14和外壳15，所述主体14形成有与流量控制器3的流体通路连通的通路，呈长方体块状，所述外壳15设置在主体14的上方，内置调节器(开闭机构)。
[0047]外壳15具有顶壁15a，在顶壁15a的中央部设置有连接压缩空气导入管的接头部16，所述压缩空气导入管向外壳15内部导入压缩空气。顶壁15a为圆板的两侧被切掉的形状。
[0048]流量控制器3的流体通路与开闭阀4的流体通路通过通路块6被连通，所述通路块6以横跨前侧的伸出通路块12及开闭阀4的主体14双方的方式设置在它们的下方。前侧的伸出通路块12及开闭阀4的主体14通过来自上方的内六角螺栓7固定在通路块6上。
[0049]热传感器单元5具备:热传感器17，其前端具有检测端部17a，呈软线状；凸缘18，其被热传感器17穿过；以及支承部件19，其安装在开闭阀4上，支承热传感器17。
[0050]热传感器17具备铠装热电偶。
[0051]凸缘18为方形板状，设置有热传感器17插通的传感器插通孔18a，和紧固凸缘18的凸缘用螺钉20插通的螺钉插通孔18b。
[0052]支承部件19由环状主体21和一对突出部(第I突出部23以及第2突出部24)构成，所述环状主体21在圆周方向的一处设置有狭缝22，所述一对突出部使设置在主体21上的狭缝22向径向外侧延长地与主体21 —体设置。
[0053]主体21的外周面21a为短圆柱面，内周面21b为与外壳15的顶壁15a的外周面对应的形状(例如圆柱面的两侧为平坦面的形状)。由于主体21设置有狭缝22，具有狭缝22的宽度变宽的方向或变窄的方向的弹性。
[0054]在第I突出部23上设置有螺钉插通孔26，该螺钉插通孔26用于从与第2突出部24对置的面的相反侧的面插通支承部件用螺钉25。在第2突出部24上以在与螺钉插通孔26相同的方向上延伸的方式设置有与支承部件用螺钉25拧合的内螺纹部27。在第2突出部24上还设置有向上方延伸的内螺纹部28。
[0055]螺钉插通孔26以及内螺纹部27如图3所示，从上方观察，与狭缝22的延伸方向直交，但在以水平面(开闭阀4的下表面、外壳15的顶壁15a的上表面等)为基准的情况下，以螺钉插通孔26处于上方的方式倾斜设置。支承部件用螺钉25为内六角螺栓，可以使用内六角螺栓用的紧固工具进行紧固。
[0056]支承部件19的环状主体21的内周面21b为能够与外壳15的顶壁15a的外周面松动地嵌合的形状，通过紧固支承部件用螺钉25，狭缝22的宽度变窄，由此支承部件19固定于外壳15上。
[0057]在一对突出部23、24彼此对置的面上分别设置有在上下方向上延伸的截面呈半圆形的凹部29、30，热传感器17在由这2个凹部29、30形成的贯通孔状部分插通。如果为了将支承部件19固定于外壳15上而紧固支承部件用螺钉25，则凹部29、30彼此接近，热传感器17被这2个凹部29、30夹持。
[0058]在支承部件19未安装到开闭阀4上的状态下，在传感器插通孔18a中插通有热传感器17的凸缘18通过紧固凸缘用螺钉20，被安装到支承部件19上。安装有热传感器17的支承部件19从上方嵌合到外壳15上，在该状态下，热传感器17的检测端部17a插入漏泄口 12a，之后，支承部件用螺钉25被紧固。在紧固支承部件用螺钉25时，由于螺钉插通孔26以及内螺纹部27倾斜，从而能够从外壳15的顶壁15a的上方进行作业，能够避免与相邻的开闭阀4的顶壁15a以及热传感器单元5的干涉来安装支承部件19。这样，热传感器单元5可装卸地安装在开闭阀4上。
[0059]为了测定流体(气体)温度，优选在尽可能靠近该流体的地方配置热传感器17的检测端部17a。通过利用设置在流量控制器3的伸出通路块12上的漏泄口 12a，能够准确地测定温度。
[0060]在利用漏泄口 12a的情况下，也可以使用将前侧的伸出通路块12固定在通路块6上的内六角螺栓7，将插通有热传感器17的凸缘18固定在前侧的伸出通路块12上，但在该情况下，需要在装卸热传感器17时拆除流量控制器3，因此存在管路被大气开放，装卸热传感器17非常麻烦的问题。
[0061]在上述实施方式中，无需拆除流量控制器3，也不会影响流体控制装置I的功能，就能够装卸热传感器单元5。而且，通过使用开闭阀4固定热传感器单元5，流体控制装置I中存在的空间被有效地利用，即使在空间性上难以使用软管夹箍来安装热传感器17的情况下，也能够设置热传感器单元5。
