阀门关闭装置及阀门关闭方法与流程

本发明涉及显示装置制程领域，尤其涉及一种阀门关闭装置及阀门关闭方法。

背景技术：

薄膜晶体管(thinfilmtransistor，tft)是目前液晶显示装置(liquidcrystaldisplay，lcd)和有机电致发光显示装置(organiclight-emittingdiode，amoled)中的主要驱动元件，直接关系到高性能平板显示装置的发展方向。因此，不论是lcd的显示面板，还是oled的显示面板，通常都具有一tft基板。以lcd的显示面板为例，其主要是由一tft基板、一彩色滤光片(colorfilter，cf)基板、以及配置于tft基板和cf基板间的液晶层(liquidcrystallayer)所构成，其工作原理是通过在tft基板与cf基板上施加驱动电压来控制液晶层中液晶分子的旋转，将背光模组的光线折射出来产生画面。

目前，薄膜制程技术广泛应用于lcd和oled上，由于利用薄膜制程技术所生产的产品具有很高附加价值，使薄膜制程技术与薄膜材料被广泛应用于研究和实际，同时带来镀膜技术的迅速发展。通常，镀膜方法主要包括离子镀膜法、射频磁控溅镀、真空蒸发法、化学气相沉积法等。随着人们对视觉效果越来越高的要求，tft基板上的线路愈发密集，因而需要对镀膜过程中产生的颗粒(particle)进行更严格的控制，防止颗粒对tft基板产生不良影响。

现有改善颗粒的方式主要为通过阀门关闭装置控制镀膜设备阀门的开关动作，在阀门闭合的瞬间进行降速，防止阀门闭合时碰撞产生颗粒进入到镀膜设备中。如图1所示为现有的阀门关闭装置，包括：中空的外壳100、贯穿所述外壳100底部的进气口200、露置于外壳100顶部且一端伸入外壳100内的传动装置300，阀门需要关闭时，向所述进气口200通入气体带动传动装置300向上移动，从而关闭阀门，在阀门刚开始关闭时使进气口200的进气速率大，而在阀门即将完全闭合时降低进气口200的进气速率，从而使镀膜设备阀门降速闭合，另一种现有的阀门关闭装置，在图1所示的阀门关闭装置的基础上，于外壳100底部设置多个连接不同管径的气管的进气口200，在阀门刚开始关闭时利用大管径的气管进气，而在阀门即将完全闭合时利用小管径的气管进气，从而使镀膜设备阀门降速闭合，然而这两种阀门关闭装置均是对进气口200进行节流，为了保证阀门闭合时不会因碰撞产生颗粒，需要较长的缓冲距离和时间才能实现阀门降速闭合，阀门的关闭速率低，会对生产时间(tacttime)造成一定的负面影响，降低生产速率，提高生产成本。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种阀门关闭装置，能够在保证阀门关闭速率的同时避免阀门闭合时因碰撞产生颗粒，提升产品品质。

本发明的目的还在于提供一种阀门关闭方法，能够在保证阀门关闭速率的同时避免阀门闭合时因碰撞产生颗粒，提升产品品质。

为实现上述目的，本发明提供一种阀门关闭装置，包括：中空的外壳、贯穿所述外壳底部的第一进气口、设于所述外壳内周面上的抵挡部、贯穿所述外壳侧壁且位于抵挡部上方的第二进气口、位于抵挡部与外壳底部之间的密封盘、露置于外壳顶部且一端伸入外壳内的传动装置；所述传动装置伸入外壳内的一端与外壳内周面配合且位于外壳顶部与抵挡部之间；所述密封盘与外壳内周面配合；

所述第一进气口用于通入流量为第一流量的气体，推动密封盘向上移动至抵挡于所述抵挡部同时推动传动装置伸入外壳内的一端向上移动至第二进气口上方的第一位置；所述第二进气口用于通入流量为第二流量的气体，推动传动装置伸入外壳内的一端从第一位置向上移动；所述第一流量大于第二流量；

所述传动装置用于向上移动带动阀门关闭。

所述外壳为气缸。

所述传动装置包括贯穿外壳顶部的传动杆、及设于传动杆伸入外壳内一端的活塞；所述活塞与外壳内周面配合。

所述抵挡部的数量为2个，该两个抵挡部下表面与外壳底部之间的距离相等。

所述密封盘上表面设有推进杆，所述推进杆的长度大于第二进气口与抵挡部下表面之间的距离。

本发明还提供一种阀门关闭方法，包括如下步骤：

步骤1、提供一阀门关闭装置；

所述阀门关闭装置包括：中空的外壳、贯穿所述外壳底部的第一进气口、设于所述外壳内周面上的抵挡部、贯穿所述外壳侧壁且位于抵挡部上方的第二进气口、位于抵挡部与外壳底部之间的密封盘、露置于外壳顶部且一端伸入外壳内的传动装置；所述传动装置伸入外壳内的一端与外壳内周面配合且位于外壳顶部与抵挡部之间；所述密封盘与外壳内周面配合；

