头堆叠组件制造装置的制造方法
【专利摘要】本发明提供头堆叠组件制造装置，并提出通过粘贴相对于组装于E块后的副悬架安装滑块的工序。然而，在相对于已经组装于E块的副悬架安装滑块的工序中，由于在HGA单体上搭载滑块时经由粘接物施加于HGA单体的搭载方向的力，难以配置使HGA挠曲缓和的固定的座。本发明所涉及的头堆叠组件制造装置，是在由具有载荷弯曲部而由头堆叠组件的E块支撑的板状的承载梁进行姿势控制的挠性件的搭载面上搭载滑块的头堆叠组件制造装置，其特征在于：具有通过滑块搭载时的搭载方向的力缓和HGA挠曲的承载梁支撑部。通过该特征，能够促进粘接物的破坏，缩短搭载时间。
【专利说明】
头堆叠组件制造装置
技术领域
[0001]本发明涉及头堆叠组件的制造装置。更详细地说，涉及具备多个对硬盘等记录介质进行磁记录的写入以及读出的被称为头的装置的头堆叠组件(Head Stack Assembly)的制造装置。
【背景技术】
[0002]在现今的高记录密度化发展的所谓硬盘装置中，在硬盘的记录密度的提高和伴随硬盘搭载块数的增加的薄层化发展的同时，用于对该硬盘进行记录的写入等的头的小型化也正在发展。另外，如专利文献I所例示，通过在单一硬盘装置内配置多块硬盘而实现存储容量的增大化的结构也得到了普及。在该情况下，采用多个头一体化了的头堆叠组件(以下称为HSA)，其能够相对于该多块硬盘的记录面分别配置头。
[0003]头本身包括被称作滑块的部件，该滑块中组装入有电磁变换元件。连接有布线等的该滑块由被称为挠性件的具有弹性的薄板状的部件的前端部支撑。该挠性件还由金属制的被称为承载梁(load beam)的部件支撑，这些挠性件、承载梁等，合起来称为副悬架，包括滑块等在内构成头折片组合(以后称为HGA，Head Gimbal Assembly)。在这里，如专利文献2所例示，在该副悬架配置有被称为载荷弯曲部的被弯折为预定角度的部分。为了相对于高速旋转的硬盘的表面维持预定的高度而保持滑块，该载荷弯曲部的存在是必须的。但是，以往在形成有该载荷弯曲部的副悬架上的预定位置固定滑块，所以如专利文献3所示，需要将弯曲部暂时强制地回归水平等的工序。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2007 —164968号公报
[0007]专利文献2:日本特开2004 — 082161号公报
[0008]专利文献3:日本特开2002 — 015534号公报
【发明内容】
[0009 ]上述的HGA，在与滑块固定的一侧相反的端部连接于被称为E块的刚体，该刚体围绕与HGA大致延伸的方向垂直的轴而旋转。以往，通过制造该HGA单体然后将它们相对于E块安装，由此将用于磁记录读取等的上述HAS组装为一体部件。但是，在该工序的情况下，在向挠性件安装滑块之后HGA要经历各种工序，由此在该过程中滑块在电或者物理方面破损的可能性升高。另外，对于在HSA完成后发现了缺陷的HGA，需要在从E块将其取下后在该HGA的位置组装正常的HGA，但是，当然该操作也有可能使新HGA或者组装完毕的HGA受到损伤等。
[0010]因此，提出了通过粘接将滑块相对于组装于E块后的副悬架安装的工序。然而，在将滑块相对于已经组装于E块的副悬架安装的工序中，由于在HGA单体上搭载滑块时经由粘接物施加于HGA单体的搭载方向的力，难以配置使HGA挠曲缓和的固定的座。
