1.一种高纯气体自动装瓶系统，其特征是，构成中包括真空泵组（1）、膜压机（14）、充装排（15）和控制系统，所述真空泵组（1）的吸气口通过抽空隔膜阀（4）与充装排（15）的内腔连接；所述膜压机（14）排出的高纯气体通过充气隔膜阀（13）进入充装排（15）的内腔；所述充装排（15）的内腔通过放空隔膜阀（5）与大气相通并通过充氮隔膜阀（10）与高压纯化氮气源连接；待充气的钢瓶（16）通过高压连接管与充装排（15）的内腔连接；控制抽空隔膜阀（4）、充气隔膜阀（13）、放空隔膜阀（5）和充氮隔膜阀（10）动作的各电磁阀均与控制系统连接。
2.根据权利要求1所述的一种高纯气体自动装瓶系统，其特征是，所述控制系统包括DCS、触摸屏（18）、抽空压力传感器（2）、放空压力传感器（6）、充氮压力传感器（9）和充气压力传感器（11），所述抽空压力传感器（2）、放空压力传感器（6）、充氮压力传感器（9）和充气压力传感器（11）分别测量抽空隔膜阀（4）、放空隔膜阀（5）、充氮隔膜阀（10）和充气隔膜阀（13）所连管路的气压，它们的输出端分别接DCS的不同输入端，控制抽空隔膜阀（4）、充气隔膜阀（13）、放空隔膜阀（5）和充氮隔膜阀（10）动作的各电磁阀的控制线圈分别接DCS的不同输出端，所述触摸屏（18）通过通讯电缆与DCS连接。
3.根据权利要求1或2所述的一种高纯气体自动装瓶系统，其特征是，所述充装排（15）设置两个，两个充装排（15）均为中空的环形结构。
4.根据权利要求3所述的一种高纯气体自动装瓶系统，其特征是，所述真空泵组（1）设置两套，一套为罗茨真空泵加双级旋片泵，另一套为分子泵加双级旋片泵。
5.根据权利要求4所述的一种高纯气体自动装瓶系统，其特征是，每个充装排（15）至少设置六条与钢瓶（16）匹配的高压连接管。