一种亚角秒级测角装置的制作方法

文档序号:11858106阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供了一种亚角秒级测角装置,所述装置中的工作台位于支承座上方,反馈系统位于支承座下方。工作台与支承座之间设置有一轴向支承间隙。芯轴上端与工作台固定联接,下端与反馈系统中的码盘固定联接。芯轴与支承座之间设置有一径向支承间隙。驱动电机与支承座固定联接。反馈系统中的读数头与支承座的底面固定联接。控制器分别与读数头、驱动器、工控机电联接。驱动器分别与驱动电机电联接。本发明适用于多面棱体、多齿分度台、圆光栅、光学度盘等装置角度测量,应用广泛,闭环稳态精度高,具有优良的重复精度,操作方便、简单。

技术研发人员:黄明;李梦阳;夏仰球;陈东生
受保护的技术使用者:中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
文档号码:201610583695
技术研发日:2016.07.22
技术公布日:2016.11.16

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