[0011]本发明是鉴于以上的状况而完成的，其目的在于提供头堆叠组件的制造装置，在相对于被固定于E块的副悬架安装滑块的工序中，在滑块搭载时能够一边缩短将粘接物压坏而将该粘接物压坏到预定厚度的时间一边避免与在与搭载方向的力相同方向上对向的副悬架接触一边搭载。
[0012]为了解决上述课题，本发明所涉及的头堆叠组件制造装置，是将滑块搭载于挠性件的搭载面的头堆叠组件制造装置，该挠性件由具有载荷弯曲部并被支撑于头堆叠组件的E块的板状的承载梁进行姿势控制，该头堆叠组件制造装置的特征在于:具有使HGA由于在滑块搭载时施加的搭载方向的力而挠曲的情况缓和的承载梁支撑部。通过该特征，能够促进粘接物的破坏并缩短搭载时间。
[0013]另外，在上述的头堆叠组件制造装置中，优选:具有载荷弯曲校正部，该载荷弯曲校正部对由承载梁的载荷弯曲部构成的挠性件的滑块载置面进行校正使得其配置于能够合适地载置滑块的搭载预定面内。
[0014]另外，在上述的头堆叠组件制造装置中，优选:具有挠性件姿势检测单元，该挠性件姿势检测单元检测被支撑于由载荷弯曲校正部按压的承载梁支撑的挠性件的姿势。或者，在该头堆叠组件制造装置中，优选，具有:检测由载荷弯曲校正部按压的承载梁的姿势的挠性件姿势检测单元;和能够使按压承载梁而使挠性件的位置变化的载荷弯曲校正部与承载梁支撑部的相对位置变化的相对位置变更单元，以承载梁支撑部与承载梁的相对位置始终保持为一定量的状态搭载。
[0015]优选，载荷弯曲校正部由相对位置变更单元执行按压。另外，优选:挠性件姿势检测单元具有:具有与搭载预定面平行的拍摄光轴的横向拍摄单元;和对由横向拍摄单元得到的图像进行分析的图像分析单元，在检测挠性件的姿势时，相对位置变更单元使挠性件移动到横向拍摄单元的拍摄区域。
[0016]或者，在上述的头堆叠组件制造装置中，优选:具有对为了求出搭载面的位置而设置于挠性件的基准标记进行拍摄的基准标记拍摄单元，基准标记拍摄单元，在挠性件姿势检测单元检测到了挠性件配置于搭载预定面内的情况下，执行基准标记的拍摄。或者，在上述的头堆叠组件制造装置中，优选:具有保持滑块而将滑块安装到挠性件的滑块安装头，滑块安装头，在挠性件姿势检测单元检测到了挠性件配置于搭载预定面内的情况下，执行滑块的载置。
[0017]或者，在上述的头堆叠组件制造装置中，更优选:具有能够保持滑块而将滑块载置到挠性件的滑块搭载预定面上的滑块安装头，滑块安装头，在挠性件姿势检测单元检测到了挠性件配置于搭载预定面内的情况下，执行滑块向基于基准标记算出的搭载位置的载置。
[0018]另外，在上述的头堆叠组件制造装置中，更优选，具有:承载梁支撑部，通过载荷弯曲校正部而与承载梁的一部分接合并向与载荷弯曲部的弯曲方向相反方向按压承载梁而将挠性件保持于搭载预定面内；和
[0019]相对位置变更单元，能够使按压承载梁以及挠性件而使位置变化的载荷弯曲校正部与所述承载梁支撑部的相对位置变化；
[0020]载荷弯曲校正部通过相对位置变更单元执行所述按压。
[0021 ]或者，在上述的头堆叠组件制造装置中，更优选:承载梁支撑部具有与搭载预定面平行地配置并与承载梁直接抵接的支撑部件，支撑部件支撑承载梁面内的比载荷弯曲部靠前端方向。
[0022]或者，为了解决上述问题，本发明所涉及的头堆叠组件制造装置，其将滑块搭载于柔性板的搭载面，该柔性板由具有载荷弯曲部并被支撑于头堆叠组件的E块的板状的承载梁进行姿势控制，该头堆叠组件制造装置的特征在于，具有能够使承载梁支撑部与载荷弯曲校正部的相对位置变化的相对位置变更单元，该承载梁支撑部在滑块搭载时承受经由粘接物施加的力，该载荷弯曲校正部与承载梁的一部分接合并按压载荷弯曲部而能够将挠性件保持于搭载预定面内，以承载梁支撑部与承载梁抵接的部位的相对位置始终保持为一定量的状态执行滑块的载置。
