触摸屏、感放射线性树脂组合物及硬化膜的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本发明设及一种触摸屏、感放射线性树脂组合物及硬化膜。
【背景技术】
[0002] 近年来，在个人数字助理（Personal Digital Assistant,PDA)、笔记型个人计算 机（Note Personal Computer,笔记型PC)、办公自动化机器（Office Automation Equipment,OA机器)及汽车导航系统(化r化vigation System)等电子机器中，盛行使用触 摸屏作为运些显示器的输入装置。
[0003] 触摸屏可通过W操作者的手指或笔等触碰(按压)其表面，将所述触碰操作的数据 输出至各种处理装置中，由此可进行电子机器的操作。触摸屏是变为键盘化eyboard)的输 入装置，在上述电子机器等中，可W对话形式而简便地进行信息输入。
[0004] 触摸屏中，根据动作原理而存在有电阻膜方式、静电电容方式、红外线方式、超声 波方式及电磁感应禪合方式等。
[0005] 在此种触摸屏中，例如存在有如静电电容方式那样，将在规定方向上延伸存在的 多个第1检测电极、在与其交叉的方向上延伸存在的第2检测电极加 W组合，配置于玻璃等 透明基板上的结构的触摸屏。运些检测电极分别利用电性连接的配线而引导至透明基板的 端部。在与检测电极连接的配线的另一个端部，形成有例如用W连接所述触摸屏的端子。
[0006] 而且，在静电电容方式中，例如如专利文献1所掲示那样，已知有在透明基板的其 中一个面上，在同一层配置第1检测电极与第2检测电极的结构。
[0007] 专利文献1中所记载的触摸屏的第1检测电极及第2检测电极分别包含:菱形形状 且面积大的多个电极垫，连接运些之间的比电极垫更窄的窄幅形状的连接部分。而且，第1 检测电极与第2检测电极在各个连接部分相互交叉，但在所述交叉部分配置有透光性的层 间绝缘膜。因此，专利文献1的触摸屏W如下方式而构成:第1检测电极与第2检测电极在各 个连接部分经由层间绝缘膜而重叠，W确保绝缘性。而且，运些第1检测电极及第2检测电极 分别利用电性连接的配线而引导至透明基板的端部。在与检测电极连接的配线的另一个端 部，形成有用W连接触摸屏的端子。
[000引现有技术文献
[0009] 专利文献
[0010] 专利文献1:日本专利特开2008-310551号公报
[0011] 专利文献2:国际公开第2006/025347号说明书
【发明内容】
[0012] 发明要解决的课题
[0013] 此种结构的触摸屏在绝缘性基板上包含检测电极、用W与所述检测电极电性连接 而将检测电极引导至基板端部的配线而构成。在触摸屏中，与各检测电极连接的配线并非 直接用W检出操作者的手指等的触碰操作的。也即，在触摸屏中，与各检测电极连接的配线 的形成区域成为在触碰操作及其检出中并不使用的区域。
[0014] 因此，在触摸屏中优选的是配线形成区域小而狭窄的。通过如上所述地使配线形 成区域狭小化，触摸屏可较大地设置操作者的手指等进行触摸而进行触碰操作的操作区 域。
[0015] 在触摸屏中，为了使配线形成区域狭小化，优选的是较细地形成与检测电极电性 连接的各配线。因此要求使用低电阻的材料而形成配线。在触摸屏中，与检测电极连接的配 线例如可设为使用铜等金属的金属配线，可实现低电阻化。
[0016] 然而，触摸屏在使用玻璃基板等作为基板的情况下，例如包含铜的金属配线与基 板之间的密接力低。触摸屏在操作者用手指实际接触、按压操作区域而使用的情况等时，要 求可耐变形的强度。总之，要求触摸屏并不产生配线等构成构件自基板剥离等不良。而且， 触摸屏为了抑制检测电极或配线的断线或剥离等不良，变得可长时间使用，要求具有高的 可靠性。
[0017] 在专利文献2中，由于在铜(化）中添加适宜的添加元素而成的铜合金，所述添加元 素形成氧化膜而成为覆膜，抑制化氧化，且形成与所述覆膜所邻接的绝缘层的界面，防止相 互扩散。由此提供高导电性、且与基板的密接性优异的铜配线。
[0018] 然而，存在如下问题:作为此种氧化膜的覆膜、与作为有机膜的W覆盖铜配线的方 式而设置的配线的保护膜之间的密接性低，来自外部的水分渗入，腐蚀铜配线。
