一种动态可调配气控制系统的制作方法

技术总结
一种动态可调配气控制系统，加入一个比例阀进行小工作气流调节，同时引入PID控制器，实现了稀释气体流量可调，达到协调控制。该控制系统比常规配气系统中单纯只对质量流量控制器流量值进行简单设置的动态配气系统稳定性更好，响应速度更快。

技术研发人员：王丽艳;
受保护的技术使用者：王丽艳;
文档号码：201611065615
技术研发日：2016.11.28
技术公布日：2018.06.05