夹具的中心点定位器及夹具的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开一种夹具的中心点定位器及夹具，底座上的支撑腿贯穿螺纹孔来限定底座与下夹片接合在一起时两者的相互位置，相当于底座与下夹片空间上重叠，此时底座的中心设置的定位孔在下夹片的投影位置即为下夹片的中心点的位置，避免了在制备进行拉力破坏性实验的样品的过程中，由于通过肉眼选定下夹片的中心点位置，使芯片偏离下夹片的中心点而使制备的样品失败的问题，准确的将芯片黏贴到下夹片的中心点位置，提高了样品制备的成功率，减少了样品制备过程所耗费的时间。
【专利说明】夹具的中心点定位器及夹具
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及定位装备【技术领域】，尤其涉及一种夹具的中心点定位器及夹具。
【背景技术】
[0002]为了确保芯片在不同制程中的质量，需要在可靠性实验室中进行多种实验，其中，有一项实验是对芯片做拉力破坏性实验，该实验通过观察芯片的金属层与金属层的剥离状态来分析制程是否正常。
[0003]每次做拉力破坏性实验之前，实验室都需要准备大量进行拉力破坏性实验的样品，样品的制备过程是将芯片固定在夹具上的过程，所述的夹具主要包括上夹片和下夹片，上夹片和下夹片大小相同，且两者均为方形。夹具在固定芯片时，需要确保上夹片与下夹片互相对齐，以便后续将夹具装载在拉力试验机上进行拉力破坏性实验。
[0004]样品的制备过程具体如下:首先在下夹片上涂胶，之后将其送入烤炉使胶固化以在下夹片表面形成平坦的胶层，将下夹片从烤炉取出冷却；同理，将上夹片也作如同下夹片的操作；接下来在有胶层的下夹片上涂胶并将待进行拉力破坏性实验的芯片黏贴到下夹片的中间位置并送入烤炉使胶固化，之后在有胶层的上夹片上涂胶并将其黏贴在已固定了芯片的下夹片上并送入烤炉使胶固化，最终芯片被固定在上夹片与下夹片中间，样品制备结束，其中对于芯片黏贴在下夹片的步骤，芯片需要黏贴在下夹片的中心点，以往都是靠肉眼识别下夹片的中心点，然后用镊子夹取芯片放置于下夹片的中心点的位置。然而实际操作过程中，芯片是不可能每次都准确的放置于下夹片的中心点的，如果放偏，肉眼却没有识别出来，最后烘烤完，会明显发现上下夹片不平行，从而导致胶层粘合部位受力不均，以至于后续进行拉力破坏性实验拉出很多无效的样品，而而制备样品的过程已经耗费了大量的人力物力，仅仅因芯片未放置到夹具的中心位置而使制备的样品失败，降低了样品制备的成功率，从而使得后续实验无法正常进行，大大提高了成本。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于提供一种夹具的中心点定位器及夹具，以解决现有技术中制备进行拉力破坏性实验的样品的过程中，由于芯片未放置到夹具的中心位置而使制备的样品失败，导致样品制备的成功率降低的问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种夹具的中心点定位器，所述夹具包括一下夹片，所述下夹片上设置有螺纹孔，所述夹具的中心点定位器包括底座及设置于所述底座上的支撑腿，所述支撑腿贯穿所述螺纹孔以限定所述底座的位置，所述底座的中心设置有定位孔。
[0007]可选的，在所述的夹具的中心点定位器中，所述定位孔的形状与芯片的形状一致。
[0008]可选的，在所述的夹具的中心点定位器中，还包括设置于所述定位孔边缘的镊子夹孔。
[0009]可选的，在所述的夹具的中心点定位器中，还包括设置于所述底座上用于支撑所述底座的凸起，所述凸起设置于所述支撑腿的外侧。
[0010]可选的，在所述的夹具的中心点定位器中，所述凸起的高度为0.5mm?Imm0
[0011]可选的，在所述的夹具的中心点定位器中，所述底座为长方体或正方体，所述底座的两个面上分别设置有拾取部件，所述两个面相对设置。
[0012]可选的，在所述的夹具的中心点定位器中，所述支撑腿的高度小于等于所述螺纹孔的深度。
[0013]可选的，在所述的夹具的中心点定位器中，所述夹具还包括与所述下夹片配合使用的上夹片。
[0014]可选的，在所述的夹具的中心点定位器中，所述上夹片及所述下夹片均为方形且大小相同。
[0015]本实用新型还提供一种夹具，所述夹具包括如上所述的夹具的中心点定位器。
