测试装置、测试系统、测试方法以及制造集成电路的方法与流程

本申请要求于2018年1月5日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请no.10-2018-0001524的优先权，在此通过引用将其其全部公开内容并入本文。

根据本发明构思的示例实施例涉及测试装置、包括该测试装置的测试系统、使用该测试装置和测试系统的测试方法、以及制造集成电路的方法。

背景技术：

为了确定应用了近场通信(nfc)技术的产品是否正常操作，可能需要测试nfc标签与应用了nfc技术的产品之间的通信。

例如，在nfc芯片与nfc标签之间的通信测试中，nfc标签与执行近场无线通信的nfc天线之间的距离可能根据正在被测试的nfc标签的类型而彼此不同。此外，在nfc芯片与nfc标签之间的通信测试中，测试商业上可获得的各种类型的nfc标签中的每一个与一个nfc芯片之间的通信可能是有用的。

技术实现要素：

本发明构思的一个方面是提供一种能够提高nfc芯片与近场通信标签之间的通信测试的便利性的测试装置、包括该测试装置的测试系统、使用该测试装置和测试系统的测试方法、以及制造集成电路的方法。

本发明构思的另一方面是提供一种能够提高nfc芯片与近场通信标签之间的通信测试的准确度的测试装置、包括该测试装置的测试系统、使用该测试装置和测试系统的测试方法、以及制造集成电路的方法。

然而，本发明构思的方面不限于本文所阐述的方面。通过参考下面给出的本发明构思的详细描述，本发明构思的上述方面和其他方面对于本发明构思所属领域的普通技术人员将变得更加明显。

根据本发明构思的一些实施例，提供了一种测试系统，包括：测试板，设置有近场通信(nfc)芯片并包括天线；标签保持装置，包括分别容纳第一nfc标签和第二nfc标签的第一标签保持器和第二标签保持器，以及被配置为调整第一标签保持器和第二标签保持器中的每一个的位置的第一控制器；以及第二控制器，被配置为：将第一测试信号发送给测试板，以执行针对nfc芯片和第一nfc标签的第一通信测试；接收第一通信测试的结果；以及确定nfc芯片是否正常读取存储在第一nfc标签中的第一数据，其中第一控制器被配置为将第一nfc标签和天线放置成彼此间隔开基于第一nfc标签的类型的第一距离并且彼此面对，并且当完成第一通信测试时旋转第一标签保持器和第二标签保持器。

根据本发明构思的一些实施例，提供了一种测试装置，包括：支撑件；第一标签保持器，与支撑件连接并容纳第一近场通信(nfc)标签；以及第二标签保持器，与支撑件连接并容纳第二nfc标签，其中第一标签保持器和第二标签保持器被配置为绕轴旋转，其中测试装置被配置为基于第一nfc标签的类型来移动第一标签保持器以调整第一nfc标签与包括nfc芯片的测试板之间的第一距离，并且其中测试装置被配置为基于第二nfc标签的类型来移动第二标签保持器以调整第二nfc标签与测试板之间的第二距离，该第二nfc标签的类型与第一nfc标签的类型不同。

根据本发明构思的一些实施例，提供了一种测试方法，包括：控制第一近场通信(nfc)标签的位置，使得包括在测试板中的天线与第一nfc标签彼此间隔开第一距离并且彼此面对；控制第一通信测试，在该第一通信测试中，包括在测试板中的nfc芯片读取存储在第一nfc标签中的第一数据；以及通过在执行第一通信测试之后使第一nfc标签绕轴旋转来控制第二nfc标签的位置，使得天线与第二nfc标签彼此间隔开第二距离并且彼此面对，其中旋转第一nfc标签包括：通过使支撑件绕轴旋转来使第一标签保持器和第二标签保持器在相同方向上旋转相同的角度。

