一种带真空封装的材料热稳定性测试设备的制作方法

本实用新型涉及测试技术领域，具体涉及一种带真空封装的材料热稳定性测试设备。

背景技术：

在半导体或显示器件领域使用的有机材料需要在真空高温的环境下能够保证热稳定性。为了测试这些材料的热稳定性，就要在特定温度、真空度、加热时间等条件下对材料进行热稳定性测试实验。

但目前对该有机材料进行热稳定性测试的过程，是通过真空封装设备对该有机材料进行封装后，再由真空加热测试设备进行加热测试。该真空加热测试设备和真空封装设备是各自独立的，具体测试过程中，需要分别购买和使用这两台设备，增加了设备成本、场地成本。

技术实现要素：

鉴于上述的分析，本实用新型提供了一种带真空封装的材料热稳定性测试设备，用以解决现有技术中设备成本高以及场地成本高的问题。

本实用新型的目的主要是通过以下技术方案实现的：

本实用新型提供一种带真空封装的材料热稳定性测试设备，包括：

真空封装系统；

真空加热系统；

抽真空系统，通过第一真空管路与所述真空封装系统连接，通过第二真空管路与所述真空加热系统连接；

真空系统阀组，包括设置在所述第一真空管路上的第一阀和设置在所述第二真空管路上的第二阀。

作为一种优选方案，所述真空加热系统包括真空腔室和至少一个加热炉，所述至少一个加热炉设置在所述真空腔室内。

作为一种优选方案，所述加热炉设置为多个。

作为一种优选方案，所述加热炉为中空的环形结构，包括内层的加热层和外层的隔热层。

作为一种优选方案，所述加热炉还包括设于所述隔热层外层的隔热套，所述隔热套为中空结构，内部通冷却介质。

作为一种优选方案，所述抽真空系统包括机械泵和分子泵，分子泵的入口连接至第一真空管路和第二真空管路交汇处的管口，分子泵的出口连接至机械泵的入口。

作为一种优选方案，所述真空系统阀组还包括封装真空管路旁通管口，位于第一阀与真空封装系统之间的真空管路上，连接至机械泵的入口，用于在加热封装前对待封装的玻璃试管进行预抽。

作为一种优选方案，所述封装真空管路旁通管口上设有调节阀，用于对待封装的玻璃试管进行预抽时，调节抽真空气体流量。

作为一种优选方案，所述真空系统阀组还包括第一放气阀和第二放气阀，分别位于所述第一真空管路和所述第二真空管路上，用于当待封装的玻璃试管封装完毕以及加热测试完毕时，平衡真空封装系统的内外部压力以及真空腔室的内外部压力。

作为一种优选方案，所述真空封装系统包括封离炉，用于对待封装的玻璃试管进行抽真空封装。

作为一种优选方案，本实用新型所述带真空封装的材料热稳定性测试设备，还包括操作屏幕，用于对所述机械泵和分子泵的启停、部分阀门的开关以及加热炉的加热等操作进行自动化控制，对封装完毕的玻璃试管的温度、时间和真空度等参数进行设定和存储，对所述温度、时间和真空度等参数以及各参数的变化曲线进行显示，操作方便、可靠、准确，降低了劳动强度。具体地，所述部分阀门包括第一阀、第二阀、第一放气阀和第二放气阀。

作为一种优选方案，所述第一阀与第一放气阀之间、所述第二阀和第二放气阀之间均为互锁关系，可避免机械泵和分子泵因空载而损坏，使得设备运行安全、可靠。

本实用新型的技术方案，具有如下优点：

本实用新型提供的一种带真空封装的材料热稳定性测试设备，包括：真空封装系统；真空加热系统；抽真空系统，通过第一真空管路与所述真空封装系统连接，通过第二真空管路与所述真空加热系统连接；真空系统阀组，包括设置在所述第一真空管路上的第一阀和设置在所述第二真空管路上的第二阀。真空封装系统和真空加热系统共用一套抽真空系统，使得设备结构简单有效，操作便捷，相对于现有技术中，进行材料热稳定性测试时，需要购买和使用真空加热测试设备和真空封装设备两台设备，节约了人力和时间成本，降低了设备成本和场地成本。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例的带真空封装的材料热稳定性测试设备的一个具体示例的组成框图；

图2为本实用新型实施例的带真空封装的材料热稳定性测试设备的一个具体示例的整体结构框图；

图3(a)为本实用新型实施例的加热炉的一个具体示例的示意图；

图3(b)为本实用新型实施例带隔热套的加热炉的一个具体示例的示意图。

附图标记：

10、封装完毕的玻璃试管； 221、加热层；

222、隔热层； 223、隔热套。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，还可以是两个元件内部的连通，可以是无线连接，也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

本实用新型实施例提供了一种带真空封装的材料热稳定性测试设备，用于高真空状态下的有机物等材料的长时间的热稳定性测试，把要测试的材料放入待封装的玻璃试管12内进行真空封装，然后把封装完毕的玻璃试管10放入真空腔室21内的加热炉22上进行相应温度和时间的加热，然后取出材料进行加热前后的性能比较，判断有机材料的热稳定性。

