膜片结构和制造膜片结构的方法

专利名称：膜片结构和制造膜片结构的方法
技术领域：
本公开总体涉及膜片结构和制造膜片结构的方法。更具体地，本公开涉及包括不同类金属的隔离膜片结构。
背景技术：
过程变送器(process transmitter)用于监控过程变量，如在各种工业过程中使用的压力、温度、流量和过程流体水位。在一些情况下，用于测量压力和/或流量参数的过程变送器可以包括隔离膜片(isolating diaphragm)，所述隔离膜片耦接至诸如管道、贮液池或其他过程设备之类的工业过程设备。通常，隔离膜片密封过程变送器外壳的至少一部分，以防止该部分外露于过程流体。可以根据膜片响应于压力的挠曲来直接从膜片测量压力，或者可以利用通过填充有流体的毛细管耦接至隔离膜片的远程压力传感器来间接地测量压力。这种压力测量可以直接使用，或者可以用来计算例如流体流率。传统上，过程变送器外壳由诸如不锈钢之类的耐蚀材料制成。典型地膜片是单片式膜片，该单片式膜片包括外环部分和可变形膜片部分，所述外环部分和可变形膜片部分典型地由钽或其他耐蚀材料制成。为了将膜片结构与过程变送器外壳相接合，执行钎焊 (brazing)工艺，所述钎焊工艺包括在膜片的外环与变送器外壳之间涂敷钎焊材料。对膜片结构和变送器外壳进行加热和冷却，以接合不同类金属。不幸地，膜片结构和变送器外壳的不同材料具有不同的热膨胀系数。由于不同的金属以不同的速率膨胀和收缩，钎焊工艺可能导致在膜片结构中形成屈曲(buckling)和其他缺陷。在这种配置下尤其难以对钽进行钎焊，这是因为在温度下钽的热膨胀系数与不锈钢变送器外壳的热膨胀系数有很大不同。在冷却时，不锈钢的收缩是钽膜片结构的大约3 倍。随着结构的冷却，钽膜片结构可以屈曲，导致明显的损坏。在一些情况下，这样的屈曲可能并不是明显地可以检测到的，但是仍可能引起膜片结构的性能变化。传统上，膜片结构在其形状中包括用于克服这种缺陷的特征；然而各压力变送器的性能可能不一致。因此，需要一种改进的膜片结构和制造膜片结构的方法。

发明内容
在具体实施例中，一种过程变送器包括具有凸缘部分的耐蚀外壳，耐蚀外壳由第一材料制成。该过程变送器还包括由第二材料制成的外环。外环具有内径并且被钎焊到凸缘部分。该过程变送器还包括由第三材料制成的可变形膜片，在膜片与外环之间、与内径相邻的焊缝处，可变形膜片被焊接到外环，以形成流体密封。在另一具体实施例中，公开了一种制造压力变送器的方法，该方法包括将外环钎焊到由耐蚀材料制成的过程变送器外壳的凸缘，其中外环包括膜片容纳结构。该方法还包括将膜片的附接部分设置到膜片容纳结构上，膜片实质上在整个直径上可变形。在附接部分处，将膜片焊接到外环，以在膜片与外环之间形成焊接密封。在另一具体实施例中，一种变送器设备包括凸缘部分，具有限定了流体腔的第一内径。该变送器设备还包括外环，外环具有与第一内径相对应的第二内径。外环包括与第二内径相邻的膜片容纳结构。外环被钎焊到凸缘部分。该变送器设备还包括可变形膜片， 可变形膜片包括尺寸与容纳结构匹配的安装结构。在膜片容纳结构与安装结构之间的焊缝处，可变形膜片被焊接到外环。


图1是过程控制系统的具体说明性实施例的图示，该过程控制系统包括具有膜片结构的压力变送器，所述膜片结构具有冲压的膜片和单独的外环；图2是包括单片式膜片的传统膜片结构的分解图，所述单片式膜片具有从单片材料冲压而成的外环；图3是膜片结构的具体说明性实施例的分解图，所述膜片结构包括冲压的膜片和单独的外环；图4是图3的单独外环的俯视图；图5是图3的单独膜片的俯视图；图6是在将外环钎焊到压力变送器外壳之后以及在将膜片电阻焊接到外环之后的膜片结构的具体实施例的仰视图；图7是图6的膜片结构沿图6的线7-7的横截面图；图8是制造膜片结构的方法的具体说明性实施例的流程图，所述膜片具有冲压的膜片和单独的外环；以及图9是制造变送器设备的方法的第二具体说明性实施例的流程图，所述变送器设备包括冲压的膜片和单独的外环。