[0023]另外，在上述的头堆叠组件制造装置中，优选:承载梁支撑部具有与搭载预定面平行地配置并与承载梁直接抵接的支撑部件，支撑部件配置于下述部位，该部位与载荷弯曲部相比处于靠前端方向，并且在该支撑部件配置于于该部位时，凹陷在滑块的载置执行期间不会因滑块与承载梁支撑部的夹入而损伤。
[0024]根据本发明，能够相对于被固定于E块的副悬架分别缩短搭载时间地搭载滑块。
【附图说明】
[0025]图1A以及IB是示意性地表示本发明的HSA制造装置成为对象的组件以及HSA制造装置的主要动作的侧面图。
[0026]图2是分别示意性地表示本发明的第一实施方式所涉及的HSA制造方法的各工序的图。
[0027]图3是示意性地表示本发明的一个实施方式所涉及的HSA制造装置的概略构成的图。
[0028]附图标记说明
[0029]11:挠性件，12:承载梁，12a:凹陷，12b:翼片(tab)，13:滑块，14:校正部件，15:反射镜，16:副悬架，17:相机，19:下面相机，21:卡盘，22:粘接物，23:拍摄光，25:拍摄区域，26:搭载预定面所成的线，28:延伸线，31:第一基准标记，33:第二基准标记，35:E块，41:侧面相机，42:载荷弯曲校正部，45:滑块托盘，47:托盘供给部，49:托盘排出部，51:滑块安装头，53、55:托盘输送部，57:滑块供给部，59:树脂涂敷部，61:托盘台，63:反射镜部，65:支撑部件，67:承载梁支撑部
【具体实施方式】
[0030]以下，基于附图所示的实施方式对本发明进行说明。另外，上下左右等位置关系是相对的没有特别限定，在以下的说明中，基于附图的上下左右进行说明。进一步，附图的尺寸比率并不限定于图示的比率。另外，以下的实施方式是用于说明本发明的例示，本发明并不仅限定于该实施方式。
[0031]在进行本发明的说明时，先对实际搭载有滑块的状态下的设为本发明的对象的承载梁与挠性件的位置关系进行叙述。另外，本发明以下述部件为对象:形成有载荷弯曲部且由E块支撑的承载梁;和由配置于该承载梁的凹陷进行姿势控制的挠性件。本发明所涉及的HSA制造装置的目的在于在该挠性件的搭载面上搭载滑块。
[0032]图1A以及IB示意性地表示在HAS中相向配置的一组HGA的制造工序中、从侧方观察滑块搭载前的承载梁以及挠性件的状态。承载梁12由具有弹性的薄板状的金属制成。另外，具有由向一个平面侧突出的球面构成的凹陷12a。挠性件11部分地固定于承载梁12，在凹陷12a附近分离，通过该凹陷12a以预定的角度从承载梁12分离。如后述那样将滑块通过该挠性件11以及承载梁12构成副悬架16。
[0033]在设为本发明的对象的HAS中，以使得安装于挠性件11的滑块相向的方式，HGASP副悬架16成对地配置。如图1A所示，一对挠性件11配置成互相的距离随着靠近前端部而接近。另外，如上所述，在承载梁12组装入有未图示的载荷弯曲部，使得由未图示的E块支撑的该副悬架16相对于抵接的面所成的延伸线向挠性件11的安装侧弯曲。因此，图示的一对承载梁12各自的承载梁的延伸线28，其距离随着接近翼片12b而接近。