根据本发明构思的一些实施例，提供了一种制造集成电路的方法，包括：生成用于集成电路层的特征件集的掩模布局，该掩模布局包括用于包括处理器的一个或多个电路特征件的标准单元库宏；在生成掩模布局期间忽略标准单元库宏的相对位置是否符合布局设计规则；在生成掩模布局之后检查标准单元库宏的相对位置是否符合布局设计规则；修改标准单元库宏中不符合布局设计规则的任何标准单元库宏，以将掩模布局修改为符合布局设计规则；根据具有集成电路层的特征件集的修改后的掩模布局来生成掩模；以及根据该掩模来制造集成电路层，其中处理器控制第一近场通信(nfc)标签的位置，使得包括在测试板中的天线与第一nfc标签彼此间隔开第一距离并且彼此面对；控制第一通信测试，在该第一通信测试中，包括在测试板中的nfc芯片读取存储在第一nfc标签中的第一数据；以及在执行第一通信测试之后，通过使第一nfc标签绕轴旋转来控制第二nfc标签的位置，使得天线与第二nfc标签彼此间隔开第二距离并且彼此面对。

根据本发明构思的一些实施例，提供了一种测试方法，包括：将近场通信(nfc)芯片设置到具有天线的测试板上；设置标签保持装置，其具有容纳第一类型的nfc标签的第一标签保持器和容纳第二类型的nfc标签的第二标签保持器，该第二类型的nfc标签与第一类型的nfc标签不同；控制第一标签保持器和第二标签保持器中的每一个的位置；将第一测试信号发送给测试板以执行针对nfc芯片和第一nfc标签的第一通信测试；接收第一通信测试的结果；以及确定nfc芯片是否正常读取存储在第一nfc标签中的第一数据，其中，控制步骤包括：将第一nfc标签和天线放置成彼此间隔开与第一nfc标签的类型相对应的第一距离并且彼此面对；以及当完成第一通信测试时使第一标签保持器和第二标签保持器旋转。

附图说明

通过参考附图详细描述本发明构思的示例性实施例，本发明构思的上述和其他方面和特征将变得更加明显，在附图中：

图1是示出了根据本发明构思的一些实施例的测试系统的框图；

图2是示出了根据本发明构思的一些实施例的标签保持装置的视图；

图3和图4是示出了根据本发明构思的一些实施例的第一控制器的视图；

图5是示出了根据本发明构思的一些实施例的使用测试系统的测试方法的流程图；

图6至图8是示出了根据本发明构思的一些实施例的标签保持装置的操作的视图；

图9是示出了图5的步骤(s440)的流程图；

图10至图13是示出了根据本发明构思的一些实施例的标签保持装置的操作的视图；以及

图14是示出了根据本发明构思的一些实施例的制造包括处理器的集成电路的方法的流程图。

具体实施方式

在下文中，将参照附图描述本发明构思的实施例。

图1是示出了根据本发明构思的一些实施例的测试系统1的框图。

参照图1，根据本发明构思的一些示例实施例的测试系统1可以包括标签保持装置10、测试板20和第二控制器30，该标签保持装置10包括第一控制器150。

根据示例实施例，标签保持装置10可以包括标签保持器阵列100和第一控制器150。

标签保持器阵列100可以容纳nfc标签。标签保持器阵列100可以包括多个标签保持器。当标签保持器阵列100包括多个标签保持器时，标签保持器阵列100可以容纳多种类型的nfc标签。多个标签保持器中的每一个可以容纳一个nfc标签。根据示例实施例，nfc标签可以是无源设备(其自身没有电力)，其可以用于与有源nfc设备(有源nfc读取器/写入器)(例如智能电话、平板电脑等)通信。例如，nfc标签可以是存储可以被有源nfc设备读取并且在一些情况下被有源nfc设备写入的数据(例如，可以用于将有源nfc设备引导到网站url的少量数据、文本数据或其他数据)的无源存储设备。典型的nfc标签可以包含96个字节与8，192个字节之间的数据，并且在正常使用中通常是只读的，但是可以是可重写的。通常存在七种类型的nfc标签，每种类型的nfc标签具有不同的和/或存储容量。

第一控制器150可以调整标签保持器阵列100的位置。例如，第一控制器150可以调整标签保持器阵列100与稍后将描述的测试板20之间的距离。此外，第一控制器150可以使标签保持器阵列100绕预定的旋转轴旋转。

例如，第一控制器150可以包括旋转器153和距离控制器163。

旋转器153可以使标签保持器阵列100绕旋转轴旋转。距离控制器163可以调整标签保持器阵列100与测试板20之间的距离。尽管在图1中示出第一控制器150仅包括旋转器153和距离控制器163，但是本发明构思不限于此。例如，如果需要，则第一控制器150还可以包括诸如电源单元和支撑件的其他组件。