[0016]在本实用新型所提供的夹具的中心点定位器及夹具中，底座上的支撑腿贯穿螺纹孔来限定底座与下夹片接合在一起时两者的相互位置，相当于底座与下夹片空间上重叠，此时底座的中心设置的定位孔在下夹片的投影位置即为下夹片的中心点的位置，避免了在制备进行拉力破坏性实验的样品的过程中，由于通过肉眼选定下夹片的中心点位置，使芯片偏离下夹片的中心点而使制备的样品失败的问题，准确的将芯片黏贴到下夹片的中心点位置，提高了样品制备的成功率，减少了样品制备过程所耗费的时间。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是本实用新型一实施例中夹具的中心点定位器的结构示意图；
[0018]图2是本实用新型一实施例中夹具的中心点定位器装载在夹具的下夹片上时的示意图；
[0019]图3是本实用新型一实施例中夹具的中心点定位器的侧视图；
[0020]图4是本实用新型一实施例中夹具的中心点定位器的俯视图；
[0021]图5是现有技术与采用夹具的中心点定位器后制备的样品成功率结果示意图。
[0022]图1-图 4 中:
[0023]支撑腿-20 ;下夹片-30 ;底座-10 ;拾取部件-11 ;定位孔-12 ;镊子夹孔-13 ;凸起-14。
【具体实施方式】
[0024]以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的夹具的中心点定位器及夹具作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。
[0025]请参考图1，其为本实用新型一实施例中夹具的中心点定位器的结构示意图。如图1所示，所述夹具包括一下夹片30，所述下夹片30上设置有螺纹孔，所述夹具的中心点定位器包括底座10及设置于所述底座10的底部上的支撑腿20，所述支撑腿20贯穿所述螺纹孔以限定所述底座10的位置，所述底座10的中心设置有定位孔12。
[0026]较佳的，所述定位孔12的形状与芯片的形状一致。考虑到通过定位孔12确定完下夹片30的中心点位置后，接下来需要做的就是将芯片黏贴到下夹片30的中心点位置，而若将夹具的中心点定位器从下夹片30上拆卸下来，又会耗费一部分时间，出于此方面的考虑，这里将定位孔12的形状设置为与芯片的形状一致，此时仅需要将事先将涂胶的下夹片30上装载有夹具的中心点定位器，之后用镊子将芯片放置于定位孔12中即可，在确定下夹片30中心点的位置的同时还将芯片准确的黏贴在下夹片30的中心点位置，这里需要说明的是所述定位孔12略大于芯片的边缘尺寸，以便定位孔12在确保芯片可以从定位孔12以垂直方向落于下夹片30的中心点位置，又不会在水平方向上产生偏离。
[0027]请参考图4，其为本实用新型一实施例中夹具的中心点定位器的俯视图。如图4所示，所述定位孔12边缘还设置有镊子夹孔13。由于将芯片放置于定位孔12中是通过镊子夹取的方式，镊子夹取芯片放置于定位孔12的过程中会存在芯片不是水平的放置于定位孔12中，导致芯片在接触下夹片30表面的胶的时候，接触点不同，芯片的不同位置粘着的情况不同，最终会使得夹具的上夹片与下夹片30粘合在一起的时候不能对齐，样品制备失败的问题。而在定位孔12的边缘设置了镊子夹孔13之后，就避免了上述问题的出现，提高了样品制备的成功率。
[0028]请参考图3，其为本实用新型一实施例中夹具的中心点定位器的侧视图。如图3所示，所述夹具的中心点定位器还包括设置于所述底座10上用于支撑所述底座10的凸起14，所述凸起14设置于所述支撑腿20的外侧，其中，所述凸起14的高度为0.5mm?1mm。凸起14的设置主要考虑芯片通过定位孔12与下夹片30黏贴时，由于下夹片30表面有胶，会使底座10的下表面粘于下夹片30上不便于后续将夹具的中心点定位器从下夹片30上拆卸下来的问题，由于下夹片30表面涂胶是位于下夹片30的螺纹孔所包围的表面，因此将凸起14设置在支撑腿20的外侧，可以避免凸起14与下夹片30粘合；通过凸起14，底座10的下表面与下夹片30的表面相距高度为0.5mm?1mm，这个距离差可以确保芯片下落黏贴到下夹片30的中心点位置，避免出现由于距离差过大，芯片下落于下夹片30上的位置与下夹片30的中心点位置有偏离的现象。
[0029]进一步的，所述底座10为长方体或正方体，所述底座10的两个面上分别设置有拾取部件11，所述两个面相对设置。为了在夹具的中心点定位器的工作完成后将其从下夹片30上拆卸下来较为方便，设置了拾取部件11，工作人员仅需要捏着拾取部件11就可以将夹具的中心点定位器从下夹片30上拿下来，整个操作简便，符合实际情况的需求。