具体实施例方式图1是过程控制系统100的具体说明性实施例的图示，过程控制系统100包括经由配线106与控制系统104通信的压力变送器102。在备选实施例中，压力变送器102可以包括无线收发器，用于经由无线通信链路与控制系统104通信。以局部截面图示出了压力变送器102。压力变送器102经由基本外壳部分110耦接至集管(manifold) 108(或其他附接机构)。在具体实施例中，集管108可以经由第一线路141和第二线路151耦接至管道 109。在另一具体示例中，集管108或诸如夹子之类的其他附接特征可以将压力变送器102 耦接至贮液池壁、耦接至其他设备、或它们的任意组合。在具体实施例中，压力变送器102 和集管108可以与过程管道109相距一定的距离，第一线路141和第二线路151可以是延伸管(extended tube)。压力变送器102优选地包括可通过螺纹(threadably)附接到上部外壳部分112 的基本外壳部分110。基本外壳部分110限定了传感器腔126、第一流体腔146和第二流体腔156。传感器腔1 通过第一隔离屏障145与第一流体腔146和第二流体腔156隔离。压力变送器102优选地可以包括变送器外壳部分114以及可通过螺纹附接到上部外壳部分112的输入接口部分118。上部外壳部分112和变送器外壳部分114限定了变送器腔124。变送器外壳部分114还包括变送器盖116，所述变送器盖116适于保护变送器电路134免受过程环境影响。输入接口 118包括用于耦接至配线106的一个或多个紧固件120。输入接口 118和上部外壳部分112限定了输入/输出接口腔122，所述输入/输出接口腔122包括输入/输出接口电路132。输入/输出接口腔122通过第二隔离屏蔽123与变送器腔124隔离。输入/输出接口电路132耦接至输入接口 118以及变送器电路134，并且适于在变送器电路132与控制系统104之间传送数据。 传感器腔126通过第三隔离屏蔽119与变送器电路腔124以及与输入/输出接口腔122隔离。传感器腔126适于保护诸如压力传感器之类的传感器电路136。在该实施例中，压力变送器102包括第一压力接口 140和第二压力接口 150。第一压力接口 140包括具有第一膜片144的膜片结构142。第一膜片144包括第一隔离表面和第一流体腔表面，第一隔离表面与经由集管108和第一线路141接收到的过程流体接触， 第一流体腔表面与第一流体腔146内的隔离填充流体相接触。第一膜片144将第一流体腔 146与过程流体隔离。第一压力接口 140还包括第一毛细管148，第一毛细管148将第一流体腔146耦接至传感器电路136的第一测压口(pressure inlet) 149。第二压力接口 150包括具有第二膜片154的第二膜片结构152。第二膜片154包括第二隔离表面和第二流体腔表面，第二隔离表面与经由集管108和第二线路151接收到的过程流体相接触，第二流体腔表面与第二流体腔156内的隔离填充流体相接触。第二膜片154将第二流体腔156与过程流体隔离。第二压力接口 150还包括第二毛细管158，第二毛细管158将第二流体腔156耦接至传感器电路136的第二测压口 159。在具体实施例中，第一膜片144和第二膜片154适于响应于过程流体压力而变形， 从而响应于这样的变形，对第一流体腔146和第二流体腔156内以及相应的第一毛细管148 和第二毛细管158内的填充流体施加压缩力。填充流体适于响应于第一膜片144的变形，经由第一毛细管148将过程流体压力传送至第一测压口 149。填充流体还适于响应于第二膜片154的变形，经由第二毛细管158将过程压力传送至第二测压口 159。在具体实施例中，传感器电路136适于经由第一毛细管148内的填充流体，基于第一膜片144的变形，来确定第一过程流体压力，以及适于经由第二毛细管158内的填充流体，基于第二膜片154的变形， 来确定第二过程流体压力。在具体示例中，过程管道109可以包括孔板(orifi ce plate)、 分水条(shedding bar)、annubar结构、Venturi管、或适于产生线路141与线路151之间的差压以使第一膜片结构142和第二膜片结构152受到不同流体压力的其他流阻抗(flow impedance)器件。