一种用于晶圆生产环境的静电检测装置的制作方法

本实用新型涉及静电检测附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产环境的静电检测装置。

背景技术：

众所周知，用于晶圆生产环境的静电检测装置是一种用于晶圆生产过程中，对生产环境进行静电检测，使晶圆更安全进行生产的辅助装置，其在静电检测的领域中得到了广泛的使用；现有的用于晶圆生产环境的静电检测装置包括静电检测仪本体、连接导线和探枪，静电检测仪本体前侧壁设置有显示屏、控制键组和端口组，探枪通过连接导线与静电检测仪本体连接，探枪上设置有探头；现有的用于晶圆生产环境的静电检测装置使用时，通过探头进行静电检测，通过显示屏进行数据显示，并通过控制键组对静电检测仪本体进行操作控制，通过端口组连接各类其他导线，静电检测仪本体、连接导线、探枪和探头为市面常见电器件，买回使用时仅需按照一同购回的使用说明书相互电连接并与市电电连接即可进行使用，故在此不再赘述；现有的用于晶圆生产环境的静电检测装置使用中发现，当连接导线过长时，不能方便进行缠绕整理，使其较易自相缠绕，导致其实用性较差；并且不能方便对探枪进行稳定放置，导致其使用较为不便；而且其整体不能方便进行移动，从而导致其适应能力较差。

技术实现要素：

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种其当连接导线过长时，可以方便进行缠绕整理，使其不易自相缠绕，提高其实用性；并且能够方便对探枪进行稳定放置，使其使用较为方便；而且其整体可以方便进行移动，从而提高其适应能力的用于晶圆生产环境的静电检测装置。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，包括静电检测仪本体、连接导线和探枪，静电检测仪本体前侧壁设置有显示屏、控制键组和端口组，探枪通过连接导线与静电检测仪本体连接，探枪上设置有探头；还包括前连接柱、把手、连接架、前转动柱、连接弹簧和后转动柱，前连接柱安装在静电检测仪本体顶端前方，把手安装在连接架上，前转动柱的前端与连接架连接，前转动柱的后端穿过前连接柱并伸出至前连接柱后侧与连接弹簧前端连接，连接弹簧后端与后转动柱前端连接；还包括两组固定块、两组拉板、两组连接杆、两组套簧和两组连接板，两组固定块均安装在静电检测仪本体左侧壁前侧和后侧，两组固定块上均设置有通口，两组连接杆一端分别与两组拉板连接，两组连接杆另一端分别穿过两组通口并分别伸入至两组固定块的内侧与两组连接板连接，两组套簧分别套装在两组连接杆外侧，两组套簧的一端分别与固定块内侧壁连接，两组套簧的另一端分别与两组连接板外侧连接；还包括四组螺栓、四组螺母、四组支腿和四组转动杆，四组支腿分别安装在静电检测仪本体底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组转动杆一端均可转动设置有万向轮，四组转动杆另一端均设置有吸盘，四组支腿上均设置有第一通孔，四组转动杆上均设置有第二通孔，四组螺栓分别穿过四组第一通孔和四组第二通孔并分别插入且螺装至四组螺母内部，四组螺母与四组转动杆之间均设置有锁紧垫，四组锁紧垫分别套装在四组螺栓外侧。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括保护壳，保护壳内部设置有保护腔，保护壳右侧连通设置有保护口，保护壳盖装在探枪上，探头位于保护腔内部，探枪顶端和底端均设置有限位柱，保护壳顶端和底端均设置有弹性绳，两组弹性绳分别套装在两组限位柱外侧。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括后连接柱，后连接柱安装在静电检测仪本体顶端后方，后连接柱前侧壁上设置有放置槽，并在放置槽内部设置有滚珠轴承和限位片，放置槽前侧设置有挡片，还包括转动管，转动管后侧穿过挡片插入至滚珠轴承内部并与限位片连接。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，转动管前侧连通设置有连通口，还包括调节弹簧组和固定环，调节弹簧组一端与转动管内侧连接，调节弹簧组另一端与固定环连接，固定环上设置有缺口，后转动柱后侧卡装在固定环内部。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括固定柱和保护盖，固定柱安装在静电检测仪本体前侧，且固定柱位于控制键组和端口组的上方，保护盖顶端与固定柱铰接，且控制键组和端口组均位于保护盖内部。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括扭力弹簧和固定夹，固定夹通过扭力弹簧安装在后转动柱侧壁上。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括两组提杆和提杆，提杆左侧和右侧分别与两组提杆上方连接，两组提杆下方均安装在静电检测仪本体顶端。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，两组弹性绳分别套装在两组限位柱外侧时，两组弹性绳均处于拉伸状态。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：其可以通过手动转动把手，使其带动连接架上的后转动柱进行旋转，将连接导线一端固定在后转动柱上，使连接导线可以方便进行缠绕整理，当连接导线过长时，可以方便进行缠绕整理，使其不易自相缠绕，提高其实用性；并且能够向外侧拉动两组拉板，两组拉板分别带动两组连接板前后向移动，放置探枪，并松开两组拉板，两组连接板在两组套簧的作用下对探枪进行夹装固定，使其能够方便对探枪进行稳定放置，使其使用较为方便，而当拆卸时，拉开两组拉板，取出探枪即可，能够方便进行稳定放置或拆卸，降低其使用局限性；而且其可以通过四组万向轮使整体方便移动，并通过四组吸盘提高稳定性，当整体需要移动时，拧松四组螺母，转动转动杆，将万向轮端转至下方，拧紧四组螺母，当整体需要稳定时，拧松四组螺母，转动转动杆，将吸盘端转至下方，拧紧四组螺母，使其整体可以方便进行移动，从而提高其适应能力，锁紧垫方便螺母与转动杆之间进行锁紧，提高使用可靠性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是前连接柱和后连接柱连接的结构示意图；

