材料复介电常数准光腔法宽频测试非等相位面修正方法与流程

文档序号:11228946阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种材料复介电常数准光腔法宽频测试非等相位面修正方法,可实现一个样品宽频复介电常数准确测试。通过对准光腔中高斯波束电磁场相位分布的分析,根据待测样品上表面,即空气与介质区域分界面处束腰半径的匹配关系,获得样品上表面处实际相位分布函数。通过微扰理论求解样品平面和波前球面间隙中的储能,从而得到由样品表面与波前相位不匹配引起的频移。再结合预设公式对样品上表面处非等相位面进行了修正;修正了准光腔法宽频测试中由于样品厚度带来的非等相位面误差的影响,能够更为有效地进行准光腔法材料复介电常数的宽频测试,提高了准光腔法多模宽频测试的精度。

技术研发人员:李恩;郭高凤;张云鹏;张俊武;何凤梅;邹翘;余承勇;高冲;高勇;李亚峰
受保护的技术使用者:电子科技大学
技术研发日:2017.05.24
技术公布日:2017.09.08
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