测试板20可以包括接受区(容纳区域)201和天线203。测试板20的接受区201可以是包括在测试板20中的基板的一部分。nfc芯片可以被设置在测试板20的接受区201中。

天线203可以连接到包括在测试板20中的基板。天线203可以参与容纳在标签保持器阵列100中的nfc标签与设置在接受区201中的nfc芯片之间的无线通信。将在稍后描述其细节。第二控制器30可以将测试信号发送给测试板20。测试信号可以包括用于执行针对容纳在标签保持器阵列100中的nfc标签和设置在接受区201中的nfc芯片的通信测试的信息。

第二控制器30可以接收通信测试的结果。

第二控制器30可以基于通信测试的结果确定nfc芯片与nfc标签之间的通信是否正常。例如，第二控制器30可以确定nfc芯片是否正常读取(例如，主体nfc芯片的通信速度是否在预定的可接受通信速率的范围内)存储在nfc标签中的数据。将在稍后描述其细节。

图2是示出了根据本发明构思的一些实施例的标签保持装置10的视图。图3和图4是示出了根据本发明构思的一些实施例的第一控制器150的视图，其中，图3是图2的第一控制器150的分解透视图，而图4是图2的第一控制器150的透视图。

参照图2至图4，根据本发明构思的一些实施例的标签保持装置10可以包括标签保持器阵列100和第一控制器150。

标签保持器阵列100可以容纳nfc标签。标签保持器阵列100可以包括标签保持器支撑件110和连接到标签保持器支撑件110的多个标签保持器。

多个标签保持器可以包括第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103。第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103可以从标签保持器支撑件110向外伸出。第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103中的每一个可以容纳nfc标签。

尽管在附图中示出标签保持器阵列100具有预定数量的标签保持器，但是本发明构思不限于此。如果需要，标签保持器的数量可以大于或小于图中所示的标签保持器的数量。

标签保持器阵列100可以与第一控制器150接合(例如，连接)。例如，第一控制器150可以穿过标签保持器阵列100以与标签保持器阵列100接合。例如，第一控制器150和标签保持器阵列100可以通过第一控制器150的第二连接器165彼此接合(例如，连接)。

将理解，虽然本文中可以使用术语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种元件、组件、区、层和/或部分，但是这些元件、组件、区、层和/或部分不应受这些术语限制。除非上下文另有说明，否则这些术语仅用于将一个元件、组件、区、层或部分与另一元件、组件、区、层或部分区分开，例如作为命名约定。因此，以下在说明书的一个部分中讨论的第一元件、组件、区、层或部分可以在说明书的另一部分或权利要求中被命名为第二元件、组件、区、层或部分，而不脱离本发明的教导。另外，在某些情况下，即使在说明书中没有使用“第一”、“第二”等来描述术语，该术语在权利要求中仍然可以被称为“第一”或“第二”，以便将要求保护的不同元件区分开。

将理解，当提及元件“连接”或“耦接”到另一元件或在另一元件“之上”时，该元件可以直接连接或耦接到该另一元件或直接在该另一元件之上，或者可以存在介于中间的元件。相比之下，当提及元件“直接连接”或“直接耦接”到另一个元件或“接触”另一元件或与另一元件“接触”时，在接触点处不存在介于中间的元件。

第一控制器150可以包括电源单元151、旋转器153、板155、支架157、第一支撑件159、第二支撑件161、第一连接器162、距离控制器163、轨道164和第二连接器165。

电源单元151可以向旋转器153和距离控制器163供电。例如，电源单元151可以连接到外部电源以向旋转器153和距离控制器163供电。

旋转器153可以设置在电源单元151上。旋转器153可以与电源单元151接合。旋转器153可以在电源单元151上旋转。

根据一些示例性实施例的电源单元151可以包括被配置为生成或转换电力并将电力供应给旋转器153的电路组件。

板155可以设置在旋转器153上。例如，板155可以耦接到旋转器153。板155的一部分可以从旋转器153伸出并沿着预定方向纵向延伸。板155可以随着旋转器153的旋转一起旋转。板155可以将支架157连接到旋转器153。在一些备选实施例中，可以省略板155。