[0062]另外，在上述中，作为流量控制器3例示了质量流量控制器，但作为流量控制器3也可以使用流体可变式流量控制器。此外，也可以取代使用流量控制器3以及开闭阀4来设置热传感器单元5，而使用彼此相邻的另外2个流体控制器。在这种情况下，支承部件主体的内周面形状根据安装支承部件的流体控制器的形状而适当变更。支承部件主体的外周面形状既可以是如上所述的圆周面(圆筒状)，也可以是角筒状。
[0063]工业实用性
[0064]根据本发明，能够容易地将热传感器设置在用于半导体制造装置等的流体控制装置上，因此流体控制装置的控制精度提高，能够扩大其用途。
【主权项】
1.一种流体控制装置，具备彼此相邻的第I流体控制器及第2流体控制器，以及测定在第I流体控制器的流体通路中流动的流体的温度的热传感器，其特征在于， 还具备安装在第I流体控制器及第2流体控制器中任意一个上，支承热传感器的支承部件。2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，第I流体控制器用来控制流量，第2流体控制器是进行第I流体控制器的流体通路的断流开放的开闭阀。3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于，第2流体控制器具有内置开闭机构的外壳，支承部件可从外壳上方装卸地安装在外壳上。4.根据权利要求1至3中任一项所述的流体控制装置，其特征在于，第I流体控制器具有漏泄口，热传感器的检测端部插入该漏泄口。5.根据权利要求3所述的流体控制装置，其特征在于，支承部件由环状主体和一对突出部构成，所述环状主体在圆周方向的一处设置有狭缝，所述一对突出部使设置在主体上的狭缝向径向外侧延长地与主体一体设置，主体内周面是与外壳顶壁的外周面对应的形状。6.根据权利要求5所述的流体控制装置，其特征在于，在一个的突出部上设置有螺钉插通孔，该螺钉插通孔用于从与另一个突出部对置的面的相反侧的面插通支承部件用螺钉，在另一个突出部上以在与螺钉插通孔相同的方向上延伸的方式设置有与支承部件用螺钉拧合的内螺纹部。7.根据权利要求6所述的流体控制装置，其特征在于，以外壳顶壁的上表面为基准，螺钉插通孔及内螺纹部以螺钉插通孔处于上方的方式倾斜设置，支承部件用螺钉为内六角螺栓。8.—种流体控制装置上的热传感器设置结构，其用于在流体控制装置上设置热传感器，所述流体控制装置具备流量控制器和开闭阀，所述流量控制器控制流量，所述开闭阀与流量控制器相邻配置，具有内置开闭机构的外壳，进行流量控制器的流体通路的断流开放，所述热传感器测定在流体控制器的流体通路中流动的流体的温度，其特征在于， 具备支承热传感器的支承部件，支承部件可从开闭阀的外壳上方装卸地安装在外壳上。9.根据权利要求8所述的流体控制装置上的热传感器设置结构，其特征在于，热传感器的检测端部能够插入流量控制器上设置的漏泄口。10.根据权利要求8或9所述的流体控制装置上的热传感器设置结构，其特征在于，支承部件由环状主体和一对突出部构成，所述环状主体在圆周方向的一处设置有狭缝，所述一对突出部使设置在主体上的狭缝向径向外侧延长地与主体一体设置，主体内周面是与开闭阀的外壳顶壁的外周面对应的形状。11.根据权利要求10所述的流体控制装置上的热传感器设置结构，其特征在于，在一个的突出部上设置有螺钉插通孔，该螺钉插通孔用于从与另一个突出部对置的面的相反侧的面插通支承部件用螺钉，在另一个突出部上以在与螺钉插通孔相同的方向上延伸的方式设置有与支承部件用螺钉拧合的内螺纹部。12.根据权利要求11所述的流体控制装置上的热传感器设置结构，其特征在于，螺钉插通孔及内螺纹部以螺钉插通孔处于上方的方式倾斜设置，支承部件用螺钉为内六角螺CO
【专利摘要】本发明提供一种流体控制装置以及流体控制装置上的热传感器设置结构，其能够有效利用流体控制装置上的空间，通过简单的施工来设置用于温度管理的热传感器。流体控制装置(1)具备彼此相邻的第1流体控制器(3)及第2流体控制器(4)，以及测定在第1流体控制器(3)内流动的流体的温度的热传感器(17)。流体控制装置(1)还具备安装在第2流体控制器(4)上，支承热传感器(17)的支承部件(19)。
【IPC分类】G05D7/06, F16K27/00
【公开号】CN105102868
【申请号】CN201480009481
【发明人】横田淳, 吉田贵洋, 阮青松, 松田隆博
【申请人】株式会社富士金
【公开日】2015年11月25日
【申请日】2014年2月17日
【公告号】WO2014136557A1