步骤2、向第一进气口通入流量为第一流量的气体，推动密封盘向上移动至抵挡于所述抵挡部的同时推动传动装置伸入外壳内的一端向上移动至第二进气口上方的第一位置，传动装置向上移动带动阀门关闭；

步骤3、向第二进气口通入流量为第二流量的气体，推动传动装置伸入外壳内的一端从第一位置向上移动，传动装置向上移动带动阀门关闭直至阀门完全闭合；

第二流量小于第一流量。

所述外壳为气缸。

所述传动装置包括贯穿外壳顶部的传动杆、及设于传动杆伸入外壳内一端的活塞；所述活塞与外壳内周面配合。

所述抵挡部的数量为2个，该两个抵挡部下表面与外壳底部之间的距离相等。

所述密封盘上表面设有推进杆，所述推进杆的长度大于第二进气口与抵挡部下表面之间的距离。

本发明的有益效果：本发明的阀门关闭装置，包括外壳、贯穿外壳底部的第一进气口、设于外壳内周面上的抵挡部、贯穿外壳侧壁且位于抵挡部上方的第二进气口、位于抵挡部与外壳底部之间的密封盘、露置于外壳顶部且一端伸入外壳内的传动装置；通过向第一进气口通入流量为第一流量的气体，推动密封盘向上移动至抵挡于所述抵挡部的同时推动传动装置伸入外壳内的一端向上移动至第二进气口上方的第一位置，带动阀门快速关闭，之后向第二进气口通入流量为第二流量的气体，推动传动装置伸入外壳内的一端从第一位置继续向上移动，带动阀门缓慢关闭直至完全闭合，保证阀门关闭速率的同时避免阀门闭合时因碰撞产生颗粒，提升产品品质。本发明的阀门关闭方法，能够在保证阀门关闭速率的同时避免阀门闭合时因碰撞产生颗粒，提升产品品质。

附图说明

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图中，

图1为现有的阀门关闭装置的结构示意图；

图2为本发明的阀门关闭装置的第一实施例的结构示意图；

图3为本发明的阀门关闭装置的第二实施例的结构示意图；

图4为本发明的阀门关闭方法的流程图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

请参阅图2，为本发明的阀门关闭装置的第一实施例，本发明的阀门关闭装置用于使真空镀膜设备的阀门关闭，包括：中空的外壳10、贯穿所述外壳10底部的第一进气口20、设于所述外壳10内周面上的抵挡部30、贯穿所述外壳10侧壁且位于抵挡部30上方的第二进气口40、位于抵挡部30与外壳10底部之间的密封盘50、露置于外壳10顶部且一端伸入外壳10内的传动装置60；所述传动装置60伸入外壳10内的一端与外壳10内周面配合且位于外壳10顶部与抵挡部30之间；所述密封盘50与外壳10内周面配合；

所述第一进气口20用于通入流量为第一流量的气体，推动密封盘50向上移动至抵挡于所述抵挡部30同时推动传动装置60伸入外壳10内的一端向上移动至第二进气口40上方的第一位置；所述第二进气口40用于通入流量为第二流量的气体，推动传动装置60伸入外壳10内的一端从第一位置向上移动；所述第一流量大于第二流量；

所述传动装置60用于向上移动带动阀门关闭。

需要说明的是，本发明的阀门关闭装置在工作时，先通过第一进气口20通入流量为第一流量的气体，流量为第一流量的气体推动密封盘50向上移动，压缩密封盘50与传动装置60伸入外壳10内的一端之间的气体，使传动装置60也向上移动，传动装置60向上移动带动阀门关闭，当密封盘50移动至抵挡于所述抵挡部30时，传动装置60伸入外壳10内的一端移动至第二进气口40上方的第一位置，此时，向第二进气口40内通入流量为第二流量的气体，该流量为第二流量的气体通入外壳10、密封盘50、传动装置60伸入外壳10内的一端所围的腔体内，由于密封盘50下方气体的作用，密封盘50保持抵挡于抵挡部30，流量为第二流量的气体能够推动传动装置60伸入外壳10内的一端从第一位置继续向上移动，继续带动阀门关闭，直至阀门完全闭合，且由于第一流量大于第二流量，使得传动装置60伸入外壳10内的一端上升至第一位置之前的速度大于其从第一位置继续向上移动的速度，从而使该传动装置60带动阀门关闭时，在刚开始关闭时速度快，而在阀门即将完全闭合时速度降低，无需设置较长的缓冲距离和时间即可实现阀门降速闭合，能够保证阀门的关闭速率，实现对生产时间影响的最小化，同时能够防止阀门闭合时因碰撞产生颗粒，提升产品的品质。