支架157可以设置在板155上。例如，支架157可以与板155接合。板155可以包括第一部分155a和第二部分155b。根据示例实施例，板155的第一部分155a在一端可以具有矩形或方形的形状，并且第二部分155b在一端可以具有大致圆形的形状，但是本公开不限于此。旋转器153可以包括圆形顶表面，并且板155的第二部分155b的底表面可以耦接到旋转器153的圆形顶表面，并且板155的第一部分155a的一侧可以与第一部分155b的向外伸出方向相对地向内伸出。第二部分155b可以与旋转器153和标签保持器支撑件110的旋转轴对齐，而第一部分155a不与旋转器153和标签保持器支撑件110的旋转轴对齐。支架157可以包括与板155接触的第一部分157a和从第一部分157a开始在竖直方向上延伸的第二部分157b。例如，支架157的第一部分157a的底表面可以与板155的第一部分155a的整个顶表面接触并且与板155的第二部分155b的顶表面的某一部分接触。根据示例实施例，支架157的第一部分157a的侧表面可以定位在与板155的第一部分155a的侧表面相同的平面中。板155的第一部分155a和第二部分155b可以彼此连接以一体地形成板155。支架157的第一部分157a和第二部分157b可以彼此连接以一体地形成支架157。支架157可以将第一支撑件159连接到板155。

第一支撑件159可以接合到支架157的第二部分157b，并且可以设置在旋转器153上。例如，支架157可以设置在第一支撑件159的一侧上，使得第一支撑件159的内竖直表面接触支架157的第二部分157b的外竖直表面。根据示例实施例，第一支撑件159的侧表面可以定位在与支架157的第二部分157b的侧表面相同的平面中。第一支撑件159可以是矩形板，其具有平坦的表面以接合支架157的第二部分157b。然而，本公开不限于此。第二支撑件161、第一连接器162、距离控制器163、轨道164和第二连接器165可以设置在第一支撑件159的另一侧。例如，第一支撑件159的外竖直表面可以接触第二支撑件161和距离控制器163的内竖直表面，并且第一支撑件159的外竖直表面可以接触第一连接器162、轨道164和第二连接器165。根据示例实施例，轨道164的顶端可以连接到距离控制器163的底表面，并且第一连接器162可以设置在距离控制器163的上表面与第二支撑件161的下表面之间，并且第二连接器165可以设置在距离控制器163的中间部分。尽管图3的示例性实施例示出了在距离控制器163的中间部分处彼此间隔开设置的两个第二连接器165，但是本公开不限于此。根据设计规范，可以在距离控制器163上设置任意数量的第二连接器165。

在一些实施例中，支架157和第一支撑件159可以一体地形成，并且可以统称为支架。

第二支撑件161可以与第一支撑件159接合。第二支撑件161可以通过第一连接器162连接到距离控制器163。

第二支撑件161可以生成用于控制距离控制器163的控制信号。例如，第二支撑件161(也称为支撑板)可以包括包围电路组件的主体和致动距离控制器163以使其沿着轨道164移动的致动器组件。通过第一连接器162将所生成的控制信号传输到距离控制器163，使得可以调整距离控制器163在z方向上的位置。然而，本发明构思的技术思想不限于此。例如，也可以由与第二支撑件分离的组件生成用于控制距离控制器163的控制信号。

距离控制器163可以在第一支撑件159的另一侧上沿着z方向移动。例如，距离控制器163可以沿着轨道164在轨道164上进行上下移动。这里，上下运动可以是沿着z方向的移动。例如，距离控制器163可以沿着第一支撑件159延伸的方向在轨道164上移动。

第二连接器165可以使距离控制器163和标签保持器100彼此接合。因此，当距离控制器163沿着z方向在轨道164上移动时，标签保持器阵列100可以随着距离控制器163一起沿着z方向移动。例如，当距离控制器163上下移动时，标签保持器阵列100也可以上下移动。

由于标签保持器100、板155、支架157、第一支撑件159、第二支撑件161、第一连接器162和距离控制器163连接到旋转器153，因此当旋转器153沿着径向轴旋转时，标签保持器100、板155、支架157、第一支撑件159、第二支撑件161、第一连接器162和距离控制器163也可以随着旋转器153一起沿着径向轴旋转。

因此，根据示例实施例，第一控制器150可以通过距离控制器163来调整彼此间隔开的标签保持器阵列100与测试板20之间的距离，并且可以通过旋转器153来旋转标签保持器阵列100。