[0019] 本发明是鉴于如上所述的课题而成的。也即，本发明的目的在于提供:具有金属配 线，由金属氧化膜所形成的金属配线的覆膜与作为覆盖所述金属配线的有机膜的硬化膜的 密接性良好，且具有高的可靠性的触摸屏。
[0020] 而且，本发明的目的在于提供用W形成覆盖触摸屏的金属配线且与所述金属配线 的密接性良好的硬化膜的感放射线性树脂组合物。
[0021] 而且，本发明的目的在于提供覆盖触摸屏的金属配线且与所述金属配线的密接性 良好的硬化膜。
[0022] 解决问题的技术手段
[0023] 本发明的第1实施方式设及一种触摸屏，其是包含金属配线与覆盖所述金属配线 的至少一部分的硬化膜的触摸屏，其特征在于：
[0024] 所述金属配线是包含铜、铜W外的第2金属元素的金属配线，
[0025] 所述硬化膜是使用感放射线性树脂组合物而形成的，所述感放射线性树脂组合物 含有(A)感光剂、W及(B)含有烷氧基娃烷基的化合物及所述化合物的水解缩合物的至少一 个。
[0026] 在本发明的第1实施方式中，优选的是是金属配线是含有包含铜的第1层、包含铜 W外的第2金属元素的氧化物且W覆盖所述第1层的至少一部分的方式而构成的第2层的金 属配线。
[0027] 在本发明的第1实施方式中，优选的是所述第2金属元素是选自由裡、错、锁、锡、 领、错、钦、憐、儘、儀、巧、儀、锋、娃、侣、被、嫁、铜、铁、铁、饥、钻、错及给所组成的群组的至 少一种。
[0028] 在本发明的第1实施方式中，优选的是所述第2金属元素是儘。
[0029] 在本发明的第1实施方式中，优选的是所述硬化膜是使用进一步含有(C)碱可溶性 树脂的感放射线性树脂组合物而形成的。
[0030] 在本发明的第1实施方式中，优选的是形成所述硬化膜的感放射线性树脂组合物 的（C)成分包含选自由具有簇基的丙締酸树脂、聚酷胺及聚硅氧烷所组成的群组的至少一 种。
[0031] 在本发明的第1实施方式中，优选的是所述硬化膜是使用进一步含有(D)抗氧化剂 的感放射线性树脂组合物而形成的。
[0032] 在本发明的第1实施方式中，优选的是所述硬化膜是使用进一步含有(F)作为包含 选自由娃、侣、错、铁、锋、铜、锡、錬、锁、领、姉及给所组成的群组的至少一种元素的氧化物 的无机氧化物粒子的感放射线性树脂组合物而形成的。
[0033] 在本发明的第1实施方式中，优选的是形成所述硬化膜的感放射线性树脂组合物 的(A)成分包含光酸产生物及光聚合引发剂的至少一个。
[0034] 在本发明的第1实施方式中，优选的是形成所述硬化膜的感放射线性树脂组合物 的(B)成分包含具有氨基、嵌段氨基、异氯酸醋基及嵌段异氯酸醋基的至少一种的化合物。
[0035] 本发明的第2实施方式设及一种感放射线性树脂组合物，其是含有(A)感光剂、W 及(B)含有烷氧基娃烷基的化合物及所述化合物的水解缩合物的至少一个而成的感放射线 性树脂组合物，其特征在于：
[0036] 用W形成触摸屏的硬化膜，所述触摸屏包含金属配线与覆盖所述金属配线的至少 一部分的所述硬化膜，所述金属配线含有包含铜的第1层、及包含铜W外的第2金属元素的 氧化物且W覆盖所述第1层的至少一部分的方式而构成的第2层。
[0037] 在本发明的第2实施方式中，优选的是进一步包含(C)碱可溶性树脂。
[0038] 在本发明的第2实施方式中，优选的是在包含(C)碱可溶性树脂的情况下，所述(C) 成分包含选自由具有簇基的丙締酸树脂、聚酷胺及聚硅氧烷所组成的群组的至少一种。
[0039] 在本发明的第2实施方式中，优选的是所述金属配线的第2层中所含的所述第2金 属元素的氧化物是选自由裡、错、锁、锡、领、错、钦、憐、儘、儀、巧、儀、锋、娃、侣、被、嫁、铜、 铁、铁、饥、钻、错及给所组成的群组的至少一种元素的氧化物。
[0040] 在本发明的第2实施方式中，优选的是进一步包含(D)抗氧化剂。
[0041] 在本发明的第2实施方式中，优选的是进一步包含化)多官能（甲基)丙締酸醋。
[0042] 在本发明的第2实施方式中，优选的是进一步包含(F)作为包含选自由娃、侣、错、 铁、锋、铜、锡、錬、锁、领、姉及给所组成的群组的至少一种元素的氧化物的无机氧化物粒 子。