上述带真空封装的材料热稳定性测试设备的组成如图1所示，该材料热稳定性测试设备主要包括：真空封装系统1、真空加热系统2、抽真空系统3及真空系统阀组。

上述抽真空系统3通过第一真空管路与真空封装系统1连接，通过第二真空管路与真空加热系统2连接；上述真空系统阀组，包括设置在上述第一真空管路上的第一阀4和设置在上述第二真空管路上的第二阀5。

具体地，当真空封装系统1抽真空时，第二阀5关闭，第一阀4打开；当真空腔室21抽真空时，第一阀4关闭，第二阀5打开，使得真空封装系统1和真空加热系统2共用一套抽真空系统3，设备结构简单有效，操作便捷，相对于现有技术中，进行材料热稳定性测试时，需要购买和使用真空加热测试设备和真空封装设备两台设备，节约了人力和时间成本，降低了设备成本和场地成本。

作为一种优选方案，如图2所示，上述真空加热系统2包括真空腔室21和一个或多个加热炉22，加热炉22设置在真空腔室21内，加热炉22的个数根据实际需要设定。

具体地，封装完毕的玻璃试管10虽然做了高真空封装，但是封装口还是会有微量的渗漏，因此随着时间的推移保持不住高真空度，本实用新型实施例的材料热稳定性测试设备通过设置真空腔室21，并将封装完毕的玻璃试管10放入高真空环境的真空腔室21，避免了封装完毕的玻璃试管10因封装口的空气渗漏而无法保持高真空度的测试环境的问题，保证了加热测试整个过程中材料的高真空环境；将加热炉22设置为多个，可同时进行不同温度、时间条件下的材料热稳定性测试；将多个加热炉22集成在一个真空腔室21内，并将多个加热炉22均匀排列于真空腔室21中，而且每个加热炉22可单独控制加热温度与加热时间，相对于现有技术中真空加热测试设备的几个加热炉各自分开，本实用新型使测试更加方便降低了设备成本和运行成本。

作为一种优选方案，上述加热炉22为中空的环形结构，如图3(a)所示，包括内层的加热层221和外层的隔热层222，加热方式可以是电加热或者是业界已用的其它方式。

隔热层222可起到热量屏蔽的作用，将热量控制在加热炉内，材质可以选用刚玉等业界常用的材质。

作为一种优选方案，加热炉22还包括设于隔热层222外层的隔热套223，如图3(b)所示，该隔热套为中空结构，内部通冷却介质(如冷却水)，避免温度扩散到加热炉22外，影响周围其他加热炉22的材料热稳定性测试，使得加热炉22之间互不干扰，从而使得测试更加精确。

作为一种优选方案，如图2所示，上述抽真空系统3包括机械泵31和分子泵32，分子泵32的入口连接至第一真空管路和第二真空管路交汇处的管口，分子泵32的出口连接至机械泵31的入口，组成一个抽真空管路，提高了真空封装系统1和真空加热系统2的真空度。

作为一种优选方案，真空系统阀组还包括封装真空管路旁通管口8，位于第一阀4与真空封装系统1之间的真空管路上，连接至机械泵31的入口，用于在加热封装前对待封装的玻璃试管12进行预抽，预抽时第一阀4关闭，预抽完毕后第一阀4开启，进行主抽。通过设置封装真空管路旁通管口8，避免了抽真空起始时刻因抽速过大而使试管内的被测试材料被抽出；另外，本实用新型所述设备可以进行少量或微量的材料测试，可节约测试成本。

作为一种优选方案，上述封装真空管路旁通管口8上设有调节阀9，用于对待封装的玻璃试管12进行预抽时，调节抽真空气体流量。

作为一种优选方案，上述真空系统阀组还包括第一放气阀6和第二放气阀7，分别位于所述第一真空管路和所述第二真空管路上，用于当待封装的玻璃试管12封装完毕以及材料加热测试完毕需要打开真空腔室21时，平衡真空封装系统1的内外部压力以及真空腔室21的内外部压力。

作为一种优选方案，第一阀4、第二阀5、第一放气阀6以及第二放气阀7为电磁阀。

作为一种优选方案，如图2所示，真空封装系统1包括封离炉11，用于对待封装的玻璃试管12进行抽真空封装。

作为一种优选方案，本实用新型所述带真空封装的材料热稳定性测试设备，还包括操作屏幕，用于对上述机械泵31和分子泵32的启停、部分阀门的开关以及加热炉22的加热等操作进行自动化控制，对封装完毕的玻璃试管10的温度、时间和真空度等参数进行设定和存储，对上述温度、时间和真空度等参数以及各参数的变化曲线进行显示，操作方便、可靠、准确，降低了劳动强度。具体地，上述部分阀门包括第一阀4、第二阀5、第一放气阀6和第二放气阀7。

作为一种优选方案，上述第一阀4与第一放气阀6之间、第二阀5和第二放气阀7之间均为互锁关系，可避免机械泵31和分子泵32因空载而损坏，使得设备运行安全、可靠。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。