一种动态可调配气控制系统的制作方法

文档序号:14594932发布日期:2018-06-05 05:11阅读:来源:国知局
技术特征:

1.一种动态可调配气控制系统,其特征是:所述控制系统中,比例阀作为调节气体流量的执行机构,质量流量控制器作为气路流量的检测器件,用浓度检测仪对从混气室流出的气体进行检测,微控制器作为主要的控制系统,接受反馈数据,并通过比例阀对气路的流量进行控制。

2.根据权利要求1所述的一种动态可调配气控制系统,其特征是:所述整个配气系统由两条气路组成,原料气通过的为主气路,稀释气体通过的为副气路,在副气路中,先用大工作气流的比例阀进行调节,将原料气稀释到一个接近要求数值且稳定的状态时,停止对大工作气流比例阀的调节,转入对小工作气流比例阀的调节,这样减小了系统滞后以及气体浓度产生的波动范围,这样就减小了气体浓度值带来得影响,能更加精确地得到气体要求浓度。

3.根据权利要求1所述的一种动态可调配气控制系统,其特征是:所述控制系统利用PID控制器对系统进行控制,可使系统的型别提高一级,与PI控制器相比,PID控制器除了同样具有提高系统的稳态性能的优点外,还多提供了一个负实零点,从而在提高系统动态性能方面,具有更大的优越性。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1