[0043] 在本发明的第2实施方式中，优选的是(A)成分包含光酸产生物及光聚合引发剂的 至少一个。
[0044] 在本发明的第2实施方式中，优选的是(B)成分包含具有氨基、嵌段氨基、异氯酸醋 基及嵌段异氯酸醋基的至少一种的化合物。
[0045] 本发明的第3实施方式设及一种硬化膜，其是由感放射线性树脂组合物而形成的 硬化膜，所述感放射线性树脂组合物是含有(A)感光剂、W及(B)含有烷氧基娃烷基的化合 物及所述化合物的水解缩合物的至少一个而成的，其特征在于：
[0046] 用W覆盖包含金属配线的触摸屏的所述金属配线的至少一部分，所述金属配线含 有包含铜的第1层、与包含铜W外的第2金属元素的氧化物且W覆盖所述第1层的至少一部 分的方式而构成的第2层。
[0047]发明的效果
[004引根据本发明的第1实施方式而获得具有金属配线，由金属氧化膜所形成的金属配 线的覆膜与作为覆盖所述金属配线的有机膜的硬化膜的密接性良好，且具有高的可靠性的 触摸屏。
[0049] 根据本发明的第2实施方式而获得用W形成覆盖触摸屏的金属配线且与所述金属 配线的密接性良好的硬化膜的感放射线性树脂组合物。
[0050] 根据本发明的第3实施方式而获得覆盖触摸屏的金属配线且与所述金属配线的密 接性良好的硬化膜。
【附图说明】
[0051] 图1是表示本发明的第1实施形态的触摸屏的一例的平面图。
[0052] 图2是沿图1的B-B^线的剖面图。
[0053] 图3是示意性地表示本发明的第1实施形态的触摸屏所具有的配线的结构的一例 的剖面图。
[0054] 图4是表示为了形成触摸屏而在透明基板上所形成的配线、第1检测电极及第2检 测电极的平面图。
[0055] 图5是表示为了形成触摸屏而在透明基板上所形成的配线、第1检测电极、第2检测 电极、层间绝缘层及桥接配线的平面图。
【具体实施方式】
[0056] W下，使用附图而对本发明的实施形态加 W适宜说明。
[0057] 另外，在本发明中，曝光时所照射的"放射线"包含可见光线、紫外线、远紫外线、X 射线及带电粒子束等。
[0化引实施形态1.
[0化9] <触摸屏〉
[0060] 本发明的实施形态的触摸屏是包含金属配线与覆盖所述金属配线的至少一部分 的硬化膜的触摸屏。也即，本实施形态的触摸屏在基板上包含用W检出操作者的手指等的 触碰操作的检测电极。而且，本实施形态的触摸屏包含与检测电极电性连接的配线，所述配 线是使用金属材料而形成的金属配线。在本实施形态的触摸屏中，与检测电极连接的配线 包含用W将检测电极引导至触摸屏的基板的端部的配线，而且包含用W将断开的检测电极 的部分彼此连接的配线。另外，本实施形态的触摸屏包含覆盖金属配线的至少一部分的硬 化膜。
[0061] 本实施形态的触摸屏可作为静电电容方式的触摸屏。
[0062] 图1是表示本发明的实施形态的触摸屏的一例的平面图。
[0063] 图2是沿图1的B-B^线的剖面图。
[0064] 如图1所示，本实施形态的触摸屏21在透明基板22的表面包含:在X方向上延伸存 在的第1检测电极23、在与X方向正交的Y方向上延伸存在的第2检测电极24。
[0065] 透明基板22可设为玻璃基板。而且，透明基板22可设为树脂基板，在运种情况下， 可使用聚对苯二甲酸乙二醋膜、聚对苯二甲酸下二醋膜、聚乙締膜、聚丙締膜、聚酸讽膜、聚 碳酸醋膜、聚丙締酸膜、聚氯乙締膜、聚酷亚胺膜、环状締控的开环聚合物膜及包含其氨化 物的膜等。作为透明基板22的厚度，在玻璃基板的情况下，可设为0.1mm~3mm。在树脂基板 的情况下，可设为10皿~3000皿。
[0066] 第1检测电极23及第2检测电极24分别配置多个。而且，第1检测电极23及第2检测 电极24在触摸屏21的操作区域配置为矩阵状。第1检测电极23用W检出操作者的触碰位置 的Y方向的座标。第2检测电极2 4用W检出操作者的触碰位置的X方向的座标。第1检测电极 23与第2检测电极24设于透明基板22的同一面的同一层上。另外，第1检测电极23及第2检测 电极24的数量并不限于图1的例子，优选的是根据操作区域的大小与所需的触碰位置的检 出精度而决定。也即，可使用更多数量或更少数量的第1检测电极23及第2检测电极24而构 成触摸屏21。