在具体实施例中，第一膜片144包括可变形膜片部分(如，图3所示的可变形膜片 304)和分离的安装环部分(如，图3所示的外环306)，其中，将分离的安装环钎焊到基本外壳部分110，将可变形膜片部分电阻焊接(resistance weld)或以其他方式固定到分离的安装环。在具体示例中，分离的安装环和可变形膜片部分由不同材料制成，并且均由不同于基本外壳部分110的材料制成，基本外壳部分110可以由不锈钢制成。在具体实施例中，分离的安装环和可变形膜片部分由不同材料制成，并且在将分离的安装环安装到基本外壳部分110之后，将分离的安装环和可变形膜片部分彼此附接。图2是传统膜片结构200的分解视图，传统膜片结构200包括单片式膜片202，单片式膜片202具有可变形膜片部分204和外环部分206。单片式膜片202是从诸如单片的钽之类的单片材料冲压而成的。膜片结构200还包括基本变送器外壳208，如，图1所示的基本外壳部分110。基本变送器外壳208包括具有内径(D)的凸缘(flange)部分210，所述凸缘部分210限定了流体腔214的范围，流体腔214包括多个脊216。可变形膜片部分204也包括相应的多个脊218。膜片结构200还包括钎焊环212，所述钎焊环212设置在单片式膜片202的外环部分206与基本变送器外壳208的凸缘部分210之间。传统上，在执行钎焊工艺以将单片式膜片202与基本变送器外壳208的凸缘部分 210接合的过程中，基本变送器外壳208的凸缘部分210的热膨胀系数与单片式膜片202的热膨胀系数不同。在钎焊之后，凸缘部分210与单片式膜片202以不同的速度冷却，这可以导致外环部分206和/或可变形膜片部分204屈曲。单片式膜片202的这种屈曲可以产生缺陷，这种缺陷可以引起设备故障和/或不一致的压力读数。图3是膜片结构300的具体说明性实施例的分解视图，膜片结构300包括冲压的膜片304和分离的外环306。膜片结构300还包括基本变送器外壳308，如，图1所示的基本外壳部分110。基本变送器外壳308包括具有内径(D)的基本凸缘部分310，所述基本凸缘部分310限定了流体腔314的范围，流体腔314包括多个脊316。可变形膜片部分304也包括相应的多个脊318。膜片结构300还包括钎焊环312，所述钎焊环312设置在分离的外环306与基本变送器外壳308的凸缘部分310之间。分离的外环306包括凸缘部分322，凸缘部分322适于经由钎焊环312与基本变送器外壳308的凸缘部分310匹配(mate)。分离的外环306还包括内径(Dln)以及与内径(Dln)相邻的膜片容纳结构320，膜片容纳结构 320适于容纳可变形膜片304。可变形膜片304包括安装结构330，所述安装结构330适于与外环306的膜片容纳结构320匹配。在具体实施例中，钎焊环312设置在基本变送器外壳308的基本凸缘部分310上。 分离的外环306设置在钎焊环310上。将分离的外环306、基本变送器外壳308和钎焊环 312加热到高温并冷却，以将分离的外环306钎焊到基本变送器外壳308。在将得到的结构冷却之后，将可变形膜片304设置为使安装结构330与膜片容纳结构330匹配。将可变形膜片304焊接到分离的外环306。在具体实施例中，使用电阻焊接(resistance welding) 工艺将可变形膜片304焊接到分离的外环306。在另一具体实施例中，经由激光焊接工艺将可变形膜片304焊接到分离的外环306。在其他实施例中，可以使用不同的焊接或附接工艺将可变形膜片304附接到分离外环306的安装结构302。在具体实施例中，在外环306 的膜片容纳结构320与膜片304的安装结构330之间的界面处形成焊缝(weld seam)。通常，可以通过将外环306与可变形膜片304分离，或者通过单独地将可变形膜片 304附接到外环306，可以实现在性能和制造方面的多种改进。在一个具体示例中，可以将可变形膜片304的膜片材料和相应厚度选择为提高膜片弹簧振频(spring rate)，使得可以减小温度效应、减小膜片刚度、以及提高整个压力感测系统的测量精度。在一些实例中， 膜片弹簧振频可以与具有电阻焊接膜片的类似部件的弹簧振频相当。