一种芯片测试用夹具的制作方法

文档序号:19586496发布日期:2020-01-03 09:35阅读:854来源:国知局
一种芯片测试用夹具的制作方法

本实用新型涉及芯片测试附属装置的技术领域,特别是涉及一种芯片测试用夹具。



背景技术:

众所周知,半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后测试组成,半导体封装测试是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程,芯片测试用夹具是一种用于将加工得到的独立芯片进行固定,以便检测装置对其进行测试的设备,其在芯片测试的领域中得到了广泛的使用;现有的芯片测试用夹具包括支撑平台和放置槽,所述放置槽设置于操作平台顶端;现有的芯片测试用夹具使用时,将待检测试的芯片放入至放置槽内,用检测设备进行检测即可;现有的芯片测试用夹具使用中发现,其只能固定单一芯片,不能成批量对芯片进行固定,有一定的使用局限性;测试芯片时需对芯片进行翻转,人工操作时,需逐一对芯片进行翻转,劳动量大,且人工翻转效率低。



技术实现要素:

为解决上述技术问题,本实用新型提供一种可成批量对芯片进行固定并能对芯片实行集体翻转,不需人工进行单一翻转,效率更高的芯片测试用夹具。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,包括操作台;还包括旋转盘、放置盘、步进电机、转轮、转轴和环形滑轨,所述步进电机设置于操作台底端,所述操作台上设置有第一放置槽,第一放置槽内设置有第一滚珠轴承,所述步进电机的输出端与转轴的底端连接,所述转轴的顶端自底板底端穿过第一滚珠轴承内部并与转轮底端连接,所述转轮上设置有多组第一直齿,所述环形滑轨底端与操作台顶端连接,所述旋转盘底端设置有环形凹槽,所述环形滑轨与环形凹槽相契合,所述旋转盘可沿着环形滑轨旋转,所述旋转盘上设置有第二直齿,所述旋转盘与转轮通过第一直齿和第二直齿外啮合,所述放置盘上设置有多组均匀分布的盛放槽,所述盛放槽的顶口与底口相通,所述盛放槽内均设置有两组前伸缩杆和两组后伸缩杆,所述两组前伸缩杆后端设置有前固定板,所述两组后伸缩杆前端设置有后固定板,所述前固定板后端设置有前卡槽,所述后固定板前端设置有后卡槽,所述两组前伸缩杆和两组后伸缩杆上均设置有弹簧;还包括前转轴和后转轴,所述旋转盘上设置有第一通孔,所述操作台上设置有第二通孔,所述放置盘设置于第一通孔内,所述前转轴的后端与放置盘的前端连接,所述后转轴的前端与放置盘的后端连接,所述旋转盘上设置有第二放置槽和第三放置槽,所述第二放置槽内设置有第二滚珠轴承,所述第三放置槽内设置有第三滚珠轴承,所述前转轴的前端插入至第二滚珠轴承内并与第二滚珠轴承内部固定连接,所述后转轴的后端插入至第三滚珠轴承内并与第三滚珠轴承内部固定连接。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,所述前卡槽和后卡槽内均设置有橡胶层。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,还包括收集箱,所述收集箱顶端与操作台底端连接,所述收集箱内设置有倾斜导板。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,所述收集箱右端设置有出口,所述倾斜导板的右端伸长至出口外,所述出口处设置有挡门,所述挡门底端与倾斜导板顶端紧密接触。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,还包括左液压杆和右液压杆,所述左液压杆的右端与放置盘的左端连接,所述右液压杆的左端与放置盘的右端连接,所述旋转盘左端和右端分别设置有左限位孔和右限位孔,所述左液压杆的左端插入至左限位孔内,所述右液压杆的右端插入至右限位孔内。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,所述操作台底端设置有四组支腿。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,所述四组支腿底端均设置有防滑垫片。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,还包括防护罩,所述防护罩设置于操作台底端,所述步进电机设置于防护罩内。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为:通过多组盛放槽及前卡槽和后卡槽的设置,可使多组待检芯片分别被前卡槽和后卡槽进行固定,使多组芯片同时被夹具固定,从而能成批量对芯片进行检测,检测效率更高;可通过翻转放置盘,使放置盘绕着前转轴和后转轴转动,从而使放置盘旋转180度,此时芯片跟随放置盘同时旋转180度,完成了整体翻转,不需人工进行单一翻转,减少了操作人员工作量,缩短了操作时间,效率更高。

附图说明

图1是本实用新型的前视平面结构示意图;

图2是本实用新型的俯视平面结构示意图;

图3是本实用新型的图1中a处局部放大结构示意图;

图4是本实用新型的后固定板前视结构示意图;

附图中标记:1、操作台;2、旋转盘;3、放置盘;4、步进电机;5、转轮;6、转轴;7、环形滑轨;8、第一滚珠轴承;9、第一直齿;10、环形凹槽;11、第二直齿;12、盛放槽;13、前伸缩杆;14、后伸缩杆;15、弹簧;16、前固定板;17、后固定板;18、前卡槽;19、后卡槽;20、前转轴;21、后转轴;22、第一通孔;23、第二通孔;24、第二滚珠轴承;25、第三滚珠轴承;26、橡胶层;27、收集箱;28、倾斜导板;29、挡门;30、左液压杆;31、右液压杆;32、左限位孔;33、右限位孔;34、支腿;35、防滑垫片;36、防护罩。