[0034]以下参照附图对能够一边维持以上的位置关系一边在挠性件11上安装滑块13(参照图2)的本发明的一个实施方式进行说明。通常为了在挠性件11上搭载并固定滑块13，要通过粘接来进行。因此，在挠性件11的上的滑块13搭载位置配置粘接物22。副悬架16由于滑块13经由粘接物22施加的力而挠曲。在本发明中，其目的在于针对处于该状态的挠性件11搭载滑块13，如作为课题所述那样，不但由于经由该粘接物22进行粘贴而使搭载时间由于粘接物22到破坏为止的时间而延长，而且由于滑块13的搭载动作，经由粘接物22—方的副悬架16很有可能向与搭载方向的力相同方向挠曲并同在与搭载方向的力相同方向上相向的另一方的副悬架16接触而损坏。在本发明中，使用抵接于承载梁12的支撑部件65来抑制该挠曲。
[0035]在本实施方式中，作为支撑部件65使用厚度0.3mm的板材。如图1A所示，将该支撑部件65沿承载梁12的挠曲方向配置。从该状态起进一步如图1B所示，沿抑制挠曲的图中箭头方向，支撑部件65与承载梁12接近至相距预定量。由此，副悬架16由于卡盘21所保持的滑块13经由粘接物22而施加的搭载方向的力而挠曲并抵接于支撑部件65，从而该副悬架16的挠曲被缓和由此促进了粘接物22的破坏，能够缩短搭载时间，通过支撑部件65消除了一方的副悬架16挠曲并同沿所施加的力的方向相向的另一方的副悬架16直接接触的情况，能够抑制损坏。另外，该支撑部件65是直接抵接于承载梁12的部件，构成后述的承载梁支撑部67的一部分。
[0036]另外，在本实施方式中，其目的在于制造例如在使承载梁的延伸线28与E块的副悬架16抵接的面所成的延伸线平行的情况下相向的滑块的间隔为0.6mm前后的HAS，所以作为能够进入该间隔的支撑部件65使用厚度薄的板状，但其形状并不限定于此。只要满足进入相向的承载梁12之间且支撑承载梁12这一条件，就可以设为各种形状。另外，支撑部件65沿与纸面即包含相向的承载梁的延伸线28的平面垂直的方向延伸，由此使支撑部件65的配置空间紧凑。即，在本实施方式中，支撑部件65配置成与滑块的向固定夹具搭载的搭载预定面平行。但是，只要能够对承载梁12的挠曲进行支撑，延伸方向等就可以设为各种角度。进一步，也可以设为从前端部起沿着承载梁的延伸线28配置支撑部件65并使支撑部件65沿着承载梁的延伸线28进退的方式。
[0037]另外，在本实施方式中，作为支撑部件65支撑的承载梁12的部位，支撑比载荷弯曲部靠前端方向的位置。但是，只要能够抑制承载梁12由于按压而挠曲、并抑制与在载置执行期间施加的力的方向相向的副悬架16的损坏，支撑部件65的支撑位置就不限定于此。也可以用支撑部件65支撑例如比载荷弯曲部靠后端方向的位置。高效地优选，在凹陷12a的附近且在与向承载梁12施加的力的方向相反一侧的区域由支撑部件65进行支撑，使得不向凹陷12a付与负荷。
[0038]接下来，参照图2对由具有以上所述的支撑部件65的HSA制造装置进行的滑块13向挠性件11的安装工序进行说明。另外，图2以与图1A以及IB同样的样式示意性地表示安装工序的各阶段中的诸多构成的位置关系等。首先在步骤I中，调整侧面相机41(参照图3)与承载梁12等的相对位置使得成为滑块13的搭载对象的挠性件11以及承载梁12配置于拍摄区域25内。调整后，侧面相机41对拍摄区域25内的构成进行拍摄。拍摄结果被进行图像分析，检测搭载预定面所成的线26与承载梁12的延伸线28的角度Θ即载荷弯曲角度或者挠性件11的延伸方向与搭载预定面所成的线26所成的角。同时，求出互相相对的一对挠性件11之间的间隔、以及滑块安装对象侧的承载梁12的翼片12b的配置，算出校正部件14的插入位置。
