过确认显示部42所显示的缺陷的种类或个数等，来判断曝光装置21的曝光工艺中有无产生异常，并视需要停止图案形成系统1的动作。在未检测出缺陷的情形时，将该内容显示于显示部42。如上所述，将感光图案图像与设计数据的比较结果显示于显示部42，并通知操作者(步骤S14)。在后述的处理中也会利用感光图案图像，因此将其存储于缺陷检测部41 (在其他图案图像中相同)。此外，也可以仅在检测出缺陷的情形时将比较结果显示于显示部42 (在后述的步骤S18、步骤S22、步骤S26中相同)。
[0096]基材9的注目部位经由缓冲装置12而向显影装置22移动。显影装置22例如包括显影液喷嘴、及纯水喷嘴。利用显影液喷嘴向基材9的抗蚀剂层93喷出显影液。由此，去除抗蚀剂层93的感光部分，并对抗蚀剂层93进行显影(参照图6的从上起的第三段)。抗蚀剂层93也可以是利用显影液去除了非感光部分的层。在基材9的主表面，利用纯水喷嘴喷出纯水来对该主表面进行清洗。如此，进行显影工艺，从而形成残存于该主表面上的抗蚀剂层93的图案931 (以下，称为“抗蚀剂图案931”)(步骤S15)。
[0097]形成有抗蚀剂图案931的注目部位向图像获取部3b移动。图像获取部3b中，将照射角及检测角设定为规定的角度，并进行与图7的步骤S123相同的动作，由此获取表示抗蚀剂图案931的拍摄图像(以下，称为“抗蚀剂图案图像”)(步骤S16)。
[0098]此外，带状的基材9的移动路径中，在缓冲装置12与回收部112之间，基材9的各部位原则上连续地移动。因此，利用显影装置22对基材9的一部位进行的处理、及利用图像获取部3b对基材9的另一部位进行的图像获取处理并行地进行(在蚀刻装置23、抗蚀剂剥离装置24及图像获取部3c、图像获取部3d中相同)。图案形成系统1中，在图像获取部3a与显影装置22之间设有缓冲装置12，由此能够一边使基材9在曝光装置21中每次移动一定的距离(步进移动)，一边使基材9在缓冲装置12与回收部112之间以一定的速度连续地移动。
[0099]缺陷检测部41中，将抗蚀剂图案图像与步骤S12中获取的感光图案图像加以比较(步骤S17)。具体而言，确定抗蚀剂图案图像中的各图案要素，并获取该图案要素的各位置的宽度。另外，将感光图案图像的该图案要素的宽度确定为基准宽度，使规定的上限系数及下限系数与该基准宽度相乘，由此获取线宽的上限值及下限值。而且，将抗蚀剂图案图像中的图案要素的各位置的宽度与线宽的上限值及下限值加以比较，在该位置的宽度大于上限值或小于下限值的情形时，检测出该位置产生了缺陷。如此，将抗蚀剂图案图像的所有图案要素的整体的宽度与对应的线宽的上限值及下限值加以比较。步骤S17中，通过获取表示抗蚀剂图案图像与感光图案图像的差的图像，也可检测基材9的注目部位的缺陷(在后述的步骤S21、步骤S25中相同)。
[0100]在检测出缺陷的情形时，例如，由规定颜色的线围住缺陷位置，由此可识别缺陷位置，并将抗蚀剂图案图像显示于显示部42。操作者通过确认显示部42所显示的缺陷的种类或个数等，来判断显影装置22的显影工艺中有无产生异常，并视需要停止图案形成系统1的动作。在未检测出缺陷的情形时，将该内容显示于显示部42。如上所述，将抗蚀剂图案图像与感光图案图像的比较结果显示于显示部42，并通知操作者(步骤S18)。
[0101]基材9的注目部位向蚀刻装置23移动。蚀刻装置23例如包括蚀刻液喷嘴、及纯水喷嘴。利用蚀刻液喷嘴向基材9的主表面喷出蚀刻液。由此，去除(蚀刻)透明导电膜92中未被抗蚀剂图案931覆盖的部分(参照图6的从上起的第四段)。在基材9的主表面，利用纯水喷嘴喷出纯水来对该主表面进行清洗。如此，对基材9的主表面进行蚀刻工艺(步骤 S19)。
[0102]被实施了蚀刻工艺的注目部位向图像获取部3c移动。图像获取部3c中，将照射角及检测角设定为规定的角度，并进行与图7的步骤S123相同的动作，由此获取拍摄图像(步骤S20)。该拍摄图像是表示蚀刻工艺后、且后述的抗蚀剂剥离工艺前的基材9的主表面的图案图像，以下称为“刚蚀刻后的图案图像”。
[0103]缺陷检测部41中，将刚蚀刻后的图案图像与步骤S16中获取的抗蚀剂图案图像加以比较(步骤S21)。具体而言，确定刚蚀刻后的图案图像中的各图案要素，并获取该图案要素的各位置的宽度。另外，将抗蚀剂图案图像的该图案要素的宽度确定为基准宽度，使规定的上限系数及下限系数与该基准宽度相乘，由此获取线宽的上限值及下限值。而且，将刚蚀刻后的图案图像中的图案要素的各位置的宽度与线宽的上限值及下限值加以比较，在该位置的宽度大于上限值或小于下限值的情形时，检测出该位置产生了缺陷。如此，将刚蚀刻后的图案图像的所有图案要素的整体的宽度与对应的线宽的上限值及下限值加以比较。
