一种测量氢气浓度的光纤型传感器的制作方法

文档序号:11724672阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种测量氢气浓度的光纤型传感器,其特征在于:由LED光源(1)、光纤束(2)、光电探测器(3)、计算机(4)、密闭气室(5)、气室(6)、空气瓶(7)、氢气瓶(8)、第一铂金(Pt)/WO3薄膜(9)、第二铂金(Pt)/WO3薄膜(10)、氮气瓶(18)组成;其中气室(6)中含有进气孔(11)和出气孔(12),光纤束(2)分出五个端口,分别称为第一端口(13)、第二端口(14)、第三端口(15)、第四端口(16)、第五端口(17),其中第二端口(14)与第三端口(15)连通,第四端口(16)与第五端口(17)连通,LED光源(1)连接光纤束(2)的第一端口(13),第三端口(15)与第五端口(17)分别连接光电探测器(3)的两个检测端口,光电探测器(3)数据端连接计算机(4),气室(6)中放入第一Pt/WO3薄膜(9),第二端口(14)放在第一Pt/WO3薄膜(9)前面用于收发光信号,气室(6)的进气孔(11)连接空气瓶(7)、氢气瓶(8)和氮气瓶(18),出气孔(12)搁置在空气中,密闭气室(5)中放入第二Pt/WO3薄膜(10),第四端口(16)放在第二Pt/WO3薄膜(10)前面用于收发光信号。

2.根据权利要求1所述的一种测量氢气浓度的光纤型传感器,其特征在于:第一Pt/WO3薄膜(9)、第二Pt/WO3薄膜(10)中的WO3薄膜通过表面沉积而成,WO3薄膜的厚度为80nm。

3.根据权利要求1所述的一种测量氢气浓度的光纤型传感器,其特征在于:密闭气室(5)中的气体为空气。

4.根据权利要求1所述的一种测量氢气浓度的光纤型传感器,其特征在于:第一Pt/WO3薄膜(9)、第二Pt/WO3薄膜(10)中的Pt薄膜通过喷溅系统在WO3薄膜表面镀Pt。

5.根据权利要求1所述的一种测量氢气浓度的光纤型传感器,其特征在于:第一Pt/WO3薄膜(9)、第二Pt/WO3薄膜(10)中Pt膜的厚度为3.5nm。

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