[0039]在步骤2中，使保持滑块安装前的HAS的台部61(参照图3)与校正部件14的相对位置变化，使得校正部件14位于在步骤I中算出的插入位置。通过该操作，校正部件14如图中步骤2所示那样配置于接近翼片12b上方的位置。然后，台部61与校正部件14进一步使相对位置变化，使校正部件14在抵接于翼片12后按压该翼片12b，使得未图示的载荷弯曲部与由E块支撑的副悬架16抵接的面所成的延伸线平行(图中箭头所示的下方向)。该按压操作，如步骤3所示持续到挠性件11上的滑块搭载面与延伸线26平行或者一致为止。作为具体的操作，例如通过图像求出包括滑块搭载面的挠性件11的前端部及其附近的从承载梁12分离的部分的延伸方向，检测该方向是否与延伸线26平行等。但是，只要能够检测挠性件11上的滑块13搭载面是否处于与延伸线26平行姿势，则检测样式并不限定于此。另外，该是否一致等的检测，通过由侧面相机41连续地进行针对拍摄区域25的图像处理而执行。在本发明中，侧面相机41作为具有与搭载预定面平行的拍摄光轴的侧面拍摄单元而起作用。另外，上述的检测等，通过采用利用对由侧面拍摄单元得到的图像进行分析的未图示的图像分析单元的公知的图像分析法而执行，由此成为步骤3的状态。
[0040]在步骤4中，采用针对通过与步骤2同样的方式拍摄到的拍摄区域25的图像处理或针对步骤2中拍摄到的拍摄区域25的图像处理而算出撑部件65与承载梁12的相对位置，将相对距离设为0.3mm，台部61(参照图3)与支撑部件65使相对位置进一步变化。
[0041]在步骤5中，在挠性件11上存在用于得到用于算出滑块13的搭载位置的至少二个基准点的基准标记。在本实施方式中，作为用于这二个基准点算出的第一基准标记31以及第二基准标记33，设有二个孔。基准点是为了算出滑块13的搭载位置而使用的。即，只要能够确定在将挠性件11的搭载面设为平面坐标系的情况下的、平面坐标上的XY值和作为相对于坐标系的倾斜角的Θ值即可，不用管形成基准点的基准标记的形状和/或数量。通过步骤3所示的挠性件11前端部附近与延伸线26平行，由此基准标记也与搭载位置一起在平行面上排成列。由此，在对基准标记进行拍摄时，不需要考虑由挠性件11的倾斜等引起的各个基准标记的应变和/或焦点错位。由下方相机19(参照图3)对滑块搭载面上的该第一基准标记31以及该第二基准标记33进行拍摄。基于拍摄到的图像中的这些基准标记，算出滑块13在挠性件11上的搭载位置。另外，在本发明中，下方相机19构成为了求出搭载面的位置而对设置于副悬架16的基准标记进行拍摄的基准标记拍摄单元。基准标记拍摄单元，在经由侧面相机41等检测到了挠性件11配置于搭载预定面内的情况下，执行该基准标记的拍摄。以使得由此求出的挠性件11上的搭载面与滑块13能够粘接的方式，由树脂涂敷部59(参照图3)供给有树脂等粘接物22。
[0042]在步骤6中，向搭载位置输送由卡盘21保持的滑块13。
[0043]在步骤7中，由树脂涂敷部59供给到该搭载位置的粘接物22抵接于由卡盘21保持的滑块13，使副悬架16要向与搭载方向的力相同方向的挠曲。此时，支撑部65抵接于构成副悬架16的承载梁12，从而阻碍副悬架16挠曲。由此，能够促进粘接物22破坏并缩短搭载时间，即使一方的副悬架16要隔着支撑部件65同在该力的方向上相向的另一方的副悬架16接触，由于支撑部件65也不能直接接触，所以能够抑制在与搭载方向的力相同方向上对应的一方的副悬架16损坏。然后，滑块13相对于挠性件11上的搭载位置抵接，然后卡盘21将滑块13释放。通过以上的操作，滑块13的安装工序结束。