图5是示出了根据本发明构思的一些实施例的使用测试系统1的测试方法的流程图。图6至图8是示出了根据本发明构思的一些实施例的标签保持装置10的操作的视图，其中，图7是图6的测试系统1的平面图，而图8是天线203和第一标签保持器101的侧视图。在图8中，为了清楚起见，省略了除了天线203和第一标签保持器101之外的其他组件。

图9是示出了图5的步骤(s440)的流程图。

图10至图13是示出了根据本发明构思的一些实施例的标签保持装置10的操作的视图。具体而言，图10是在图7的标签保持装置10在r方向上旋转第一角度1之后的测试系统1的平面图，而图11是天线203和第二标签保持器102的侧视图。在图11中，为了清楚起见，省略了除了天线203和第二标签保持器102之外的其他组件。

图12是在图7的标签保持装置10在r方向上旋转第二角度2之后的测试系统1的平面图，而图13是天线203和第三标签保持器103的侧视图。在图13中，为了清楚起见，省略了除了天线203和第三标签保持器103之外的其他组件。

参照图5，在步骤s410中，可以提供其中设置有nfc芯片的测试板。

参照图6，可以提供其中设置有nfc芯片211的测试板20。测试板20可以包括基板200、接受区201和天线203。接受区201可以是基板200的一部分。天线203可以与基板200连接。

对于nfc芯片211与第一标签191之间的第一通信测试，nfc芯片211可以设置在测试板20的接受区201中。

再次参照图5，在步骤s420中，可以将多个nfc标签分别容纳在多个标签保持器中。

再次参照图6，第一nfc标签191、第二nfc标签192和第三nfc标签193可以分别容纳在标签保持装置10的第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器中。

在一些实施例中，第一nfc标签191、第二nfc标签192和第三nfc标签193可以是不同类型的标签。

再次参照图5，在步骤s430中，可以调整标签保持器的位置，使得nfc标签与天线间隔开预定距离。

参照图6至图8，容纳在第一标签保持器101中的第一nfc标签191可以与天线203间隔开第一距离d1，并且第一nfc标签191和天线203彼此面对。在这种情况下，第一控制器150可以控制第一nfc标签191和天线203，使得第一nfc标签191和天线203彼此间隔开第一距离d1并且彼此面对。

例如，第一标签保持器101可以移动使得第一控制器150的距离控制器163移动以允许第一nfc标签191和天线203彼此间隔开第一距离d1并且彼此面对。例如，可以将第一nfc标签191与天线203之间的距离调整为第一距离d1。

例如，第一距离d1可以是彼此间隔开的天线203与第一nfc标签191之间的距离。第一距离d1可以是执行第一通信测试以确定第一nfc芯片211与第一nfc标签191之间的无线通信是否正常所需的距离。第一距离d1可以是根据第一nfc标签191的类型确定的值。在一些实施例中，第一距离d1可以是根据第一nfc标签191的类型确定的值，其在nfc论坛中被指定为nfc测试标准。

再次参照图5，在步骤s440中，可以执行针对nfc芯片和nfc标签的通信测试。

参照图9，图5的步骤s440中的通信测试可以包括步骤s441至s448。

在图9的步骤s441中，通信测试可以包括允许测试板接收测试信号。

在一些实施例中，第二控制器(图1的30)可以将测试信号发送给测试板20。测试信号可以包括用于针对nfc芯片和nfc标签执行第一通信测试的信息。

在图9的步骤s442中，通信测试可以包括允许测试板将包括读取命令的第一信号发送给nfc标签。

再次参照图6，接收第一测试信号的测试板20可以将第一信号发送给第一nfc标签191以执行第一通信测试。

第一通信测试可以用来测试在第一nfc芯片211的读取模式下是否正常执行第一nfc芯片211与第一nfc标签191之间的无线通信。读取模式可以包括允许第一nfc芯片211读取存储在第一nfc标签191中的第一数据。

例如，可以通过天线203将第一信号发送给第一nfc标签191。

再次参照图9，在步骤s443中，通信测试可以包括允许nfc标签接收第一信号。

再次参照图6，第一nfc标签191可以接收包括读取命令的第一信号。

再次参照图9，在步骤s444中，通信测试可以包括将第二信号发送给nfc芯片，该第二信号包括存储在nfc标签中的第一数据。

再次参照图6，第一nfc标签191可以存储第一数据。当第一nfc标签191接收到包括读取命令的第一信号时，第一nfc标签191可以将包括第一数据的第二信号发送给测试板20。