此外，与由于热膨胀系数的影响而可能遭受屈曲和变形的传统膜片结构(如，图2 所示的单片式膜片结构202)不同，膜片结构300可以制造为具有减小的屈曲和减小的变形，从而使得各片的弹簧振频性能提高并且总体上性能更一致。在具体示例中，可变形膜片 304的有源区不进行钎焊，使得可变形膜片304操作更一致。在具体示例中，可以制造厚度为2密尔(mil)的膜片并将其可靠地焊接到外环306，从而提高这种薄膜片产品的精度。此夕卜，具有这样厚度的膜片可以更广泛地用作标准产品。此外，通过将外环306与可变形膜片 304分离，上述工艺在选择膜片厚度方面提供了很大的灵活性。可以将膜片厚度选择为适应客户性能需求。此外，通过将可变形膜片304与外环306的凸面(rai sed face)分开，可以使用对于其他已有产品而言公用的标准膜片，而不需要定制膜片。另一具体优点在于，可以将膜片结构300制造为具有较厚的外环306和较薄的可变形膜片304，这提高了具体外环的鲁棒性，并且减小了不期望的温度效应。另一优点在于， 减少了生产废料、提高了总利润、减少了生产调度的中断、使交货更及时、并提高了操作设备的效率。生产废料的这种减少要归功于更可靠的制造工艺。此外，由于可变形膜片304不进行钎焊工艺，因此简化了总体制造工艺。由于简化了总体工艺，因此可以由一般技术工人而不是专家来完成。此外，即使是由不太专业的技术工人来完成，通过钎焊工艺附接外环306并通过单独的焊接工艺将可变形膜片304附接到外环306的制造工艺也会产生非常高的产率，从而可以实现不合格工件的显著减少。此外， 该工艺允许在钎焊炉中双层堆叠部件，从而使得可以更高效地利用钎焊炉，直到生产率的百分之百(100%)提高。在具体示例中，结合废料的减少，每炉批的产率提高可以达到大约百分之一千(1000% )。图4是图3的单独外环306的俯视图。单独外环306包括凸缘部分402，凸缘部分 402适于与基本变送器外壳的相应凸缘部分以及与相应的钎焊环匹配，如，图3所示的钎焊环312和凸缘310。单独外环306还包括膜片容纳结构320，膜片容纳结构320适于容纳可变形膜片的附接部分(如，图3和5所示的可变形膜片304的安装结构330)，或者与所述附接部分接合。图5是图3的单独膜片304的俯视图。可变形膜片304包括与图4所示的单独外环306的膜片容纳结构320相对应的安装结构330。可变形膜片304包括多个脊318。安装结构330适于与外环306的膜片容纳结构320 (如图4所示)匹配，以便于将可变形膜片 304附接到单独外环306。在具体实施例中，可以使用电阻缝焊(resistance seam weld)工艺将可变形膜片304附接到外环306。在单独外环306的膜片容纳结构320 (如图4所示) 与可变形膜片304的安装结构330之间形成焊缝。焊缝形成过程密封(process seal) 0通常，电阻焊接是指对工件施加电流和压力以在接合处将工件焊接到另一工件的焊接工艺。在具体示例中，外环306的电阻因施加的电流而产生热，产生的热部分地熔化了安装结构320处的工件材料。在施加电流的同时还向外环306和可变形膜片304施加压力，导致缝焊(seam weld)，缝焊可以将可变形膜片304附接到外环306。电阻缝焊是一个例子。在其他示例中，可以经由激光焊接工艺、其他精密焊接工艺或其任意组合来将可变形膜片304固定到外环306。图6是在将外环604钎焊到压力变送器外壳之后以及在将膜片602电阻焊接到外环604之后，膜片结构600的具体实施例的仰视图。膜片602包括安装结构606和多个脊 610。膜片602与外环604之间的电阻焊缝一般地表示为608。在具体实施例中，通过将膜片结构600分成两片，可以将 外环604钎焊到不锈钢外壳，并且可以经由单独的工艺将膜片602电阻缝焊到外环604。在外环604的内径附近，将膜片602焊接到外环604上。通过将外环604的附接过程与膜片602的附接过程分开，可以针对有效膜片区域，即，针对膜片602中可以响应于流体压力而变形的部分，减小由于钎焊工艺而引起的扭曲。在具体示例中，膜片602可以与外环604由不同的材料制成。例如， 外环604可以由钽制成，可变形膜片606可以由(Hastelloy)、金、锆、钼、钛、其他材料或它们的任意组合制成。在另一具体实施例中，外环604和膜片602可以具有不同的厚度。在具体示例中， 可以使用不同的膜片厚度，以符合客户要求并提高具体性能参数，如压力灵敏度。对于制造，根据具体实施方式
