专利名称：清洗控制电路的制作方法
技术领域：
清洗控制电路
技术领域：
本实用新型涉及一种清洗控制电路。
背景技术：
目前半导体硅片或其他类型硅片等元件的清洗多采用循环喷淋设备。设备运行时喷头纯水往喷淋槽内的芯片进行喷淋，当喷淋一定时间后把喷淋槽内的水放掉,再进行下一次喷淋，因此元件清洗需进行多次喷淋。但一般工业纯水因工厂内部大量设备使用，水压都有一定的波动，当水压低时在喷淋时间内喷淋槽内的水不能覆盖元件，导致元件清洗不干净，水压高时又会导致喷淋槽内纯水长时间漫过喷淋槽，导致水资源大量浪费。
实用新型内容基于此，有必要提供一种能够节省水资源的清洗控制电路。一种清洗控制电路，包括计数器、继电器KS、计时器、喷水电磁阀、放水电磁阀、水位检测模块，其中，所述计数器并联在电源的两端，所述继电器KS的常开开关与计数器的计数启动并联；所述计时器并联在电源两端，所述喷水电磁阀通过计时器的常开开关并联在电源两端，所述继电器KS的电子线圈与喷水电磁阀并联；所述水位检测模块并联在电源两端，水位检测模块还与计时器的复位端连接；所述放水电磁阀通过计时器的常闭开关与电源连接。优选地，所述计时器为双设定计时器。优选地，所述计数器的常闭触点与电源连接。优选地，所述水位检测模块为电容式接近开关，所述电容式接近开关并联在电源两端，电容式接近开关的常开开关与计时器的复位端连接。优选地，所述水位检测模块为气压传感器，所述气压传感器并联在电源两端，气压传感器的常开开关与计时器的复位端连接。优选地，还包括用于接入电源的电源开关，所述电源开关与计数器连接。优选地，还包括用于起动电路循环执行的起动开关，所述起动开关连接在所述电源开关与计数器之间。优选地，还包括用于保持电路稳定循环执行的起动保持开关，所述起动保持开关为继电器K1，继电器Kl的常开开关与起动开关并联，电磁线圈连接在起动开关与计数器之间。优选地，所述清洗控制电路的电源电压为IlOV或220V。上述清洗控制电路，通过水位检测模块，控制喷淋槽内的水位高度,使水位覆盖元件，但不会漫过喷淋槽，将元件清洗干净的同时能够节省水资源。
图I为清洗控制电路的一个实施例的电路图；图2为清洗控制电路的另一个实施例的电路图。
具体实施方式
如图I所示，为清洗控制电路的原理图，包括计数器10、继电器KS、计时器20、喷水电磁阀50、放水电磁阀40、水位检测模块(图未示)，其中，计数器10并联在电源的两端，继电器KS的常开开关601与计数器10的计数启动端1、3并联；计时器20并联在电源两端，喷水电磁阀50通过计时器20的常开开关201并联在电源两端，继电器KS的电子线圈602与喷水电磁阀50并联；水位检测模块(图未示)并联在电源两端，水位检测模块(图未示)还与计时器20的复位端1、4连接；放水电磁阀40通过计时器20的常闭开关202与电源连接。计数器10并联在电源的两端，继电器KS的常开开关601与计数器10的计数启动端1、3并联，继电器KS的电子线圈602得电时，常开开关601吸合，计数器10的计数启动端获得闭合信号，计数器10计数。在本实施例中，计数器10的常闭触点与电源连接。计时器20并联在电源两端，喷水电磁阀50通过计时器20的常开开关201并联在电源两端，继电器KS的电子线圈602与喷水电磁阀50并联。计时器20的常开开关201闭合时，喷水电磁阀50开始喷水清洗待清洗的元件。在本实施例中，计时器20为双设定计时器。水位检测模块(图未示)为电容式接近开关32，电容式接近开关32并联在电源两端，电容式接近开关32的常开开关322与计时器20的复位端1、4连接。电容式接近开关32到达常开开关322闭合条件时，常开开关322闭合，在本实施例中，闭合条件为喷淋槽水位达到电容式接近开关32的安装位置。此时，计时器20的复位端获得闭合信号，计时器20复位，计时器20的常开开关201回到原始位置，喷水电磁阀50停止喷水。在其他的实施例中，水位检测模块30还可以为气压传感器，气压传感器并联在电源两端，气压传感器的常开开关与计时器20的复位端1、4连接。本实施例中，计数器10、计时器20以及电容式接近开关30或气压传感器(图未示)通过计数器10的常闭触点与电源连接。这种清洗控制电路的工作过程如下计时器20通电后，常闭开关202得电，放水电磁阀40打开，开始向喷淋槽内放水。