导电膜的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种导电膜，涉及一种例如适合用于触摸屏的导电膜。
【背景技术】
[0002] 最近，触摸屏受到关注。触摸屏主要应用于个人数字助理（PersonalDigital Assistant，PDA)或移动电话等小尺寸装置，但考虑由于应用于个人计算机用显示器等而进 行大尺寸化。
[0003] 如上所述的将来动向中，现有的电极由于使用氧化铟锡（IndiumTinOxide， ITO)，故而电阻大。因此，随着应用尺寸变大，存在电极间的电流的信号波形变钝，响应速度 (自接触指尖起至检测出其位置为止的时间）变慢的问题。
[0004]因此，已知通过将由金属制的细线（金属细线）所构成的格子并排多个来构 成电极，而使表面电阻下降。另外，为了抑制在将格子有规则地并排的情况下所产生的 云纹现象，而提出有由随机的图案来形成金属细线的导电膜（例如参照日本专利特表 2011-513846号公报、日本专利特开2012-181815号公报、日本专利特开2012-119163号公 报）。
[0005] 日本专利特表2011-513846号公报中记载的导电膜包括：与多个端子分别连接的 网目板（meshbar)、以及配置于网目板间的线区域（电性绝缘的区域），尤其，网目板包含 随机形状的多个单元。
[0006] 日本专利特开2012-181815号公报中记载的导电膜将透明电极图案部及透明绝 缘图案部交替地铺满于基材表面。由此，减小形成有透明电极图案部的区域、与未形成透明 电极图案部的区域（即形成有透明绝缘图案部的区域）的光学特性的差，抑制透明电极图 案部的视认。进而，透明绝缘图案部中，通过分开且随机地形成多个岛部，来抑制云纹的产 生。
[0007] 日本专利特开2012-119163号公报中记载的导电膜是在基体上形成有网目状线 材的导电膜。在该导电膜上重叠具有与网目状不同的式样的结构图案。进行该状态下的 俯视时的功率谱（powerspectrum)与人类标准视觉响应特性的卷积积分（convolution integral)。具有相当于线材的平均线宽的空间频率的1/4倍频率以上、且1/2倍频率以下 的空间频带中的各积分值大于零空间频率下的积分值的特性。其结果为，例如如触摸屏用 途那样，即便是采用层叠多个导电膜的构成的情况，也可防止噪声（noise)干扰（云纹）的 产生。
【发明内容】
[0008] 日本专利特表2011-513846号公报中记载的导电膜的构成与端子连接的网目板 的单元的尺寸大为不同。最大尺寸的单元具有最小单元的例如五倍的尺寸。因此，在网目 板的宽度方向上仅有1个单元或2个单元，存在网目板的电阻提高的顾虑。在该情况下，例 如网目板的时间常数变大，其结果为存在探测信号的探测精度劣化的问题。进而，尺寸大的 单元与尺寸小的单元的配置的不均有偏差。因此，例如在应用于静电电容方式的触摸屏的 情况下，用作电极的区域间的电阻及静电电容的不均变大。其结果为，驱动触摸屏的集成电 路（IntegratedCircuit，1C)中需要用于消除电阻或静电电容的不均的电路或运算处理， 还存在对1C的负荷变大的问题。
[0009] 日本专利特开2012-181815号公报中记载的导电膜如公报的图28所示，在区域B 间连接的区域A的导电部被覆率成为100%，区域B的导电部被覆率成为79%。因此，在作 为整体来看的情况下，在邻接的区域A与区域B中透过率产生差异，存在被视认为例如斑点 式样的顾虑。
[0010] 日本专利特开2012-119163号公报中记载的导电膜如公报的图21所示，构成在第 1基本格子间连接的第1连接部的随机形状的区域在第1连接部的宽度方向上仅有1个或2 个。因此，存在第1连接部的电阻提高的顾虑。其结果为，与上述日本专利特表2011-513846 号公报的情况相同，存在例如导电膜的时间常数变大，探测信号的探测精度劣化的问题。
[0011] 本发明是考虑到上述课题而形成，目的在于提供发挥以下效果的导电性膜。