，可以将相同的外环604与具有不同厚度的多种膜片一起使用。在具体实施例中，将膜片602与外环604分离使得可以使用能够在相同部件上焊接较薄膜片材料的附接工艺，从而可以将相同的外环604与不同的可变形膜片602 —起使用。

在具体示例中，通过将膜片结构600分成膜片602和单独外环604，可以提高膜片 602的弹簧振频性能。此外，部分地由于减小或消除了因为钎焊而在膜片602外围产生的变形区域，可以减小片与片之间的性能改变。此外，消除或减小这样的变形区域提高了长期耐久性。此外，将外环604与膜片602分开使得可以将较厚的衬套用于垫圈区域(即，可以使用较厚的外环604)而不影响膜片602的性能。此外，这种分离提高了为具有钽外环604 的部件提供其他材料类型(如，哈司特镍合金、金、锆、钼、钛、其他材料或它们的任意组合) 的膜片的可能性。在具体示例中，可以基于所需的性能特性、可用性、成本或它们的任意组合来选择膜片材料。图7是图6中的膜片结构600沿图6的线7_7的横截面图700。膜片结构600包括经由电阻缝焊608在安装结构606和相应的容纳结构706处耦接至膜片602的外环604。 膜片602包括多个脊610。外环604经由钎焊接合724耦接至过程变送器外壳720的凸缘部分722。过程变送器720限定了流体腔726和毛细管728，所述毛细管728填充有实质上不可压缩的、一般地表示为730的填充流体。在具体示例中，在操作期间，膜片602可以响应于流体压力而变形，压缩实质上不可压缩的填充流体730并对填充流体730施加压缩力。所施加的压力可以由耦接至毛细管 728的传感器来检测，如，图1所示耦接至毛细管148和158的传感器电路136。图8示出了制造膜片结构的方法的具体说明性实施例的流程图，所述膜片结构具有冲压的膜片和单独的外环。在802，将钎焊材料置于与过程变送器外壳相关联的凸缘部分上。凸缘部分可以是环形并且可以具有围绕(包围)流体腔(如，图3所示的流体腔314) 的内径(D)。进行到804，将外环设置在钎焊材料上，其中外环包括适于容纳可变形膜片的膜片容纳结构。进行至806，将外环钎焊到凸缘的环形部分。钎焊工艺包括提高凸缘、钎焊材料和外环的温度，并将结构冷却以将外环焊接到凸缘。继续进行至808，将可变形膜片设置在外环的容纳结构处。进行至810，将可变形膜片焊接到外环的容纳结构。方法在812终止。图9是制造变送器设备的方法的第二具体说明性实施例的流程图，所述变送器设备包括冲压的膜片和单独的外环。在902，将外环钎焊到过程变送器外壳的凸缘，所述过程变送器外壳由耐蚀材料制成，所述外环包括膜片容纳结构。在具体实施例中，耐蚀材料是不锈钢，外环由钽制成。在具体示例中，可以将多个外环同时钎焊到相应的变送器外壳。继续进行至904，将膜片的附接部分设置到膜片容纳结构上，其中，膜片实质上在整个直径上可变形。在具体实施例中，选择膜片厚度为大约2mil的膜片。在另一具体实施例中，膜片由哈司特镍合金、金、锆、钼、钛、其他材料或它们的任意组合制成。进行至906，在附接部分处， 将膜片焊接到外环，以在膜片与外环之间形成焊接密封(weld seal) 0方法在908终止。在具体实施例中，外环具有内径，膜片容纳结构与内径相邻。膜片包括与外环的膜片容纳结构相对应的安装结构，在膜片容纳结构与安装结构之间形成焊接密封。在另一具体实施例中，将膜片焊接到外环包括相对于外环的膜片容纳结构设置膜片的安装结构，对外环和膜片中的至少一个施加电流，并同时将外环和膜片压在一起，以将膜片电阻焊接到外环。在具体示例中，该方法还包括针对过程变送器确定所需的性能参数。可以基于如何使用过程变送器来确定这样的性能参数。确定满足所需性能参数的膜片材料成分(如， 哈司特镍合金、金、锆、钼、钛或其他材料)和相应膜片厚度，选择由所述材料成分制成并具有所述相应膜片厚度的膜片，其满足所需性能参数。 —般而言，尽管上述示例针对压力变送器和隔离膜片，但是应理解，也可以对其他结构应用接合不同金属的工艺。方法和相关结构示出了如下技术的具体示例，所述技术用于将第一材料钎焊到第二材料以及将第三材料焊接到第二材料，以使得得到的结构不会具有因钎焊材料的热膨胀系数不同而造成的缺陷。尽管参考优选实施例描述了本发明，然而本领域技术人员将认识到，在不脱离本发明的精神和范围的前提下，可以对本发明作出形式和细节上的改变。
