一种高温薄膜压力敏感元件的制作方法

文档序号:11661172阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高温薄膜压力敏感元件,其特征在于:包括一个金属材料制的罩筒形耐高温弹性体(1),在耐高温弹性体(1)的表面自下而上依次设置有介质薄膜(2)、压敏薄膜(3)和保护膜(4),其中,介质薄膜(2)是由多层SiO2膜和多层Al2O3叠加构成的总厚度为1.0~1.2微米的薄膜,压敏薄膜(3)为通过离子束溅射沉积及光刻工艺制成的厚度为100~200纳米的NiCr合金平面电阻膜,在压敏薄膜(3)上复制有惠斯通电桥,保护膜(4)为通过反应离子束溅射沉积工艺制成的厚度为100~200纳米的Si3N4材料膜。

2.根据权利要求1所述的高温薄膜压力敏感元件,其特征在于:连接惠斯顿电桥的四个电阻(R1、R2、R、R4)处于耐高温弹性体(1)感受压力后的表面应变区内。

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