1.一种检测循环肿瘤细胞的太赫兹超材料器件，其特征在于，包括底片（1）和盖片（2），所述盖片（2）两端分别设有入口孔（2-1）和出口孔（2-2），在底片（1）的上表面分为四个区域，其中外围为封装区(1-4), 用于与盖片（2）使用粘合胶封装,内部为微通道，从左至右依次为入口导流区（1-1）、捕捉区（1-2）和出口导流区（1-3），该三个区域依次相连，且均由立体微米结构构成,其微米结构上表面与封装区（1-4）的上表面齐平，微通道底部与封装区的上表面纵向距离为1~31μm,所述入口导流区（1-1）与出口导流区（1-3）均为形状、大小相同的三角形结构，且从顶角至底角分布若干形状相同的微米结构，且每行微米结构等距离排列，相邻两行微米结构交错分布；所述捕捉区（1-2）设置在入口导流区（1-1）和出口导流区（1-3）之间，捕捉区（1-2）每个单元结构由一个或多个开口谐振环构成，每个单元结构中设一个卡位，且卡位指向入口导流区，所述单元结构按蜂窝结构规律周期性排布形成阵列，每一行单元结构彼此相接重复排列，且相邻两行的单元结构交错分布；捕捉区（1-2）为正方形，捕捉区（1-2）相对的两个边分别与入口导流区（1-1）和出口导流区（1-3）的底边重合；所述入口导流区（1-1）的顶角与入口孔（2-1）相对，所述出口导流区（1-3）的顶角与出口孔（2-2）相对,入口孔（2-1）和出口孔（2-2）的直径为0.5~1mm。
2.如权利要求1所述的一种检测循环肿瘤细胞的太赫兹超材料器件，其特征在于，所述盖片（2）由0.5-1cm厚的石英片组成。
3.如权利要求2所述的一种检测循环肿瘤细胞的太赫兹超材料器件，其特征在于，所述入口导流区（1-1）和出口导流区（1-3）三角形的高为0.3~1cm。
4.如权利要求3所述的一种检测循环肿瘤细胞的太赫兹超材料器件，其特征在于，所述入口导流区（1-1）和出口导流区（1-3）中形状相同的微米结构采用圆柱体结构，其中圆柱体直径为20~100μm，相邻两个圆柱体之间间隙为30~100μm。
5.如权利要求4所述的一种检测循环肿瘤细胞的太赫兹超材料器件，其特征在于，所述捕捉区（1-2）的边长为0.5~1.2cm；盖片（2）长、宽、高等于底片（1）长、宽、高。
6.如权利要求1~5中任意一项所述的一种检测循环肿瘤细胞的太赫兹超材料器件，其特征在于，所述捕捉区（1-2）的单元结构包括单元结构为一对开口相对的谐振环、单元结构为双开口的谐振环和单元结构为多个开口谐振环，相邻两个单元结构中的谐振环之间的最近距离为20~50μm。
7.如权利要求6所述的一种检测循环肿瘤细胞的太赫兹超材料器件，其特征在于，所述单元结构为一对开口谐振环时，其线宽为2~20μm,开口为2~8μm，外环边长或者直径为20~80μm，该对开口谐振环中间间距为8~20μm；所述单元结构为双开口谐振环时，其线宽为5~15μm,开口为8~20μm，外环直径为70~90μm；所述单元结构为多个开口谐振环时，单元结构由一对开口相对的大谐振环和它们之间的一个或多个小谐振环构成，所述小谐振环用于阻挡癌细胞。
8.如权利要求1所述的一种检测循环肿瘤细胞的太赫兹超材料器件，其特征在于，所述底片（1）的微通道中的微米结构均由1~30μm高的硅和其上层0.1~1μm厚的铝薄膜层构成，封装区（1-4）表层也覆盖同样厚度的铝薄膜层，且入口导流区（1-1）、捕捉区（1-2）、出口导流区（1-3）和封装区（1-4）四个区域的铝薄膜层高度齐平。