Recipe管理方法和系统以及半导体设备控制系统与流程

技术特征：
1.一种用于半导体设备的秘方管理方法，其特征在于，包括：判断秘方步骤信息的秘方步骤名称中是否包括预先设置的循环步骤标识，所述循环步骤标识用于标识所述秘方步骤信息中的循环步骤内容；若判断出所述秘方步骤名称中包括所述循环步骤标识，根据获取的所述循环步骤内容和所述循环步骤标识执行秘方操作指令,具体地，所述根据获取的所述循环步骤内容和所述循环步骤标识执行秘方操作指令包括：从所述循环步骤标识中解析出循环起始索引、循环终止索引和循环次数以及从所述秘方步骤信息中获取的循环步骤内容，以及；根据所述循环步骤内容、所述循环起始索引、所述循环终止索引和所述循环次数执行秘方操作指令；若判断出所述秘方步骤名称中未包括所述循环步骤标识，根据所述秘方步骤信息逐步执行秘方操作指令。2.根据权利要求1所述的用于半导体设备的秘方管理方法，其特征在于，所述秘方操作指令包括查看秘方指令；所述根据循环步骤内容、所述循环起始索引、所述循环终止索引和所述循环次数执行秘方操作指令包括：根据所述循环起始索引、所述循环终止索引和所述循环次数定义重叠数据格视图控件，所述重叠数据格视图控件包括一个或者多个重叠数据格行；将所述循环步骤内容设置为所述重叠数据格行的子行；将所述重叠数据格视图控件添加到所述数据格视图控件中；将所述秘方步骤信息在所述数据格视图控件中显示。3.根据权利要求2所述的用于半导体设备的秘方管理方法，其特征在于，所述重叠数据格行用于标识所述循环步骤内容的折叠行。4.根据权利要求1所述的用于半导体设备的秘方管理方法，其特征在于，所述循环起始索引用于表示所述秘方步骤信息中所述循环步骤内容的起始点，所述循环终止索引用于表示所述秘方步骤信息中所述循环步骤内容的终止点，所述循环次数用于表示重复执行所述循环步骤内容的次数。5.根据权利要求4所述的用于半导体设备的秘方管理方法，其特征在于，所述循环步骤标识表示为[i,j；loopcount],其中，i为循环起始索引，j为循环终止索引，loopcount为循环次数，所述循环步骤标识表明该循环步骤内容为重复执行循环次数次步骤i到步骤j的内容。6.根据权利要求4所述的用于半导体设备的秘方管理方法，其特征在于，所述循环起始索引为正整数，所述循环终止索引为正整数，且所述循环终止索引大于所述循环起始索引。7.一种用于半导体设备的秘方管理系统，其特征在于，包括：判断模块，用于判断秘方步骤信息的秘方步骤名称中是否包括循环步骤标识；第一执行模块，用于若所述判断模块判断出所述秘方步骤名称中包括所述循环步骤标识，根据获取的所述循环步骤内容和所述循环步骤标识执行秘方操作指令，其特征在于，所述第一执行模块包括：获取子模块，用于从所述秘方步骤信息中获取所述循环步骤标识所标识的循环步骤内容；解析子模块，用于从所述循环步骤标识中解析出循环起始索引、循环终止索引和循环次数；第一执行子模块，用于根据所述循环步骤内容、所述循环起始索引、所述循环终止索引和所述循环次数执行秘方操作指令；第二执行模块，用于若所述判断模块判断出所述秘方步骤名称中未包括所述循环步骤标识，根据所述秘方步骤信息逐步执行秘方操作指令。8.根据权利要求7所述的用于半导体设备的秘方管理系统，其特征在于，所述秘方操作指令包括查看秘方指令；所述第一执行子模块包括：定义子模块，用于根据所述循环起始索引、所述循环终止索引和所述循环次数，定义重叠数据格视图控件，所述重叠数据格视图控件包括一个或者多个数据格视图；设置子模块，用于将所述循环步骤内容设置为所述重叠数据格行的子行；添加子模块，用于将所述重叠数据格视图控件添加到所述数据格视图控件中；显示子模块，用于将所述秘方步骤信息在所述数据格视图控件中显示。9.根据权利要求8所述的用于半导体设备的秘方管理系统，其特征在于，所述数据格视图用于标识所述循环步骤内容的折叠行。10.根据权利要求7所述的用于半导体设备的秘方管理系统，其特征在于，所述循环起始索引用于表示所述秘方步骤信息中所述循环步骤内容的起始点，所述循环终止索引用于表示所述秘方步骤信息中所述循环步骤内容的终止点，所述循环次数用于表示重复执行所述循环步骤内容的次数。11.根据权利要求10所述的用于半导体设备的秘方管理系统，其特征在于，所述循环步骤标识表示为[i,j；loopcount],其中，i为循环起始索引，j为循环终止索引，loopcount为循环次数，所述循环步骤标识表明该循环步骤内容为重复执行循环次数次步骤i到步骤j的内容。12.一种半导体设备控制系统，包括：下位机和上位机；所述下位机用于存储和管理秘方管理系统；所述下位机接收所述上位机发送的查看秘方指令，获取对应的秘方实体对象，并将相应的秘方步骤信息和秘方附加信息发送给所述上位机；所述上位机接收所述下位机发送的信息，并判断所述信息中是否包括所述下位机预先设置的循环步骤标识；所述上位机用于提供管理所述秘方管理系统的图形界面；其特征在于，所述秘方管理系统采用权利要求7至11任一所述的用于半导体设备的秘方管理系统。