[0104]在检测出缺陷的情形时，例如，由规定颜色的线围住缺陷位置，由此可识别缺陷位置，并将刚蚀刻后的图案图像显示于显示部42。操作者通过确认显示部42所显示的缺陷的种类或个数等，来判断蚀刻装置23的蚀刻工艺中有无产生异常，并视需要停止图案形成系统1的动作。在未检测出缺陷的情形时，将该内容显示于显示部42。如上所述，将刚蚀刻后的图案图像与抗蚀剂图案图像的比较结果显示于显示部42，并通知操作者(步骤S22)。
[0105]基材9的注目部位向抗蚀剂剥离装置24移动。抗蚀剂剥离装置24例如包括剥离液喷嘴、及纯水喷嘴。利用剥离液喷嘴向基材9的主表面喷出剥离液。由此，剥离基材9的主表面中的抗蚀剂图案931 (参照图6的最下段)。在基材9的主表面，利用纯水喷嘴喷出纯水来对该主表面进行清洗。如此，对基材9的主表面进行抗蚀剂剥离工艺，从而使树脂膜91的主表面上残存的透明导电膜92的图案921显现于基材9的主表面(步骤S23)。透明导电膜92的利用蚀刻所得的图案921中，排列有多个透明电极，以下将图案921称为“透明电极图案921”。被实施了抗蚀剂剥离工艺的注目部位向图像获取部3d移动，从而获取表示透明电极图案921的拍摄图像(以下，称为“电极图案图像(步骤S24)。
[0106]图像获取部3d中，进行依照图7的图像获取处理的处理。具体而言，求出能够提高拍摄图像中的透明电极图案921的对比度的照射角及检测角的设定角度(步骤S121)。此处，透明电极图案921的对比度是拍摄图像的透明电极图案921与背景区域(树脂膜91)之间的灰度差(的绝对值)相对于总灰度范围的比例。通过规定的运算、或通过以事前准备的形式一边变更照射角及检测角的角度一边获取透明电极图案921的拍摄图像，来预先求出透明电极图案921的对比度变高的设定角度。
[0107]图像获取部3d中，通过对角度变更机构33进行控制来将照射角及检测角设定为该设定角度(步骤S122)。本实施形态中，对于基材9的整体利用的是一样的设定角度，因此在基材9的最初的部位到达图像获取部3d之前，进行所述步骤S121、步骤S122。与利用搬送机构11的基材9的连续移动并行地，线传感器32中高速地重复获取线状的拍摄区域90的线图像。由此，获取表示透明电极图案921的二维拍摄图像(即，电极图案图像)(步骤 S123)。
[0108]缺陷检测部41中，将电极图案图像与步骤S20中获取的刚蚀刻后的图案图像加以比较(图5:步骤S25)。具体而言，确定电极图案图像中的各图案要素，并获取该图案要素的各位置的宽度。另外，将刚蚀刻后的图案图像的该图案要素的宽度确定为基准宽度，使规定的上限系数及下限系数与该基准宽度相乘，由此获取线宽的上限值及下限值。而且，将电极图案图像中的图案要素的各位置的宽度与线宽的上限值及下限值加以比较，在该位置的宽度大于上限值或小于下限值的情形时，检测出该位置产生了缺陷。如此，将电极图案图像的所有图案要素的整体的宽度与对应的线宽的上限值及下限值加以比较。
[0109]在检测出缺陷的情形时，例如，由规定颜色的线围住缺陷位置，由此可识别缺陷位置，并将电极图案图像显示于显示部42。操作者通过确认显示部42所显示的缺陷的种类或个数等，来判断抗蚀剂剥离装置24的抗蚀剂剥离工艺中有无产生，并视需要停止图案形成系统1的动作。在未检测出缺陷的情形时，将该内容显示于显示部42。如上所述，将电极图案图像与刚蚀刻后的图案图像的比较结果显示于显示部42，并通知操作者(步骤S26)。基材9的注目部位被回收部112回收，从而对注目部位完成形成图案的处理。形成有透明电极图案的921的基材9例如用于静电电容型触摸屏的制造。
[0110]如以上所说明，工艺监视装置4利用图像获取部3a?图像获取部3d分别获取如下图案图像:表示对基材9的主表面上形成的抗蚀剂层93进行曝光工艺后、且显影工艺前的抗蚀剂层93的感光图案930的图案图像，表示显影工艺后的抗蚀剂图案931的图案图像，表示对形成有抗蚀剂图案931的主表面进行蚀刻工艺后、且抗蚀剂剥离工艺前的主表面的图案图像，以及表示抗蚀剂剥离工艺后的主表面的透明电极图案921的图案图像。
[0111]此处，设想如下比较例的处理:不仅将利用图像获取部3a获取的感光图案图像与设计数据加以比较，也将利用图像获取部3b?图像获取部