技术总结
本发明属于激光精密检测相关技术领域，其公开了一种用于激光探针成分分析仪的光路系统，所述光路系统包括光谱采集模块及成像模块。所述光路系统还包括激光控制模块、激光监测模块及照明模块，所述光谱采集模块、所述激光控制模块、所述激光监测模块、所述照明模块及所述成像模块是同轴设置的。所述激光控制模块用于控制激光能量及光斑；所述激光监测模块用于实时监测激光能量；所述光谱采集模块用于实时采集等离子光谱；所述照明模块用于对待测样品表面进行照明，以保证所述待测样品的表面清晰可见；所述成像模块用于对所述待测样品表面成像。所述光路系统同时实现稳定的光谱信息采集和清晰的表面成像。
技术研发人员：李祥友;李嘉铭;熊佛关;朱志豪;郝中骐;沈萌;郭连波;曾晓雁;陆永枫
受保护的技术使用者：华中科技大学;武汉新瑞达激光工程有限责任公司
文档号码：201611266417
技术研发日：2016.12.31
技术公布日：2017.05.10