适用于半导体晶圆制造的弹簧针测试连接器的制作方法

文档序号:17839628发布日期:2019-06-06 00:01阅读:来源:国知局

技术特征:

1.适用于半导体晶圆制造的弹簧针测试连接器,包括有连接承载平台(1),其特征在于:所述连接承载平台(1)上设置有32个定制化模块(2),所述定制化模块(2)上均安装有若干弹簧针组件(3),所述定制化模块(2)下设置有导线接插件,所述弹簧针组件(3)相互之间等距离整列分布。

2.根据权利要求1所述的适用于半导体晶圆制造的弹簧针测试连接器,其特征在于:所述定制化模块(2)内分布的弹簧针组件(3)数量为200根。

3.根据权利要求1所述的适用于半导体晶圆制造的弹簧针测试连接器,其特征在于:所述连接承载平台(1)为环状承载平台,所述环状承载平台上设置有若干定位安装件。

4.根据权利要求1所述的适用于半导体晶圆制造的弹簧针测试连接器,其特征在于:所述定制化模块(2)的一侧设置有延展边(4),所述延展边(4)上设置有主定位孔(5),所述定制化模块(2)的边缘还分布有若干副定位孔(6),所述连接承载平台(1)对应位置处分布有衔接孔,所述定制化模块(2)、连接承载平台(1)采用螺钉连接。

5.根据权利要求1所述的适用于半导体晶圆制造的弹簧针测试连接器,其特征在于:所述定制化模块(2)的边缘设置有圆弧倒角(7)。

6.根据权利要求1所述的适用于半导体晶圆制造的弹簧针测试连接器,其特征在于:所述连接承载平台(1)上设置有标注区域(8)。

7.根据权利要求1所述的适用于半导体晶圆制造的弹簧针测试连接器,其特征在于:所述定制化模块(2)上设置有标注区域(8)。

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