[0067] 如图1所示，第1检测电极23及第2检测电极24分别包含菱形形状的多个电极垫30。 第1检测电极23与第2检测电极24 W第1检测电极23的电极垫30与其所邻接的第2检测电极 24的电极垫30隔开的方式进行配置。此时，运些电极垫30之间的间隙设为可确保绝缘性的 程度的极小间隙。
[0068] 而且，第1检测电极23与第2检测电极24W相互交叉的部分尽可能小的方式进行配 置。而且，使构成第1检测电极23及第2检测电极24的电极垫30配置于触摸屏21的操作区域 的整体。
[0069] 如图1所示，电极垫30可设为菱形形状，但并不限于此种形状，例如可设为六边形 等多边形形状。
[0070] 优选的是第1检测电极23及第2检测电极24分别为透明电极。此处，所谓透明电极 是对于可见光而言具有高的透射性的电极。第1检测电极23及第2检测电极24可使用包含 ITO的电极、包含氧化铜与氧化锋的电极等包含透明导电材料的电极。在第1检测电极23及 第2检测电极24分别包含ITO的情况下，为了确保充分的导电性，优选的是将运些的厚度设 为 IOnm ~IOOnm。
[0071] 第1检测电极23及第2检测电极24的形成可使用公知的方法而进行，例如可通过如 下方式而进行:使用瓣锻法等而形成包含ITO等透明导电材料的膜，利用光刻法等而进行图 案化。
[0072] 如图1及图2所示，第1检测电极23及第2检测电极24形成于透明基板22的同一面 上，成为同一层。因此，第1检测电极23与第2检测电极24在操作区域中，在多个部位交叉，形 成交叉部28。
[0073] 在本实施形态的触摸屏21中，如图2所示，在交叉部28中，W第1检测电极23及第2 检测电极24的任意一个与另一个并不接触的方式进行断开。也即，在交叉部28中，连接第1 检测电极23,但断开地形成在图2的左右方向伸展的第2检测电极24。而且，为了电性连接第 2检测电极24的中断的部位，设有桥接配线32。在桥接配线32与第1检测电极23之间设有包 含绝缘性物质的层间绝缘膜29。
[0074] 如图2所示，在交叉部28中，设于第1检测电极23上的层间绝缘膜29由透光性优异 的材料而形成。可使用印刷法而涂布聚硅氧烷、丙締酸系树脂、及丙締酸系单体等，在必要 的情况下进行图案化之后，使其加热硬化而形成层间绝缘膜29。在使用聚硅氧烷而形成的 情况下，层间绝缘膜29成为包含氧化娃(Si〇2)的无机绝缘层。而且，在使用丙締酸系树脂、 及丙締酸系单体的情况下，层间绝缘膜29成为包含树脂的有机绝缘层。在层间绝缘膜29中 使用Si化的情况下，例如也可利用使用掩模的瓣锻法，仅仅在交叉部28的第1检测电极23上 形成Si化膜，构成层间绝缘膜29。
[0075] 在层间绝缘膜29的上层设有桥接配线32。桥接配线32可如上所述地实现将在交叉 部28被中断的第2检测电极24彼此电性连接的功能。桥接配线32优选的是由ITO等透光性优 异的材料而形成。而且，桥接配线32也可使用电阻特性优异的金属材料而构成，成为金属配 线。桥接配线32可通过设为电阻特性优异的金属配线而使线宽变细，对于触摸屏21的操作 者而言可变得难W显眼。在触摸屏21中，通过设置桥接配线32,可在Y方向上电性连接第2检 测电极24。
[0076] 如图2所示，第1检测电极23及第2检测电极24如上所述地具有纵或横地排列有多 个菱形的电极垫30的形状。在第1检测电极23中，位于交叉部28的连接部分成为比第1检测 电极23的菱形的电极垫30的宽度更窄的形状。而且，桥接配线32也是比菱形的电极垫30的 宽度更窄的形状，形成为短条状。
[0077] 在触摸屏21的第1检测电极23与第2检测电极24的端部分别设有端子(未图示），自 所述端子分别导出配线31。
[0078] 图3是示意性地表示本发明的第1实施形态的触摸屏所具有的配线的结构的剖面 图。
[0079] 在本发明的第1实施形态的触摸屏21中，配线31是金属配线。而且，配线31优选的 是包含铜、铜W外的第2金属元素的金属配线。而且，所述第2金属元素优选的是选自由裡、 错、锁、锡、领、错、钦、憐、儘、儀、巧、儀、锋、娃、侣、被、嫁、铜、