图3是转动管的内部结构示意图；

图4是固定块和连接板连接的结构示意图；

图5是图1的A部局部放大图；

附图中标记：1、静电检测仪本体；2、连接导线；3、探枪；4、探头；5、前连接柱；6、把手；7、连接架；8、前转动柱；9、后转动柱；10、固定块；11、拉板；12、连接杆；13、套簧；14、连接板；15、螺栓；16、螺母；17、支腿；18、转动杆；19、锁紧垫；20、保护壳；21、限位柱；22、弹性绳；23、后连接柱；24、挡片；25、转动管；26、固定环；27、固定柱；28、保护盖；29、固定夹；30、提杆；31、提手；32、显示屏；33、控制键组；34、端口组。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1至图5所示，本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，包括静电检测仪本体1、连接导线2和探枪3，静电检测仪本体1前侧壁设置有显示屏32、控制键组33和端口组34，探枪3通过连接导线2与静电检测仪本体1连接，探枪3上设置有探头4；还包括前连接柱5、把手6、连接架7、前转动柱8、连接弹簧和后转动柱9，前连接柱5安装在静电检测仪本体1顶端前方，把手6安装在连接架7上，前转动柱8的前端与连接架7连接，前转动柱8的后端穿过前连接柱5并伸出至前连接柱5后侧与连接弹簧前端连接，连接弹簧后端与后转动柱9前端连接；还包括两组固定块10、两组拉板11、两组连接杆12、两组套簧13和两组连接板14，两组固定块10均安装在静电检测仪本体1左侧壁前侧和后侧，两组固定块10上均设置有通口，两组连接杆12一端分别与两组拉板11连接，两组连接杆12另一端分别穿过两组通口并分别伸入至两组固定块10的内侧与两组连接板14连接，两组套簧13分别套装在两组连接杆12外侧，两组套簧13的一端分别与固定块10内侧壁连接，两组套簧13的另一端分别与两组连接板14外侧连接；还包括四组螺栓15、四组螺母16、四组支腿17和四组转动杆18，四组支腿17分别安装在静电检测仪本体1底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组转动杆18一端均可转动设置有万向轮，四组转动杆18另一端均设置有吸盘，四组支腿17上均设置有第一通孔，四组转动杆18上均设置有第二通孔，四组螺栓15分别穿过四组第一通孔和四组第二通孔并分别插入且螺装至四组螺母16内部，四组螺母16与四组转动杆18之间均设置有锁紧垫19，四组锁紧垫19分别套装在四组螺栓15外侧；其可以通过手动转动把手，使其带动连接架上的后转动柱进行旋转，将连接导线一端固定在后转动柱上，使连接导线可以方便进行缠绕整理，当连接导线过长时，可以方便进行缠绕整理，使其不易自相缠绕，提高其实用性；并且能够向外侧拉动两组拉板，两组拉板分别带动两组连接板前后向移动，放置探枪，并松开两组拉板，两组连接板在两组套簧的作用下对探枪进行夹装固定，使其能够方便对探枪进行稳定放置，使其使用较为方便，而当拆卸时，拉开两组拉板，取出探枪即可，能够方便进行稳定放置或拆卸，降低其使用局限性；而且其可以通过四组万向轮使整体方便移动，并通过四组吸盘提高稳定性，当整体需要移动时，拧松四组螺母，转动转动杆，将万向轮端转至下方，拧紧四组螺母，当整体需要稳定时，拧松四组螺母，转动转动杆，将吸盘端转至下方，拧紧四组螺母，使其整体可以方便进行移动，从而提高其适应能力，锁紧垫方便螺母与转动杆之间进行锁紧，提高使用可靠性。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括保护壳20，保护壳20内部设置有保护腔，保护壳20右侧连通设置有保护口，保护壳20盖装在探枪3上，探头4位于保护腔内部，探枪3顶端和底端均设置有限位柱21，保护壳20顶端和底端均设置有弹性绳22，两组弹性绳22分别套装在两组限位柱21外侧；其可以通过保护壳对探头闲置时进行物料保护，提高使用可靠性。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括后连接柱23，后连接柱23安装在静电检测仪本体1顶端后方，后连接柱23前侧壁上设置有放置槽，并在放置槽内部设置有滚珠轴承和限位片，放置槽前侧设置有挡片24，还包括转动管25，转动管25后侧穿过挡片24插入至滚珠轴承内部并与限位片连接；其可以通过滚珠轴承方便辅助后转动柱转动，限位片对转动管进行限位，防止其蹿出放置槽，且限位片与转动管硬性连接，转动管转动时，限位片随其一起转动,并且滚珠轴承卡装在挡片与限位片之间,从而不会蹿出放置槽，限位片与放置槽之间可以机械锁紧，从而方便限位片进一步进行固定。