[0030]较佳的，所述支撑腿20的高度小于等于所述螺纹孔的深度。当支撑腿20过高的时候，会出现支撑腿20伸出螺纹孔使得底座10与下夹片30之间有较大空间距离，不利于黏贴芯片时的操作，本实施例中，支撑腿20的高度优选为Imm?3mm。
[0031]进一步的，所述夹具还包括与所述下夹片30配合使用的上夹片，所述上夹片及所述下夹片30均为方形且大小相同。
[0032]参照图2，其为本实用新型一实施例中夹具的中心点定位器装载在夹具的下夹片30上时的示意图。如图2所示的内容，在样品制备过程中，当需要在下夹片30的中心点位置黏贴待进行拉力破坏性实验的芯片时，将夹具的中心点定位器的支撑腿20对准下夹片30上的螺纹孔，此时由于螺纹孔起到限制支撑腿20水平方向运动的作用，因此底座10与下夹片30的水平方向的相对位置已确定，垂直方向上，由于底座10的底部设置有用于支撑所述底座10的凸起14，所述凸起14设置于所述支撑腿20的外侧，因此所述凸起14会与下夹片30表面相接触，从而确定底座10与下夹片30在垂直方向的相对位置。
[0033]请参考图5，其为现有技术与采用夹具的中心点定位器后制备的样品成功率结果示意图。图5中可以清楚的看出来，对于现有技术(即采用肉眼判断下夹片30的中心点位置之后黏贴芯片实现样品的制备)样品成功率最高为50%，而本实用新型(即采用夹具的中心点定位器实现对下夹片30中心位置的确定，从而在该位置黏贴芯片实现样品的制备)样品成功率最高为40%?100%。由此可见，使用本实用新型所提供的夹具的中心点定位器确定下夹片30的中心点位置，极大的提高了样品成功率。
[0034]本实用新型还提供一种夹具，所述夹具包括如上所述的夹具的中心点定位器。
[0035]综上，在本实用新型所提供的夹具的中心点定位器及夹具中，底座上的支撑腿贯穿螺纹孔来限定底座与下夹片接合在一起时两者的相互位置，相当于底座与下夹片空间上重叠，此时底座的中心设置的定位孔在下夹片的投影位置即为下夹片的中心点的位置，避免了在制备进行拉力破坏性实验的样品的过程中，由于通过肉眼选定下夹片的中心点位置，使芯片偏离下夹片的中心点而使制备的样品失败的问题，准确的将芯片黏贴到下夹片的中心点位置，提高了样品制备的成功率，减少了样品制备过程所耗费的时间。
[0036]显然，本领域的技术人员可以对实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包括这些改动和变型在内。
【权利要求】
1.一种夹具的中心点定位器，所述夹具包括一下夹片，所述下夹片上设置有螺纹孔，其特征在于，所述夹具的中心点定位器包括底座及设置于所述底座上的支撑腿，所述支撑腿贯穿所述螺纹孔以限定所述底座的位置，所述底座的中心设置有定位孔。
2.如权利要求1所述的夹具的中心点定位器，其特征在于，所述定位孔的形状与芯片的形状一致。
3.如权利要求1所述的夹具的中心点定位器，其特征在于，还包括设置于所述定位孔边缘的镊子夹孔。
4.如权利要求1所述的夹具的中心点定位器，其特征在于，还包括设置于所述底座上用于支撑所述底座的凸起，所述凸起设置于所述支撑腿的外侧。
5.如权利要求4所述的夹具的中心点定位器，其特征在于，所述凸起的高度为0.5mm?Imm0
6.如权利要求1所述的夹具的中心点定位器，其特征在于，所述底座为长方体或正方体，所述底座的两个面上分别设置有拾取部件，所述两个面相对设置。
7.如权利要求1所述的夹具的中心点定位器，其特征在于，所述支撑腿的高度小于等于所述螺纹孔的深度。
8.如权利要求7中任一项所述的夹具的中心点定位器，其特征在于，所述夹具还包括与所述下夹片配合使用的上夹片。
9.如权利要求8所述的夹具的中心点定位器，其特征在于，所述上夹片及所述下夹片均为方形且大小相同。
10.一种夹具，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的夹具的中心点定位器。
【文档编号】G01N1/28GK204241291SQ201420734896
【公开日】2015年4月1日 申请日期:2014年11月28日 优先权日:2014年11月28日
【发明者】陈霞莉 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司