权利要求
1.一种过程变送器，包括耐蚀外壳，包括凸缘部分，所述耐蚀外壳由第一材料制成； 外环，由第二材料制成，所述外环被钎焊到凸缘部分，所述外环具有内径；以及可变形膜片，由第三材料制成，在所述可变形膜片与外环之间、与内径相邻的焊缝处， 所述可变形膜片被焊接到外环，所述焊缝形成流体密封。
2.根据权利要求1所述的过程变送器，其中，外环包括与内径相邻布置的膜片容纳结构，所述可变形膜片包括适于与膜片容纳结构匹配的安装结构。
3.根据权利要求1所述的过程变送器，其中，外环具有第一厚度，所述第一厚度比可变形膜片的第二厚度大。
4.根据权利要求1所述的过程变送器，其中，第二材料包括钽。
5.根据权利要求1所述的过程变送器，其中，第三材料包括哈司特镍合金和钛中的一种。
6.根据权利要求1所述的过程变送器，其中，第三材料包括金、锆和钼中的一种。
7.根据权利要求1所述的过程变送器，其中，膜片被电阻缝焊到外环。
8.根据权利要求1所述的过程变送器，其中，第一材料包括不锈钢。
9.一种制造压力变送器的方法，所述方法包括将外环钎焊到由耐蚀材料制成的过程变送器外壳的凸缘，所述外环包括膜片容纳结构；将膜片的附接部分设置到膜片容纳结构上，所述膜片实质上在整个直径上可变形；以及在附接部分处，将膜片焊接到外环，以在膜片与外环之间形成焊接密封。
10.根据权利要求9所述的方法，其中，外环具有内径，膜片容纳结构与内径相邻。
11.根据权利要求10所述的方法，其中，将所选的膜片焊接到外环包括 对外环和膜片中的至少一个施加电流；以及同时将外环和膜片压在一起，以将膜片电阻焊接到外环。
12.根据权利要求9所述的方法，其中，过程变送器外壳由不锈钢制成，外环由钽制成。
13.根据权利要求12所述的方法，其中，膜片包括哈司特镍合金、金、锆、钼和钛中的一种。
14.根据权利要求9所述的方法，其中，膜片具有大约2密尔的膜片厚度。
15.根据权利要求9所述的方法，其中，选择膜片包括 针对过程变送器确定所需的性能参数；确定满足所需性能参数的材料成分和相应膜片厚度；以及选择由所述材料成分制成并且具有所述相应膜片厚度的膜片，满足所需性能参数。
16.根据权利要求9所述的方法，其中，钎焊外环包括将多个外环同时钎焊到相应的变送器外壳。
17.—种变送器设备，包括凸缘部分，具有限定流体腔的第一内径；外环，包括与第一内径相对应的第二内径，所述外环包括与第二内径相邻的膜片容纳结构；所述外环被钎焊到凸缘部分；以及可变形膜片，包括尺寸与容纳结构匹配的安装结构，所述可变形膜片在膜片容纳结构与安装结构之间的焊缝处被焊接到外环。
18.根据权利要求17所述的变送器设备，其中，可变形膜片具有第一厚度，所述第一厚度比外环的第二厚度小。
19.根据权利要求17所述的变送器设备，其中，外环包括钽，可变形膜片由第二材料制成。
20.根据权利要求19所述的变送器设备，其中，第二材料包括哈司特镍合金、金、锆、 钼和钛中的至少一种。
21.根据权利要求17所述的变送器设备，其中，可变形膜片被电阻缝焊到外环。
全文摘要
一种过程变送器(102)，包括具有凸缘部分(310)的耐蚀外壳(110)，耐蚀外壳由第一材料制成。该过程变送器(102)还包括由第二材料制成的外环(306)。外环具有内径并且被钎焊到凸缘部分。该过程变送器(102)还包括由第三材料制成的可变形膜片(304)，在膜片(304)与外环(306)之间、与内径相邻的焊缝处，可变形膜片(304)被焊接到外环(306)，以形成流体密封。
文档编号G01L7/08GK102159928SQ200980136616
公开日2011年8月17日 申请日期2009年9月11日 优先权日2008年9月17日
发明者吉奥瓦尼·菲利皮, 达里奥·菲利皮 申请人:匹艾器件有限公司