技术总结
本实用新型公开了一种可以调节高度的靶材生产用检测装置，属于检测装置技术领域，其技术方案要点是，包括装置本体、升降装置和弹起装置，装置本体的上端面安装有机箱，机箱的正面开设有储物柜，检测装置包括夹持套环、声波检测器和校准器，声波检测器的左侧连接有夹持套环，校准器安装在声波检测器的上端面，在检测装置对靶材进行检测的时候，夹持套环牢牢固定在伸缩杆上，声波检测器对靶材的表面发射声波，根据靶材所反射的声波对靶材表面的光滑程度进行检测，而校准器会对靶材进行扫描，使得对靶材的检测数据更加精准，在升降装置的配合下，解决了对靶材进行检测的时候，需要将靶材依次通过检测装置进行检测，检测效率较慢的问题。
技术研发人员：王永超
受保护的技术使用者：河南东微电子材料有限公司
技术研发日：2018.10.25
技术公布日：2019.06.04