用于声学感测的聚合物涂布的高折射率波导的制作方法

文档序号:25293441发布日期:2021-06-01 17:46阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种装置,其包括:

声学传感器,其包括光波导,所述光波导包括:

波导芯,其具有波导芯折射率和波导芯光弹性系数;

外包层,其连接至所述波导芯并且包括光学透明的聚合物,所述外包层具有外包层折射率和外包层光弹性系数;

其中所述波导芯折射率大于所述外包层折射率,并且所述外包层光弹性系数大于所述波导芯光弹性系数。

2.根据权利要求1所述的装置,其中所述外包层包括双苯并环丁烯(bcb)外包层。

3.根据权利要求1所述的装置,其中所述波导芯折射率是至少1.7。

4.根据权利要求1所述的装置,其中所述波导芯的光弹性系数的最大量值是20tpa-1

5.根据权利要求1所述的装置,其中所述外包层折射率小于1.7。

6.根据权利要求1所述的装置,其中所述外包层光弹性系数是至少80tpa-1

7.根据权利要求1所述的装置,其中所述外包层光弹性系数比所述波导芯光弹性系数大至少四倍。

8.根据权利要求1所述的装置,其中所述外包层的光学透明的聚合物的杨氏模量在10(e)gpa以下。

9.根据权利要求1所述的装置,其中所述外包层的光学透明的聚合物的杨氏模量在5(e)gpa以下。

10.根据权利要求1所述的装置,其中所述波导芯包括硅。

11.根据权利要求1-10中任一项所述的装置,其进一步包括光源,所述光源布置为使得由所述光源产生并在所述光波导处定向的光学信号由于撞击所述光波导的声波而进行调制。

12.根据权利要求11所述的装置,其中所述光源包括配置为产生激光束的激光器。

13.根据权利要求11所述的装置,其中由所述光源产生的信号以相位进行调制。

14.根据权利要求11所述的装置,其中由所述光源产生的信号以振幅进行调制。

15.根据权利要求1-10中任一项所述的装置,其中所述光波导包括一个或多个光学共振器。

16.根据权利要求15所述的装置,其中所述光波导是共振器。

17.根据权利要求15所述的装置,其中所述一个或多个光学共振器选自:π相移布拉格光栅(π-bg)、法布里-珀罗腔、和光学环共振器。

18.根据权利要求15所述的装置,其中所述光波导的最大长度为100微米。

19.根据权利要求1-10中任一项所述的装置,其进一步包括下包层。

20.一种系统,其包括:

光波导,所述光波导包括:

波导芯,其具有波导芯折射率和波导芯光弹性系数;

外包层,其连接至所述波导芯并且包括光学透明的聚合物,所述外包层具有小于所述波导芯折射率的外包层折射率和大于所述波导芯光弹性系数的外包层光弹性系数;

干涉仪,其配置为由激光源产生在所述光波导处定向的激光束,使得激光束传播通过所述光波导,由此通过撞击所述光波导的声波调制所述激光束。

21.根据权利要求20所述的系统,其中所述干涉仪进一步配置为测量声波撞击所述光波导时的调制,以基于测量计算所述光波导的光谱响应的位移,所述位移指示声波的波形。

22.根据权利要求20-21中任一项所述的系统,其中所述光波导包括一个或多个光学共振器。

23.根据权利要求22所述的系统,其中所述光波导是共振器。

24.根据权利要求22所述的系统,其中所述一个或多个光学共振器选自:π相移布拉格光栅(π-bg)、法布里-珀罗腔、和光学环共振器。

25.根据权利要求20-21中任一项所述的系统,其中所述声波是超声声波。

26.根据权利要求20-21中任一项所述的系统,其中所述外包层包括双苯并环丁烯(bcb)外包层。

27.根据权利要求20-21中任一项所述的系统,其中所述波导芯折射率是至少1.7。

28.根据权利要求20-21中任一项所述的系统,其中所述波导芯的光弹性系数的最大量值是20tpa-1

29.根据权利要求20-21中任一项所述的系统,其中所述外包层折射率小于1.7。

30.根据权利要求20-21中任一项所述的系统,其中所述外包层光弹性系数是至少80tpa-1

31.根据权利要求20-21中任一项所述的系统,其中所述外包层光弹性系数比所述波导芯光弹性系数大至少四倍。

32.根据权利要求20-21中任一项所述的系统,其中所述外包层的光学透明的聚合物的杨氏模量在10(e)gpa以下。

33.根据权利要求20-21中任一项所述的系统,其中所述外包层的光学透明的聚合物的杨氏模量在5(e)gpa以下。

34.根据权利要求20-21中任一项所述的系统,其中所述波导芯包括硅。

35.一种方法,其包括:

使用光波导,所述光波导包括:

波导芯,其具有波导芯折射率和波导芯光弹性系数;

外包层,其连接至所述波导芯并且包括光学透明的聚合物,所述外包层具有小于所述波导芯折射率的外包层折射率和大于所述波导芯光弹性系数的外包层光弹性系数;

当声波撞击所述光波导时在所述光波导处定向激光束,以使所述激光束传播通过所述光波导,使得所述激光束被调制;和

基于测量调制计算所述光波导的光谱响应的位移,其中所述位移指示所述声波的波形。

36.根据权利要求35所述的方法,其中使用所述光波导包括使用具有至少1.7的波导芯折射率和至少80tpa-1的外包层光弹性系数的所述光波导。

37.根据权利要求35所述的方法,进一步包括在所述光波导中提供一个或多个光学共振器,所述光学共振器选自:π相移布拉格光栅(π-bg)、法布里-珀罗腔、和光学环共振器。

38.根据权利要求35所述的方法,其中所述声波是超声声波。

39.根据权利要求35所述的方法,其中使用所述光波导包括使用其中所述外包层包括双苯并环丁烯(bcb)外包层的所述光波导。

40.根据权利要求35-39中任一项所述的方法,其中使用所述光波导包括使用其中所述波导芯包括硅的所述光波导。

41.一种装置,其包括:

声学传感器,所述声学传感器包括光波导,所述光波导包括:

硅波导芯;和

外包层,其连接至所述波导芯并且包括光学透明的聚合物。

42.根据权利要求41所述的装置,其中所述外包层包括双苯并环丁烯(bcb)外包层。

43.根据权利要求41所述的装置,其中所述光学透明的聚合物的光弹性系数比所述硅波导芯的光弹性系数大至少四倍。


技术总结
提供了一种装置,包括具有光波导(20)的声学传感器(50)。光波导(20)包括具有波导芯折射率和波导芯光弹性系数的波导芯(202)和连接至波导芯(202)并且包括光学透明的聚合物的外包层(204),该外包层具有外包层折射率和外包层光弹性系数。波导芯折射率大于外包层折射率,并且外包层光弹性系数大于波导芯光弹性系数。还描述了其他应用。

技术研发人员:A·罗森塔尔;R·R·库马尔;S·特塞斯;A·格林伯格
受保护的技术使用者:泰克年研究发展基金会公司
技术研发日:2019.08.20
技术公布日:2021.06.01
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