缝隙结构耦合在线式微波相位检测器的制作方法

文档序号:12658251阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种缝隙结构耦合在线式微波相位检测器,其特征是在高阻硅衬底(1)上制作SiO2层(20),在SiO2层(20)上设有共面波导传输线、两个关于共面波导传输线的信号线(2)对称的缝隙结构(4)和缝隙结构(5)、功合器以及直接加热式微波功率传感器1和直接加热式微波功率传感器2,共面波导传输线由共面波导传输线的信号线(2)和地线(3)构成,共面波导传输线的信号线(2)上侧的缝隙结构(4)通过直接加热式微波功率传感器1的共面波导传输线的信号线(15)连接直接加热式微波功率传感器1,共面波导传输线的信号线(2)下侧的缝隙结构(5)通过功合器的第一共面波导传输线的信号线(8)连接功合器的输入端,功合器的另一个输入端通过功合器的第二共面波导传输线的信号线(9)连接参考信号输入端口,功合器输出端口通过功合器的第三共面波导传输线的信号线(10)连接直接加热式微波功率传感器2。

2.根据权利要求1所述的缝隙结构耦合在线式微波相位检测器,其特征是采用直接加热式微波功率传感器检查微波功率,所述的直接加热式微波功率传感器1包括半导体热偶臂(11)、终端电阻(12)、直流输出块(13)、隔绝直流电容(14)和共面波导传输线的信号线(15);直接加热式微波功率传感器2包括半导体热偶臂(16)、终端电阻(17)、直流输出块(18)和隔绝直流电容(19)。

3.根据权利要求1所述的缝隙结构耦合在线式微波相位检测器,其特征是采用功合器进行功率合成,所述的功合器由不对称共面带线ACPS信号线(6)、隔离电阻(7)、第一共面波导传输线的信号线(8)、第二共面波导传输线的信号线(9)和第三共面波导传输线的信号线(10)构成。

4.根据权利要求1所述的缝隙结构耦合在线式微波相位检测器,其特征是采用缝隙结构(4)和缝隙结构(5)耦合微波信号,通过控制缝隙结构的几何尺寸可以调整所耦合的微波信号的大小。

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