一种夹层式离子束能谱分析器的制作方法

文档序号:23782779发布日期:2021-01-30 02:03阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种夹层式离子束能谱分析器,其特征在于,所述夹层式离子束能谱分析器包括若干个绝缘体膜片和金属膜片,所述绝缘体膜片与金属膜片的形状与大小尺寸相同且平行设置,所述绝缘体膜片与金属膜片交替紧邻排布形成夹层式结构,且所述夹层式结构最外两侧为绝缘体膜片;所述夹层式结构的绝缘体膜片侧设有入射端;每个所述金属膜片均连接有电流探测器;所述电流探测器接地;所述夹层式离子束能谱分析器的入射端射入等离子体损失后的各能量段带电粒子,所述各能量段带电粒子依次穿过所述绝缘体膜片与金属膜片,输出透过各个金属膜片的离子束,并输入其对应的电流探测器,各个电流探测器测量其对应的电流值。2.根据权利要求1所述的一种夹层式离子束能谱分析器,其特征在于,所述夹层式离子束能谱分析器的夹层式结构包括第一绝缘体膜片(4)、第一金属膜片(1)、第二绝缘体膜片(5)、第二金属膜片(2)、第三绝缘体膜片(6)、第三金属膜片(3)、第四绝缘体膜片(13),第一金属膜片(1)连接第一电流探测器(7),第二金属膜片(2)连接第二电流探测器(8),第三金属膜片(3)连接第三电流探测器(9)。3.根据权利要求1所述的一种夹层式离子束能谱分析器,其特征在于,所述夹层式离子束能谱分析器的入射端射入等离子体损失后的各种带电粒子,所述各种带电粒子的注入方向应与金属膜板垂直。4.根据权利要求1所述的一种夹层式离子束能谱分析器,其特征在于,所述绝缘体膜片采用云母绝缘体膜片或者二氧化硅绝缘体膜片或者mylar绝缘体膜片;所述金属膜片采用高原子序数金属膜片,所述高原子序数金属膜片采用金膜片或者钨膜片或者铝膜片。5.根据权利要求4所述的一种夹层式离子束能谱分析器,其特征在于,所述绝缘体膜片与金属膜片的形状均为方体形,且所述高原子序数金属膜片采用铝膜片,所述绝缘体膜片采用mylar绝缘体膜片;所述绝缘体膜片的厚度为20nm;所述金属膜片的厚度为50nm,金属膜片的边长为1cm。6.根据权利要求4所述的一种夹层式离子束能谱分析器,其特征在于,所述绝缘体膜片与金属膜片的形状均为圆形。7.根据权利要求1所述的一种夹层式离子束能谱分析器,其特征在于,所述带电粒子包括磁约束聚变等离子体中损失的离子或者其它带电粒子。
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