例如，可以通过天线203将第二信号发送给设置在测试板20中的第一nfc芯片211。

再次参照图9，在步骤s445中，可以将通信测试重复x次。这里，x是自然数。如果还未将通信测试重复x次，则可以再次执行步骤s442、步骤s443和步骤s444。如果已经将通信测试重复x次，则可以继续执行步骤s446。

再次参照图6，可以将针对第一nfc芯片211和第一nfc标签191的第一通信测试重复x次。

在一些实施例中，第二控制器(图1的30)可以确认是否已经将第一通信测试重复x次。

在一些实施例中，第一通信测试可以包括第一子通信测试和第二子通信测试。第一子通信测试可以是其中第一nfc芯片211和第一nfc标签191以第一速率发送和接收第一信号和第二信号的测试。第二子通信测试可以是其中第一nfc芯片211和第一nfc标签191以第二速率发送和接收第一信号和第二信号的测试。第一速率和第二速率可以是彼此不同的值。

可以将第一子通信测试和第二子通信测试中的每一个重复x次。例如，在将第一子通信测试重复x次之后，可以将第二子通信测试重复x次。在将第二子通信测试重复x次之后，可以继续执行步骤s446。

再次参照图9，在步骤s446中，通信测试可以包括确定nfc芯片正常读取数据的速率是否大于或等于阈值。

在重复x次的通信测试中，可以确定nfc芯片正常接收第二信号的速率。例如，在重复x次的通信测试中，可以确定nfc芯片正常读取存储在nfc标签中的数据的速率。

如果该速率等于或大于阈值，则可以确定nfc芯片与nfc标签之间的无线通信正常(步骤s447)。如果该速率小于阈值，则可以确定nfc芯片与nfc标签之间的无线通信异常(步骤s448)。确定速率，从而完成nfc芯片与nfc标签之间的通信测试。

再次参照图6，在重复x次的第一通信测试中，可以确定第一nfc芯片211正常读取存储在第一nfc标签191中的第一数据的速率。

在一些实施例中，第二控制器(图1的30)可以确定该速率。第二控制器(图1的30)可以将该速率与阈值进行比较，从而确定第一nfc芯片211与第一nfc标签191之间的无线通信是否正常，并且完成第一通信测试。

在一些实施例中，可以在步骤s460之后执行步骤s446、s447和s448。

再次参照图5，在步骤s450中，在完成通信测试之后，标签保持器可以旋转。在标签保持器旋转之后，可以在步骤s460中确定是否已经完全执行了容纳在标签保持器中的nfc标签与nfc芯片之间的所有通信测试。如果还未执行所有的通信测试，则可以再次执行步骤s430、s440、s450和s460。

再次参照图6，第一标签保持器101和第二标签保持器102可以彼此间隔开第一角度1，并且第二标签保持器102和第三标签保持器103可以彼此间隔开第二角度2。在一些实施例中，第一角度1和第二角度2可以是相同的值。在一些实施例中，第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103中的每一个可以在相同方向(例如，r方向)上旋转。

在完成第一通信测试之后，第一控制器150可以使第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103在r方向上旋转。此时，第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103中的每一个可以旋转第一角度1。第一控制器150可以旋转第一控制器150的旋转器153以使第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103在r方向上旋转。

在一些实施例中，第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103中的每一个可以在r方向上自动旋转。例如，第二控制器(图1中的30)可以命令第一控制器150分别使第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103在r方向上旋转，并且第一控制器150可以控制旋转器153以进行旋转。

备选地，在一些实施例中，在完成第一通信测试之后，第一控制器150可以使第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103中的每一个在r方向上自动旋转。

参照图10，第二标签保持器102可以移动，使得第一控制器150的旋转器153旋转，从而使第二nfc标签192和天线203彼此面对。例如，当旋转器153旋转时，第一支撑件159旋转，并且因此与第一支撑件159连接的标签保持器阵列100可以旋转。

参照图11，第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103旋转，并且因此容纳在第二标签保持器102中的第二nfc标签192可以设置成与天线203间隔开第二距离d2并面对天线203。在这种情况下，第一控制器150可以控制第二nfc标签192和天线203以使其彼此间隔开第二距离d2并且彼此面对。