[0012] (a)即便构成各电极的单元的尺寸并不一样，各电极的电阻及静电电容的不均也 小，透明导电层的表面电阻也可抑制为低值。
[0013] (b)不仅可抑制云纹，而且电极的宽度窄的部分与宽的部分的透过率基本上无差 异，可抑制由透过率的差异引起的条纹式样的产生，可提高视认性（金属细线不显眼）。
[0014] (c)可减少与导电膜连接的驱动1C的负荷。
[0015] [1]本发明的导电膜的特征在于：包括向一方向延伸的具有多个电极的透明导电 层，电极的电极宽度根据位置而不固定，且包含由金属细线形成的多个多角形的单元，各单 元的尺寸并不一样，单元的平均尺寸为电极的最窄宽度的1/30以上且小于1/3,电极整体 中，单元的平均尺寸均匀。
[0016]若单元的平均尺寸变得过小，则开口率及透过率下降，随之，导致透明性的劣化、 视认性的劣化，至少存在透明导电层容易被人眼所识别的问题。相反，若单元的平均尺寸变 得过大，开口率及透过率提高，各电极的电阻提高，存在触摸位置的探测精度劣化的问题。
[0017]另外，电极整体中，通过上述单元的平均尺寸均匀，在电极内透过率不再产生偏 差，难以被视认为斑点式样（不均）。即，视认性提高。而且表示，在多个电极间，单元的尺 寸不一样的多个单元无偏差地排列，电性偏差也被抑制为最小限度。因此，在将导电膜应 用于例如静电电容方式的触摸屏的情况下，在多个电极间，电阻及静电电容的不均变小。由 此，在与导电膜连接的驱动1C中，不再需要组入用于消除电阻或静电电容的不均的电路或 运算处理，可减少对驱动1C的负荷。
[0018] [2]本发明中，单元的平均尺寸优选为电极的最窄宽度的1/10以上且小于1/3。
[0019] [3]本发明中，单元的平均尺寸尤其优选为电极的最窄宽度的1/5以上且小于 1/3〇
[0020] [4]本发明中，电极的最窄宽度（最小电极宽度）优选为0? 5mm~2. 0mm。若最小 电极宽度变得过小，则存在透明导电层的电阻变高的顾虑。在该情况下，例如透明导电层的 时间常数变大，其结果为，存在手指接近或接触的位置（记作触摸位置）的探测精度劣化的 问题。相反，若最小电极宽度变得过大，则在应用于例如静电电容方式的触摸屏的情况下， 由人的手指接近或接触所引起的静电电容的变化相对变小，存在检测精度劣化的问题。最 小电极宽度尤其优选为0. 8mm~1. 8mm，更优选为0. 8mm~1. 2mm。
[0021] [5]本发明中，构成单元的一边的随机率优选为2%以上、20%以下。若随机率小 于2%，则各单元的尺寸基本上变得一样，由多个单元的排列所引起的云纹的抑制效果降 低。相反，若随机率大于20%，则尺寸不同的单元的排列容易产生偏差，由于透过率的偏差 而视认性的恶化变得显著。
[0022] [6]本发明中，构成单元的一边的随机率尤其优选为4%以上、10%以下。
[0023] [7]本发明中，构成电极中宽度最窄的部分的多个单元的平均尺寸、与构成电极中 除宽度最窄的部分之外的部分的多个单元的平均尺寸的比优选为〇. 9~1. 1。若脱离该范 围，则在电极内透过率产生差异，存在被视认为斑点式样（不均）的顾虑。
[0024] [8]本发明中，任意选择的多个电极的各电阻值中，将最大值设为Rmax，将最小值 设为Rmin，将各电阻值的平均值设为Rave，且将电阻不均由下述式表示时，电阻不均优选 为小于10%。
[0025] 电阻不均（％ ) = {(Rmax-Rmin)/Rave}X100
[0026] 若电阻不均为10%以上，则驱动触摸屏的1C(集成电路）中需要用于消除电阻的 不均的电路或运算处理，存在对1C的负荷变大的问题。
[0027] [9]本发明中，任意选择的多个电极的各电阻值中，将最大值设为Rmax，将最小值 设为Rmin，将各电阻值的平均值设为Rave，且将电阻不均由下述式来表示时，电阻不均尤 其优选为5%以下。
[0028] 电阻不均（％ ) = {(Rmax-Rmin)/Rave}X100
[0029] [10] [8]或[9]中，任意选择的多个电极可为在一方向上连续并排的3个电极。在 该情况下，可对源自相同透明导电层的探测信号的水平是根据触摸位置而线形地变化，还 是非线形地变化进行评价。若电阻不均为上述优选范围，则探测信号的水平根据触摸位置 而线形地变化，可提高驱动1C中的探测精度。
