1.一种组合式高精度质量流量控制系统，与气源连接有进气管路，进气管路经过一组计量仪器后，连接到后续检测装置上；所述一组计量仪器为三路并联的流量计量装置；所述三路并联的流量计量装置为并联连接的大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器、针阀；所述大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器、针阀入口处分别设置有独立球阀，气源入口的进气管部分设置有精密调压阀、压力传感器、温度传感器。
2.根据权利要求1所述的组合式高精度质量流量控制系统，其特征在于：所述气源前端入口处还设置有精密过滤器。
3.根据权利要求1所述的组合式高精度质量流量控制系统，其特征在于：所述大量程流量高精度质量流量控制器测量范围为0～500 sccm，小量程流量高精度质量流量控制器测量范围为0～50sccm，大量程流量高精度质量流量控制器、小量程流量高精度质量流量控制器的准确度都为±1%FS。