联轴器连接所述第一丝杠；

所述第二丝杠驱动机构包括第二驱动电机、第二丝杠固定座、第二联轴器、第二丝杠、第二滑座和第二轴承支座，所述第二驱动电机设于所述基座的一端，所述第二驱动电机的输出轴端设有第二丝杠固定座，所述第二轴承支座设于所述基座的另一端，所述第二丝杠穿过所述第二滑座，且两端分别连接所述第二丝杠固定座和所述第二轴承支座，所述第二驱动电机通过第二联轴器连接所述第二丝杠；

所述第一丝杠固定座和所述第二丝杠固定座分别设置于所述基座两端，所述一滑座和第二滑座的底部滑动设置于所述导轨上。

作为本实用新型进一步的改进，所述基座一侧设置有光电限位开关。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：

本实用新型装有两套丝杠驱动机构，公用一套导轨，两个驱动电机分别通过两个联轴器带动两个丝杠转动，进而驱动两个滑座进行前进及回零动作，结构比用两个单轴模组节约空间，第一滑座和第二滑座配合运动精度高，共轨运行绝对平顺。

本实用新型的基座为一体成型中空截面的铝合金材质，高刚性低自重，基座可以安装大负载的导轨，适合高负载低自重场合。

本实用新型结构简单紧凑，第一驱动电机和第二驱动电机驱动兼容性强，兼容100W-400W功率电机，实现第一滑座和第二滑座同向及相向位置的精确控制，适用于高精度场合。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1 为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的基座的横截面示意图；

在附图中：1基座、2端盖、3导轨、41第一驱动电机、42第一丝杠固定座、43第一联轴器、44第一丝杠、45第一滑座、46第一轴承支座、51第二驱动电机、52第二丝杠固定座、53第二联轴器、54第二丝杠、55第二滑座、56第二轴承支座、7光电限位开关。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合具体实施例对实用新型进行清楚、完整的描述。

如附图1和2所示，一种双轴共轨直线运动装置，其包括基座1、端盖2、导轨3、第一丝杠驱动机构和第二丝杠驱动机构，所述基座1的横截面为中空U型结构，所述基座1两端分别安装有端盖2，所述导轨3为两个，并平行固定设置在所述基座1上。

本实用新型的第一丝杠驱动机构包括第一驱动电机41、第一丝杠固定座42、第一联轴器43、第一丝杠44、第一滑座45和第一轴承支座46，所述第一驱动电机41设于所述基座1的一端，所述第一驱动电机41的输出轴端设有第一丝杠固定座42，所述第一轴承支座46设于所述基座1的另一端，所述第一丝杠44穿过所述第一滑座45，且两端分别连接所述第一丝杠固定座42和所述第一轴承支座46，所述第一驱动电机41通过第一联轴器43连接所述第一丝杠44，带动第一丝杠44转动。

本实用新型的第二丝杠驱动机构包括第二驱动电机51、第二丝杠固定座52、第二联轴器53、第二丝杠54、第二滑座55和第二轴承支座56，所述第二驱动电机51设于所述基座1的一端，所述第二驱动电机51的输出轴端设有第二丝杠固定座52，所述第二轴承支座56设于所述基座1的另一端，所述第二丝杠54穿过所述第二滑座55，且两端分别连接所述第二丝杠固定座52和所述第二轴承支座56，所述第二驱动电机51通过第二联轴器53连接所述第二丝杠54，带动第二丝杠54转动。

所述第一丝杠固定座42和所述第二丝杠固定座52分别设置于所述基座1两端，所述一滑座45和第二滑座55的底部滑动设置于所述导轨3上，可以实现两个滑座同向或相向运动，两个滑座分别被独立控制，精确度高。

本实用新型的基座1一侧设置有光电限位开关7，当第一滑座45和第二滑座55分别接触到光电限位开关时，停止运动。

本实用新型的基座为定制开模挤压成型，为中空结构，整体刚性强、自重低，可以安装大负载的导轨，整个装置结构紧凑，精度高。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围。