光学特性测定装置以及光学特性测定方法与流程

文档序号:12286812阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种光学特性测定装置,其特征在于,具备:

第1及第2分光测定部,以相互不同的第1及第2精度对被测定光进行分光来测定;

测定角可变光学系统,使所述第1分光测定部的第1测定角及第2分光测定部的第2测定角中的至少一方可变;以及

光学特性运算部,根据所述第1及第2分光测定部各自的第1及第2测定结果,求出所述被测定光的预定的光学特性。

2.根据权利要求1所述的光学特性测定装置,其特征在于,

所述测定角可变光学系统是使焦距可变的中继光学系统。

3.根据权利要求1或者2所述的光学特性测定装置,其特征在于,

所述第1分光测定部的所述第1精度比所述第2分光测定部的第2精度高,

所述光学特性运算部利用所述第1分光测定部的所述第1测定结果来校正所述第2分光测定部的所述第2测定结果,求出所述被测定光的预定的光学特性。

4.根据权利要求3所述的光学特性测定装置,其特征在于,

所述第2分光测定部具备二维传感器,该二维传感器将所述被测定光作为面而二维地进行测定,所述二维传感器具有按照二维阵列状来排列的多个像素并用所述多个像素来接收所述被测定光,

所述光学特性测定装置还具备区段处理部,该区段处理部从所述二维传感器中的所述多个像素中,求出与以所述第1分光测定部的第1测定角来测定的第1区域相当的一个或者多个像素,

所述光学特性运算部根据由所述区段处理部求出的所述一个或者多个像素的像素值,求出用于利用所述第1分光测定部的所述第1测定结果对所述第2分光测定部的所述第2测定结果进行校正的校正系数。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的光学特性测定装置,其特征在于,

所述第1分光测定部进行将所述被测定光作为1点来进行测定并输出1个测定结果的光点测定,

所述第2分光测定部进行将所述被测定光作为面而二维地进行测定并输出二维分布的测定结果的二维测定。

6.一种光学特性测定方法,其特征在于,具备:

第1及第2分光测定工序,以相互不同的第1及第2精度对被测定光进行分光来测定;以及

光学特性运算工序,根据所述第1及第2分光测定工序各自的第1及第2测定结果,求出所述被测定光的预定的光学特性,

在所述第1及第2分光测定工序中的至少一方中,经由使测定角可变的测定角可变光学系统而对所述被测定光进行分光。

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