同时计时器20开始计时，当计时器20放水预设的时间达到后，计时器20的常开开关201闭合，常闭开关202断开，放水电磁阀40关闭，喷水电磁阀50打开，开始喷水清洗待清洗的元件。同时，继电器KS的电子线圈602得电，常开开关601吸合，计数器10的启动端1、3获得闭合信号，计数器10计数。当喷水电磁阀50喷水到喷淋槽的水位到达电容式接近开关32安装的位置后，电容式接近开关32开始动作，电容式接近开关32的常开开关322闭合，计时器20的复位端1、4获得闭合信号，计时器20复位，计时器20的常闭开关202及常开开关201的触点复位，放水电磁阀40打开，喷水电磁阀50关闭，从而重复上述工作过程。直至计数器10计数值达到设定值，计数器10的常闭开关断开，从而结束整个清洗循环。[0030]基于上述所有实施例，如图2所示，为另一个实施例清洗控制电路的电路图。与图I所示的清洗控制电路相比，图2所示的清洗控制电路还包括用于接入电源的电源开关K、用于起动电路循环执行的起动开关F及用于保持电路稳定循环执行的起动保持开关。电源开关K与计数器10连接。起动开关F连接在电源开关F与计数器10之间。起动保持开关为继电器K1，继电器Kl的常开开关与起动开关F并联，电磁线圈连接在起动开关F与计数器10之间。上述所有实施例中，电路的电源电压为IlOV或220V。上述清洗控制电路，通过水位检测模块，控制喷淋槽内的水位高度,使水位覆盖元件，但不会漫过喷淋槽，将元件清洗干净的同时能够节省水资源。以上所述实施例仅表达了本实用新型的一种或几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求1.一种清洗控制电路，其特征在于，包括计数器、继电器KS、计时器、喷水电磁阀、放水电磁阀、水位检测模块， 其中，所述计数器并联在电源的两端，所述继电器KS的常开开关与计数器的计数启动端并联； 所述计时器并联在电源两端，所述喷水电磁阀通过计时器的常开开关并联在电源两端，所述继电器KS的电子线圈与喷水电磁阀并联； 所述水位检测模块并联在电源两端，水位检测模块还与计时器的复位端连接； 所述放水电磁阀通过计时器的常闭开关与电源连接。
2.根据权利要求I所述的清洗控制电路，其特征在于，所述计时器为双设定计时器。
3.根据权利要求I所述的清洗控制电路，其特征在于，所述计数器的常闭触点与电源连接。
4.根据权利要求I所述的清洗控制电路，其特征在于，所述水位检测模块为电容式接近开关，所述电容式接近开关并联在电源两端，电容式接近开关的常开开关与计时器的复位端连接。
5.根据权利要求I所述的清洗控制电路，其特征在于，所述水位检测模块为气压传感器，所述气压传感器并联在电源两端，气压传感器的常开开关与计时器的复位端连接。
6.根据权利要求I所述的清洗控制电路，其特征在于，还包括用于接入电源的电源开关，所述电源开关与计数器连接。
7.根据权利要求6所述的清洗控制电路，其特征在于，还包括用于起动电路循环执行的起动开关，所述起动开关连接在所述电源开关与计数器之间。
8.根据权利要求I所述的清洗控制电路，其特征在于，还包括用于保持电路稳定循环执行的起动保持开关，所述起动保持开关为继电器K1，继电器Kl的常开开关与起动开关并联，电磁线圈连接在起动开关与计数器之间。
9.根据权利要求I所述的清洗控制电路，其特征在于，所述清洗控制电路的电源电压为 IlOV 或 220V。
专利摘要一种清洗控制电路，包括计数器、继电器KS、计时器、喷水电磁阀、放水电磁阀、水位检测模块，其中，所述计数器并联在电源的两端，所述继电器KS的常开开关与计数器的计数启动端并联；所述计时器并联在电源两端，所述喷水电磁阀通过计时器的常开开关并联在电源两端，所述继电器KS的电子线圈与喷水电磁阀并联；所述水位检测模块并联在电源两端，水位检测模块还与计时器的复位端连接；所述放水电磁阀通过计时器的常闭开关与电源连接。上述清洗控制电路，通过水位检测模块，控制喷淋槽内的水位高度，使水位覆盖元件，但不会漫过喷淋槽，将元件清洗干净的同时能够节省水资源。
文档编号G05B19/04GK202490797SQ20112054856
公开日2012年10月17日 申请日期2011年12月23日 优先权日2011年12月23日
发明者郑维发 申请人:深圳深爱半导体股份有限公司