[0044]通过使用以上所述的作为本发明的一个实施方式的HSA制造装置，能够在针对E块的承载梁和/或挠性件等的安装结束后高效地搭载滑块。由此，能够在E块安装后进行滑块13的安装工序，也能够减少在滑块实际安装后对挠性件进行处理的工序。其结果，消除了在挠性件的处理时可能产生的对滑块的损伤负荷，有望提升HSA的制造效率。另外，在最终检查阶段被认定为不良的滑块单体的拆除以及新滑块的实际安装也可以由本装置来对应，有望提升HSA状态下的再生率。另外，在图2中相向的副悬架16等省略表不，但在实际的工序中它们是存在的，当然不用说卡盘21等也是能够进入相向的副悬架16间而进行该安装工序的构造。
[0045]对以上所述的本发明的主要构成进行总结。另外，承载梁12具有向作为载荷弯曲方向而定义的特定方向的弯曲(载荷弯曲部)。载荷弯曲校正部42由校正部件14与未图示的驱动部等构成，并与作为承载梁12的一部分的翼片12b卡合而按压承载梁12。由此，挠性件11被保持于搭载预定面。相对于搭载预定面，沿滑块13搭载时的副悬架16的挠曲方向配置有支撑部件65。由此，副悬架16的挠曲得到抑制。承载梁支撑部67，由支撑部件65与未图示的驱动部构成，设为对副悬架16的挠曲进行抑制的构成而定义。另外，挠性件姿势检测单元构成为包括侧面相机41和进行图像分析的未图示的控制装置，并检测由承载梁支撑的挠性件的姿势。
[0046]接下来，对包括这些构成的HSA制造装置的具体构成进行说明。图3是示意性地表示包括在前面的实施方式中叙述了的支撑部65的HSA制造装置的平面图。另外，在本实施例中，设为通过能够插入相向的挠性件11间的反射镜和具有沿着图2等所示的延伸线的光轴的相机对上述的二个基准标记进行拍摄。在该情况下，在图2的步骤5中，在挠性件11之间插入有该反射镜15，相机17经由该反射镜15拍摄第一基准标记31以及第二基准标记33。通过设为该方式，即使在例如图1A以及IB所示的副悬架16的对具有多个的情况下，也能够容易地算出各自的搭载位置。
[0047]本发明的一个实施方式所涉及的HSA制造装置100具有相机17、下方相机19、侧面相机41、载荷弯曲校正部42、承载梁支撑部67、托盘供给部47、托盘排出部49、滑块安装头51、滑块供给部57、树脂涂敷部59、托盘台61、反射镜部63以及托盘输送部53、55。承载梁支撑部67能够与托盘台61等联动而进行XYZ方向的相对变更，支撑上述支撑部件65。另外，承载梁支撑部67也能够独立进行XYZ方向的位置变更。支撑部件65通过与该托盘台61等的联动而执行上述图2中的各步骤中的动作。即，驱动承载梁支撑部67的构成与驱动托盘台61的构成一起构成能够使按压承载梁12以及挠性件11而使位置变化的该校正部件14与支撑部件65的相对位置变化的相对位置变更单元。另外，该相对位置变更单元可以由公知的XYZ的驱动机构构筑。另外，也可以不由驱动承载梁支撑部67的构成与驱动托盘台61等的构成这两者构成相对位置变更单元，而仅由它们中的一方构筑相对位置变更单元。
[0048]反射镜部63具备上述的相机17与反射镜15，形成为规定了拍摄光轴与反射镜的位置关系以及相机17的拍摄光轴方向的反射镜15与相机17的距离的一体构造。在侧面相机41拍摄上述拍摄区域25的本实施方式中，下方相机19检测滑块13的由卡盘21把持的把持姿势。向托盘供给部47供给载置有多个在E块35上固定有副悬架16的滑块安装前HAS的托架。该托架经托盘输送部55而载置于托盘台61。此时，由树脂涂敷部59在挠性件11上的滑块13的大致固定位置进行树脂的涂敷。