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，转动管25前侧连通设置有连通口，还包括调节弹簧组和固定环26，调节弹簧组一端与转动管25内侧连接，调节弹簧组另一端与固定环26连接，固定环26上设置有缺口，后转动柱9后侧卡装在固定环26内部；其可以通过转动管对后转动柱后侧进行堵住，使连接导线不易脱落，通过调节弹簧组带动固定环对后转动柱进行卡装固定，方便后转动柱进行拆卸脱离，从而方便连接导线进行拆装。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括固定柱27和保护盖28，固定柱27安装在静电检测仪本体1前侧，且固定柱27位于控制键组33和端口组34的上方，保护盖28顶端与固定柱27铰接，且控制键组33和端口组34均位于保护盖28内部；其可以通过保护盖对控制键组进行保护，防止误触。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括扭力弹簧和固定夹29，固定夹29通过扭力弹簧安装在后转动柱9侧壁上；其可以通过固定夹与后连接柱的配合方便连接导线一端固定在后连接柱上，固定时，掰开固定夹，将连接导线一端置于固定夹与后连接柱之间，在扭力弹簧的作用下对其进行限位固定即可。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，还包括两组提杆30和提手31，提手31左侧和右侧分别与两组提杆30上方连接，两组提杆30下方均安装在静电检测仪本体1顶端；其可以通过手拎提手方便其整体进行拎起，更加便携。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，两组弹性绳22分别套装在两组限位柱21外侧时，两组弹性绳22均处于拉伸状态；其可以通过拉伸状态的两组弹性绳对保护壳进行限位，使其方便固定，而当保护壳摘取时，在弹性作用下使两组弹性绳不再套在两组限位柱处，即可方便摘下。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，其在工作时，可以通过手动转动把手，使其带动连接架上的后转动柱进行旋转，将连接导线一端固定在后转动柱上，使连接导线可以方便进行缠绕整理，当连接导线过长时，可以方便进行缠绕整理，使其不易自相缠绕，提高其实用性；并且能够向外侧拉动两组拉板，两组拉板分别带动两组连接板前后向移动，放置探枪，并松开两组拉板，两组连接板在两组套簧的作用下对探枪进行夹装固定，使其能够方便对探枪进行稳定放置，使其使用较为方便，而当拆卸时，拉开两组拉板，取出探枪即可，能够方便进行稳定放置或拆卸，降低其使用局限性；而且其可以通过四组万向轮使整体方便移动，并通过四组吸盘提高稳定性，当整体需要移动时，拧松四组螺母，转动转动杆，将万向轮端转至下方，拧紧四组螺母，当整体需要稳定时，拧松四组螺母，转动转动杆，将吸盘端转至下方，拧紧四组螺母，使其整体可以方便进行移动，从而提高其适应能力，锁紧垫方便螺母与转动杆之间进行锁紧，提高使用可靠性；可以通过保护壳对探头闲置时进行物料保护，提高使用可靠性；可以通过滚珠轴承方便辅助后转动柱转动，限位片对转动管进行限位，防止其蹿出放置槽，且限位片与转动管硬性连接，转动管转动时，限位片随其一起转动,并且滚珠轴承卡装在挡片与限位片之间,从而不会蹿出放置槽，限位片与放置槽之间可以机械锁紧，从而方便限位片进一步进行固定；可以通过转动管对后转动柱后侧进行堵住，使连接导线不易脱落，通过调节弹簧组带动固定环对后转动柱进行卡装固定，方便后转动柱进行拆卸脱离，从而方便连接导线进行拆装；可以通过保护盖对控制键组进行保护，防止误触；可以通过固定夹与后连接柱的配合方便连接导线一端固定在后连接柱上，固定时，掰开固定夹，将连接导线一端置于固定夹与后连接柱之间，在扭力弹簧的作用下对其进行限位固定即可；可以通过手拎提手方便其整体进行拎起，更加便携；可以通过拉伸状态的两组弹性绳对保护壳进行限位，使其方便固定，而当保护壳摘取时，在弹性作用下使两组弹性绳不再套在两组限位柱处，即可方便摘下。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，以上所述所有部件的安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，并且其所有部件的具体结构、型号和系数指标均为其自带技术，只要能够达成其有益效果的均可进行实施，故不在多加赘述。

本实用新型的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，在未作相反说明的情况下，“上下左右、前后内外以及垂直水平”等包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位，或为本领域技术人员理解的俗称，而不应视为对该术语的限制，与此同时，“第一”、“第二”和“第三”等数列名词不代表具体的数量及顺序，仅仅是用于名称的区分。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。