例如，第二标签保持器102可以移动，使得第一控制器150的距离控制器163移动以允许第二nfc标签192和天线203彼此间隔开第二距离d2并且彼此面对。例如，可以将第二nfc标签192与天线203之间的距离调整为第二距离d2。

第二距离d2可以是执行第二通信测试以便确定第一nfc芯片211与第二nfc标签192之间的无线通信是否正常所需的距离。第二距离d2可以是根据第二nfc标签192的类型确定的值。在一些实施例中，第二距离d2可以是根据第二nfc标签192的类型确定的值，其在nfc论坛中被指定为nfc测试标准。

在调整第二距离d2之后，可以执行针对第一nfc芯片211和第二nfc标签192的第二通信测试。

在一些实施例中，在调整第二距离d2之后，第二控制器(图1的30)可以将第二测试信号发送给测试板20，以执行针对第一nfc芯片211和第二nfc标签192的第二通信测试。此外，第二控制器(图1的30)可以接收第二通信测试的结果，并且可以确定nfc芯片211是否正常读取存储在第二nfc标签192中的第二数据。

由于第二通信测试的内容与参考图9所描述的通信测试(例如，第一通信测试)的内容基本相同，因此将省略重复的描述。

参照图6和图12，在完成第二通信测试之后，第一控制器150可以使第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103在r方向上旋转。此时，第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103中的每一个可以旋转第二角度2。

例如，第三标签保持器103可以移动，使得第一控制器150的旋转器153旋转，以便使第三nfc标签193和天线203彼此面对面。例如，当旋转器153旋转时，第一支撑件159旋转，并且因此与第一支撑件159连接的标签保持器阵列100可以旋转。

参照图13，第一标签保持器101、第二标签保持器102和第三标签保持器103旋转，并且因此容纳在第三标签保持器103中的第三nfc标签193可以设置成与天线203间隔开第三距离d3并面对天线203。在这种情况下，第一控制器150可以控制第三nfc标签193和天线203以彼此间隔开第三距离d3并且彼此面对。

例如，第三标签保持器103可以移动，使得第一控制器150的距离控制器163移动以允许第三nfc标签193和天线203彼此间隔开第三距离d3并且彼此面对。例如，可以将第三nfc标签193与天线203之间的距离调整为第三距离d3。

第三距离d3可以是执行第三通信测试以便确定第一nfc芯片211与第三nfc标签193之间的无线通信是否正常所需的距离。第三距离d3可以是根据第三nfc标签193的类型确定的值。在一些实施例中，第三距离d3可以是根据第三nfc标签193的类型确定的值，其在nfc论坛中被指定为nfc测试标准。

在调整第三距离d3之后，可以执行针对第一nfc芯片211和第三nfc标签193的第三通信测试。

在一些实施例中，在调整第三距离d3之后，第二控制器(图1的30)可以将第三测试信号发送给测试板20，以执行针对第一nfc芯片211和第三nfc标签193的第三通信测试。此外，第二控制器(图1的30)可以接收第三通信测试的结果，并且可以确定nfc芯片211是否正常读取存储在第三nfc标签193中的第三数据。

由于第三通信测试的内容与参考图9所描述的通信测试(例如，第一通信测试)的内容基本相同，因此将省略重复的描述。

再次参照图5，如果在步骤s460中已经完全执行了针对nfc芯片和多个nfc标签的通信测试，则在步骤s470中可以将另一nfc芯片设置在测试板中。在将另一nfc芯片设置在测试板中之后，可以再次执行步骤s430、s440、s450和s460。

例如，当完全执行了容纳在标签保持器阵列中的多个nfc标签中的每一个与第一nfc芯片211之间的通信测试(已经参考图6、图10和图11对其进行了描述)时，可以将第二nfc芯片设置在接受区201中。此外，可以再次将第一nfc标签191设置在天线203上。此后，可以执行图5的步骤s430、s440、s450和s460。

根据本发明构思的一些实施例的测试系统1被配置为使得作为测试装置的标签保持装置10的标签保持器在z方向和r方向上移动，从而提高针对nfc芯片和nfc标签的通信测试的便利性。此外，根据本发明构思的一些实施例的测试系统1被配置为使得标签保持装置10的标签保持器与天线203间隔开根据nfc标签的类型的距离，从而提高针对nfc芯片和nfc标签的通信测试的准确性。