[0030] [11]本发明中，构成透明导电层的多个单元中，和与配线的连接部连接的单元的 尺寸优选为相同。
[0031] [12]本发明中，构成单元的一边的长度可为100ym以上、800ym以下。由此，容 易将单元的平均尺寸设为电极的最窄宽度的1/30以上且小于1/3。
[0032] [13]本发明中，金属细线的线宽可为0.1ym以上、15ym以下。在线宽小于上述 下限值的情况下，导电性变得不充分，因此在用于触摸屏的情况下，检测感度变得不充分。 另一方面，若超过上述上限值，则由金属细线引起的云纹变得显著，用于触摸屏时视认性变 差。
[0033] 根据本发明的导电膜来发挥以下的效果。
[0034] (1)即便构成各电极的单元的尺寸不一样，各电极的电阻及静电电容的不均也小， 透明导电层的表面电阻也可抑制为低值。
[0035] (2)不仅可抑制云纹，而且可减轻电极的宽度窄的部分与宽度宽的部分的透过率 的差，抑制由透过率的差异所引起的条纹式样的产生，可提高视认性（金属细线不显眼）。
[0036] (3)可减少与导电膜连接的驱动1C的负荷。
[0037] 上述目的、特点及优点是根据参照附图来说明的以下实施形态的说明而容易了 解。
【附图说明】
[0038] 图1是表示本实施形态的导电膜的一例的平面图。
[0039] 图2是将导电膜的一例省略一部分来表示的剖面图。
[0040] 图3A是表示透明导电层的图案例的平面图，图3B是表示单元的一例的平面图。
[0041] 图4A是表示在其中一个电极上排列有小单元尺寸的单元的例子的说明图，图4B 是表示在另一个电极上排列有大单元尺寸的单元的例子的说明图。
[0042] 图5A~图5C是表不关于透明导电层的图案例的变形例的平面图。
[0043] 图6A~图6C是表示单元尺寸不一样的单元的形状的变形例的平面图。
[0044] 图7是表示具有由导电膜形成的层叠导电膜的触摸屏的构成的分解立体图。
[0045] 图8是将层叠导电膜省略一部分来表示的分解立体图。
[0046] 图9A是将层叠导电膜的一例省略一部分来表示的剖面图，图9B是将层叠导电膜 的其他例省略一部分来表示的剖面图。
[0047] 图10A是表示实施例1的导电膜的透明导电层的图案例的平面图，图10B是表示 实施例5的导电膜的透明导电层的图案例的平面图。
[0048] 图11A是表示比较例1的导电膜的透明导电层的图案例的平面图，图11B是表示 比较例2的导电膜的透明导电层的图案例的平面图。
[0049] 图12A是表示比较例3的导电膜的透明导电层的图案例，特别是电极的一部分的 图案例的平面图，图12B是表示比较例4的导电膜的透明导电层的图案例的平面图。
【具体实施方式】
[0050] 以下，参照图1~图12B来对使用本发明的导电膜的显示装置以及导电膜的实施 形态例进行说明。此外，本说明书中表示数值范围的"~"是作为包含其前后所记载的数值 作为下限值及上限值的含义来使用。
[0051] 如图1所示，本实施形态的导电膜包括导电部14,其形成于透明基体12(参照图 2)的表面上。该导电部14包括由金属细线16形成的2个以上的透明导电层18、以及在各 透明导电层18的端部经由衬垫（pad) 20(连接部）而电性连接的端子配线图案22。此外， 各透明导电层18上虽分别图示有轮廓线（实线），但实际上不存在。在透明导电层18间， 虽未详细图示，但与透明导电层18电性绝缘的透明虚设层24 (以双点划线表示）同样地形 成于透明基体12的表面上。透明虚设层24是以与透明导电层18同样的方式由金属细线 16构成，是为了难以视认到透明导电层18而用于伪装（camouflage)的层。并不用作电极。 当然，也可不形成透明虚设层24。
[0052] 例如如图3A所示，各透明导电层18具有在一方向（y方向）上延伸且多个电极26 排列在一方向上的形状。各电极26的电极宽度根据位置而不固定，且包括由金属细线16 形成的多个多角形的单元28 (参照图1及图3B)。此外，图1中，