一种静压气体轴承装置的制作方法

技术特征：

1.一种静压气体轴承装置，至少包括气体轴承和气缸，所述气体轴承环隙配合设置于所述汽缸内并可在所述气缸内做往复运动，所述气体轴承包括圆柱状轴承本体、数个设置于所述轴承本体上的限流机构以及在所述轴承本体内沿轴向设置的充气腔，其特征在于：所述限流机构与所述轴承本体通过螺纹紧密配合连接，所述限流机构上设有限流通孔，所述充气腔通过所述限流通孔与所述环隙连通，所述充气腔的前端连接有单向进气机构，所述充气腔通过所述单向进气机构与所述充气腔外单向止通式连通。

2.根据权利要求1所述的静压气体轴承装置，其特征在于：所述限流通孔的孔径为0.05mm～0.08mm。

3.根据权利要求1所述的静压气体轴承装置，其特征在于：所述数个限流机构为内部设有限流通孔、外部设有螺纹的螺栓结构，所述限流通孔的上部设有扩流结构，所述扩流结构为圆台型或圆柱型。

4.根据权利要求3所述的静压气体轴承装置，其特征在于：所述轴承本体上设有与所述限流机构上设有的螺纹相适配的螺纹孔，所述螺纹孔外延开设有端口。

5.根据权利要求3所述的静压气体轴承装置，其特征在于：所述限流通孔顶部设有与螺丝安装工具相适配的一字型、十字型或三角型的装配凹槽。

6.根据权利要求1-5任一权利要求所述的静压气体轴承装置，其特征在于：所述限流机构为铜质材质。

7.根据权利要求1所述的静压气体轴承装置，其特征在于：数个所述限流机构沿同一纵切面周向均布嵌设于所述轴承本体外表面上。

8.根据权利要求7所述的静压气体轴承装置，其特征在于：设有两组分别包括数个位于同一纵切面上沿轴承本体周向均布的所述限流机构，其中一组所述限流机构靠近所述轴承本体前端设置，另一组所述限流机构远离所述轴承本体前端设置。

9.根据权利要求8所述的静压气体轴承装置，其特征在于：两组所述限流机构之间沿径向夹角45°交错设置。

10.根据权利要求1所述的静压气体轴承装置，其特征在于：所述单向进气机构包括阀体、过滤芯和阀片，设有进气通道的阀体与所述充气腔的内壁紧密连接，所述阀片可开合式连接于所示进气通道的出气口处，所示阀体通过设置于所述进气通道进气口处的卡簧限位固定于所述充气腔的开口端，所述过滤芯设置于所述进气通道内。