缝隙结构耦合在线式微波相位检测器的制作方法

文档序号:12658251阅读:来源:国知局
技术总结
本发明的缝隙结构耦合在线式微波相位检测器,检测器是一个在线式微波相位检测器,检测器制备在高阻硅衬底上,由共面波导传输线、两个缝隙结构、功合器以及两个直接加热式微波功率传感器所构成。在微波信号传输的共面波导传输线的信号线两侧对称设置有两个缝隙结构,上侧的缝隙结构连接着直接加热式微波功率传感器,主要用于检测耦合出的信号的功率大小。下侧的缝隙结构连接着功合器以及直接加热式微波功率传感器,通过矢量合成法实现微波相位的在线式检测。本发明的创新之处在于利用缝隙结构实现了微波信号相位的在线式检测,并且由于耦合出的信号相比于待测信号而言小得多,因此对该微波信号影响不大。

技术研发人员:廖小平;严德洋
受保护的技术使用者:东南大学
文档号码:201710052704
技术研发日:2017.01.24
技术公布日:2017.06.13

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