第一距离d1、第二距离d2和第三距离d3也可以被称为与用于测试主体nfc芯片是正常还是异常的nfc标签的相应类型相对应的特征距离。当如上文关于图5到图13所述的确定nfc芯片与nfc标签之间的无线通信正常时，可以将主体nfc芯片安装到支持nfc的设备中，例如智能手机、平板电脑等。当确定nfc芯片与nfc标签之间的无线通信异常时，可以丢弃主体nfc芯片并且可以不将其安装到支持nfc的设备中，例如智能手机、平板电脑等。根据示例性实施例，通过使用标签保持装置10和测试板20以分别与主体nfc芯片相对应的各种测试模式来自动执行针对主体nfc芯片的读/写速率确定测试，其中通过特征距离来执行nfc标签间的逐步自动旋转。因此，可以减少nfc芯片的现有手动评估中的操作者错误并可以缩短测试周期，并且可以对主体nfc芯片的正常或异常进行准确的评估。

图14是示出了根据本发明构思的一些实施例的制造包括处理器的集成电路的方法的流程图。

参照图14，在步骤s510中，可以生成初始布局数据，该初始布局数据用于生成集成电路层的特征件集的掩模布局。

掩模布局可以包括用于包括处理器的一个或多个电路特征件的标准单元库宏。

处理器可以控制第一nfc标签的位置，使得包括在测试板中的天线和第一nfc标签彼此间隔开第一距离并且彼此面对。另外，处理器可以控制包括在测试板中的nfc芯片以执行第一通信测试来读取存储在第一nfc标签中的第一数据。而且，在执行第一通信测试之后，处理器可以旋转第一nfc标签以控制第二nfc标签的位置，使得天线和第二nfc标签间隔第二距离并且彼此面对。

可以以硬件或以编程有软件的硬件来实现处理器。根据示例实施例，处理器可以是以硬件或以编程有软件的硬件来实现的cpu或其他计算设备。

在步骤s520中，可以在生成掩模布局期间执行用于忽略标准单元库宏的相对位置是否符合布局设计规则的设计规则检查。

在步骤s530中，可以在生成掩模布局之后执行用于检查标准单元库宏的相对位置是否符合布局设计规则的布局修改。

在步骤s540中，当形成新的布局设计并且检测布局设计规则是否与任何宏相符时，可以通过将不符合设计规则的每个宏修改为符合布局设计规则来修改掩模布局。此外，可以根据具有集成电路层的特征件集的修改后的掩模布局来生成掩模，并且可以根据所生成的掩模来制造集成电路层。

根据软件实现，可以通过执行至少一个功能或操作的单独的软件模块来实现诸如过程或功能的实施例。

可以用以合适的编程语言编写的软件应用来实现软件代码。

如在本发明构思的领域中常见的，在功能块、单元和/或模块方面描述并在附图中示出实施例。本领域技术人员将理解，通过诸如逻辑电路、分立组件、微处理器、硬连线电路、存储器元件、布线连接等的电子(或光学)电路物理地实现这些块、单元和/或模块，其中可以使用基于半导体的制造技术或其它制备技术来形成所述电子(或光学)电路。在块、单元和/或模块由微处理器等实现的情况下，可以使用软件(例如，微代码)对其进行编程以执行本文讨论的各种功能，并且可以可选地由固件和/或软件对其进行驱动。备选地，每个块、单元和/或模块可以通过专用硬件实现或实现为执行一些功能的专用硬件和执行其他功能的处理器(例如，一个或多个编程的微处理器和相关联的电路)的组合。此外，在不脱离本发明构思的范围的情况下，实施例的每个块、单元和/或模块可以物理地分成两个或更多个交互和分立的块、单元和/或模块。此外，在不脱离本发明构思的范围的情况下，实施例的块、单元和/或模块可以物理地组合成更复杂的块、单元和/或模块。

虽然已经参考本发明构思的示例性实施例具体示出和描述了本发明构思，但是本领域普通技术人员将理解，在不脱离由所附权利要求限定的本发明构思的精神和范围的情况下，可以在形式和细节上进行各种改变。因此，期望本实施例在所有方面被认为是说明性的而不是限制性的，参考所附权利要求而不是前述描述来指示本发明的范围。