具体实施方式

下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型,但不用来限制本实用新型的范围。

如图1至图4所示,本实用新型的一种芯片测试用夹具,包括操作台1;还包括旋转盘2、放置盘3、步进电机4、转轮5、转轴6和环形滑轨7,步进电机4设置于操作台1底端,操作台1上设置有第一放置槽,第一放置槽内设置有第一滚珠轴承8,步进电机4的输出端与转轴6的底端连接,转轴6的顶端自底板底端穿过第一滚珠轴承8内部并与转轮5底端连接,转轮5上设置有多组第一直齿9,环形滑轨7底端与操作台1顶端连接,旋转盘2底端设置有环形凹槽10,环形滑轨7与环形凹槽10相契合,旋转盘2可沿着环形滑轨7旋转,旋转盘2上设置有第二直齿11,旋转盘2与转轮5通过第一直齿9和第二直齿11外啮合,放置盘3上设置有多组均匀分布的盛放槽12,盛放槽12的顶口与底口相通,盛放槽12内均设置有两组前伸缩杆13和两组后伸缩杆14,两组前伸缩杆13后端设置有前固定板16,两组后伸缩杆14前端设置有后固定板17,前固定板16后端设置有前卡槽18,后固定板17前端设置有后卡槽19,两组前伸缩杆13和两组后伸缩杆14上均设置有弹簧15;还包括前转轴20和后转轴21,旋转盘2上设置有第一通孔22,操作台1上设置有第二通孔23,放置盘3设置于第一通孔22内,前转轴20的后端与放置盘3的前端连接,后转轴21的前端与放置盘3的后端连接,旋转盘2上设置有第二放置槽和第三放置槽,第二放置槽内设置有第二滚珠轴承24,第三放置槽内设置有第三滚珠轴承25,前转轴20的前端插入至第二滚珠轴承24内并与第二滚珠轴承24内部固定连接,后转轴21的后端插入至第三滚珠轴承25内并与第三滚珠轴承25内部固定连接;通过多组盛放槽及前卡槽和后卡槽的设置,可使多组待检芯片分别被前卡槽和后卡槽进行固定,使多组芯片同时被夹具固定,从而能成批量对芯片进行检测,检测效率更高;可通过翻转放置盘,使放置盘绕着前转轴和后转轴转动,从而使放置盘旋转180度,此时芯片跟随放置盘同时旋转180度,完成了整体翻转,不需人工进行单一翻转,减少了操作人员工作量,缩短了操作时间,效率更高。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,前卡槽18和后卡槽19内均设置有橡胶层26;橡胶层可有效防止芯片被硬物划伤,起到一定保护作用。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,还包括收集箱27,收集箱27顶端与操作台1底端连接,收集箱27内设置有倾斜导板28;通过收集箱可将检测完毕后的芯片进行收集,通过倾斜导板将其倒运至收集箱内部右侧。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,收集箱27右端设置有出口,倾斜导板28的右端伸长至出口外,出口处设置有挡门29,挡门29底端与倾斜导板28顶端紧密接触;通过出口可更方便的将收集的芯片取出。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,还包括左液压杆30和右液压杆31,左液压杆30的右端与放置盘3的左端连接,右液压杆31的左端与放置盘3的右端连接,旋转盘2左端和右端分别设置有左限位孔32和右限位孔33,左液压杆30的左端插入至左限位孔32内,右液压杆31的右端插入至右限位孔33内;通过左液压杆和右液压杆使放置盘和旋转盘连接在一起,从而将放置盘进行有效固定,防止其翻转。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,操作台1底端设置有四组支腿34;通过支腿可对装置进行更稳固的支撑,提高装置的整体高度,从而可使步进电机和收集箱有足够的安装空间。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,四组支腿34底端均设置有防滑垫片35;通过防滑垫片可使装置与地面之间的摩擦力增大,使装置更加稳定,防止其移动。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,还包括防护罩36,防护罩36设置于操作台1底端,步进电机4设置于防护罩36内;通过防护罩可对步进电机进行保护,防止操作人员与步进电机直接接触,增加安全性。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,其在工作时,在完成上述动作之前,首先将其移动到用户需要的位置,将多组待检测芯片分别放置于多组盛放槽内,使芯片的前端和后端分别插入至前卡槽和后卡槽内,两组前伸缩杆和两组后伸缩杆在弹簧的弹力下对前固定板和后固定板进行推动,从而使芯片被固定,操作人员站立于操作台右侧,对芯片进行检测即可,当每三组芯片检测完毕后,将步进电机与市电连接并启动,步进电机带动转轴转动,转轴带动转盘转动,转盘通过齿轮传动带动旋转盘转动,当旋转盘转动45度后步进电机停止转动,此时可对下一组芯片进行检测,依次完成对芯片的上部检测后,启动左液压杆和右液压杆,使左液压杆左端自左限位孔内伸出,使右液压杆右端自右限位孔内伸出,旋转放置盘,使其绕前转轴和后转轴旋转180度,从而使芯片被翻转180度,再次启动左液压杆和右液压杆,使左液压杆左端插入至左限位孔内,使右液压杆右端插入至右限位孔内,从而使旋转盘固定,此时对芯片背面进行检测即可,当芯片被检测完毕后,移动前固定板和后固定板,使芯片脱离固定并落入至收集箱内,可通过打开挡门将收集的芯片取出。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,步进电机是购买来的,并且步进电机通过一同购买来的使用说明书进行电连接。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,以上所述所有部件的安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式,并且其所有部件的具体结构、型号和系数指标均为其自带技术,只要能够达成其有益效果的均可进行实施,故不在多加赘述。

本实用新型的一种芯片测试用夹具,在未作相反说明的情况下,“上下左右、前后内外以及垂直水平”等包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位,或为本领域技术人员理解的俗称,而不应视为对该术语的限制,与此同时,“第一”、“第二”和“第三”等数列名词不代表具体的数量及顺序,仅仅是用于名称的区分。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变型,这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

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