具体地，所述第一进气口20接入管径较大的气管，所述第二进气口40接入管径较小的气管，以实现所述第一流量大于第二流量；或者，

使所述第一进气口20的进气速率大于第二进气口40的进气速率，以实现所述第一流量大于第二流量。

具体地，所述外壳10为气缸。

具体地，所述传动装置60包括贯穿外壳10顶部的传动杆61、及设于传动杆61伸入外壳10内一端的活塞62；所述活塞62与外壳10内周面配合。

具体地，所述抵挡部30的数量为2个，该两个抵挡部30下表面与外壳10底部之间的距离相等。当然，所述抵挡部30的数量也可大于2个，以更好地对密封盘50进行限位，进一步地，所述抵挡部30还可为环状结构。

具体地，请参阅图3，为本发明的阀门关闭装置的第二实施例，该实施例与上述第一实施例的区别在于，所述密封盘50上表面设有推进杆51，所述推进杆51的长度大于第二进气口40与抵挡部30下表面之间的距离。

需要说明的是，通过设置长度大于第二进气口40与抵挡部30下表面之间的距离的推进杆51，使密封盘50与传动装置60伸入外壳10内的一端之间的距离至少为第二进气口40与抵挡部30下表面之间的距离，确保当密封盘50移动至抵挡于所述抵挡部30时传动装置60伸入外壳10内的一端能够位于第二进气口40的上方。

请参阅图4，基于上述阀门关闭装置，本发明还提供一种阀门关闭方法，包括如下步骤：

步骤1、请参阅图2，提供一阀门关闭装置；

所述阀门关闭装置包括：中空的外壳10、贯穿所述外壳10底部的第一进气口20、设于所述外壳10内周面上的抵挡部30、贯穿所述外壳10侧壁且位于抵挡部30上方的第二进气口40、位于抵挡部30与外壳10底部之间的密封盘50、露置于外壳10顶部且一端伸入外壳10内的传动装置60；所述传动装置60伸入外壳10内的一端与外壳10内周面配合且位于外壳10顶部与抵挡部30之间；所述密封盘50与外壳10内周面配合。

具体地，所述外壳10为气缸。

具体地，所述传动装置60包括贯穿外壳10顶部的传动杆61、及设于传动杆61伸入外壳10内一端的活塞62；所述活塞62与外壳10内周面配合。

具体地，所述抵挡部30的数量为2个，该两个抵挡部30下表面与外壳10底部之间的距离相等。当然，所述抵挡部30的数量也可大于2个，以更好地对密封盘50进行限位，进一步地，所述抵挡部30还可为环状结构。

可选地，请参阅图3，所述密封盘50上表面设有推进杆51，所述推进杆51的长度大于第二进气口40与抵挡部30下表面之间的距离。

步骤2、向第一进气口20通入流量为第一流量的气体，推动密封盘50向上移动至抵挡于所述抵挡部30的同时推动传动装置60伸入外壳10内的一端向上移动至第二进气口40上方的第一位置，传动装置60向上移动带动阀门关闭。

步骤3、向第二进气口40通入流量为第二流量的气体，推动传动装置60伸入外壳10内的一端从第一位置向上移动，传动装置60向上移动带动阀门关闭直至阀门完全闭合；

第二流量小于第一流量。

需要说明的是，由于第二流量小于第一流量，使得传动装置60伸入外壳10内的一端上升至第一位置之前的速度也即步骤2中传动装置60向上移动的速度大于传动装置60伸入外壳10内的一端从第一位置继续向上移动的速度也即步骤3中传动装置60向上移动的速度，从而使该传动装置60带动阀门关闭时，在刚开始关闭时速度快，而在阀门即将完全闭合时速度降低，无需设置较长的缓冲距离和时间即可实现阀门降速闭合，能够保证阀门的关闭速率，实现对生产时间影响的最小化，同时能够防止阀门闭合时因碰撞产生颗粒，提升产品的品质。

具体地，所述第一进气口20接入管径较大的气管，所述第二进气口40接入管径较小的气管，以实现所述第一流量大于第二流量；或者，

使所述第一进气口20的进气速率大于第二进气口40的进气速率，以实现所述第一流量大于第二流量。

综上所述，本发明的阀门关闭装置，包括外壳、贯穿外壳底部的第一进气口、设于外壳内周面上的抵挡部、贯穿外壳侧壁且位于抵挡部上方的第二进气口、位于抵挡部与外壳底部之间的密封盘、露置于外壳顶部且一端伸入外壳内的传动装置；通过向第一进气口通入流量为第一流量的气体，推动密封盘向上移动至抵挡于所述抵挡部的同时推动传动装置伸入外壳内的一端向上移动至第二进气口上方的第一位置，带动阀门快速关闭，之后向第二进气口通入流量为第二流量的气体，推动传动装置伸入外壳内的一端从第一位置继续向上移动，带动阀门缓慢关闭直至完全闭合，保证阀门关闭速率的同时避免阀门闭合时因碰撞产生颗粒，提升产品品质。本发明的阀门关闭方法，能够在保证阀门关闭速率的同时避免阀门闭合时因碰撞产生颗粒，提升产品品质。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。