[0049]滑块供给部57供给被载置于滑块托盘45上的安装预定的滑块13。滑块安装头51具有上述卡盘21。该滑块13在被从滑块供给部57上拆下后，暂时放置于暂时放置台上并由卡盘21把持。托盘台61上的滑块13安装前HAS由托盘台61移动，进行由侧面相机41进行的搭载预定位置检测、以及由反射镜部63进行的基于基准标记31、33的基准点的检测。同时由下方相机19检测由卡盘21把持的滑块13的把持姿势等。然后，滑块13相对于挠性件11的安装由卡盘21来执行。在滑块13安装到了所有挠性件11上后，HAS被经由托盘输送部53向托盘排出部49输送。由托盘排出部49带着托架输送的各HAS被向之后的检查工序等输送。
[0050]通过使用以上的HSA制造装置，相对于隔着微小的间隔而配置的多个副悬架16的各个，能够一边缩短实际安装时间且抑制副悬架16的损坏，一边高效地搭载滑块13。另外，这里例示的HSA制造装置中的支撑部件65与滑块安装前的挠性件11的相对位置的变化以及包含与其检测有关的侧面相机的机构移动，只要可得到驱动范围与必要停止精度，就能够使用公知的滑块驱动装置、电动机等各种驱动装置。
[0051]通过配置以上的构成，也可以得到能够一边避免同在与搭载方向的力相同方向上相向的副悬架接触一边搭载滑块的继发效应。或者，能够消除在挠性件的处理时有可能产生的向滑块的损伤负荷。
[0052]如上所述，本发明作为所谓头的制造装置是高效的。但是，只要是由粘接物相对保持Imm左右的窄间隔而配置的板状的部件进行粘接的工序，便可以适用本装置等。
【主权项】
1.一种头堆叠组件制造装置，其将滑块搭载于挠性件的搭载面，该挠性件被支撑于具有载荷弯曲部并被支撑于头堆叠组件的E块的板状的承载梁，该头堆叠组件制造装置的特征在于: 具有使滑块搭载时的搭载方向的力缓和的承载梁支撑部。2.根据权利要求1所述的头堆叠组件制造装置，其特征在于: 具有载荷弯曲校正部， 该载荷弯曲校正部能够以使得所述承载梁支撑部与所述承载梁的相对位置始终为一定量的方式按压所述承载梁而将所述挠性件保持于搭载预定面内。3.根据权利要求2所述的头堆叠组件制造装置，其特征在于: 具有挠性件姿势检测单元， 该挠性件姿势检测单元检测被支撑于由所述载荷弯曲校正部按压的所述承载梁的所述挠性件的姿势。4.根据权利要求3所述的头堆叠组件制造装置，其特征在于: 具有相对位置变更单元， 该相对位置变更单元能够使按压所述承载梁以及所述挠性件而使位置变化的所述载荷弯曲校正部与所述承载梁支撑部的相对位置变化； 所述载荷弯曲校正部通过所述相对位置变更单元执行所述按压，使得所述承载梁支撑部与所述承载梁的相对位置始终为一定量。5.根据权利要求4所述的头堆叠组件制造装置，其特征在于: 所述挠性件姿势检测单元具有:具有与所述搭载预定面平行的拍摄光轴的横向拍摄单元;和对由所述横向拍摄单元得到的图像进行分析的图像分析单元， 在检测所述挠性件的姿势时，所述相对位置变更单元使得所述挠性件移动到所述横向拍摄单元的拍摄区域。6.根据权利要求3所述的头堆叠组件制造装置，其特征在于: 具有对为了求出所述搭载面的位置而设置于所述挠性件的基准标记进行拍摄的基准标记拍摄单元， 所述基准标记拍摄单元，在所述挠性件姿势检测单元检测到了所述挠性件配置于所述搭载预定面内的情况下，执行所述基准标记的拍摄。7.根据权利要求3所述的头堆叠组件制造装置，其特征在于: 具有能够保持所述滑块而将所述滑块载置到所述挠性件的滑块搭载面上的滑块安装头， 所述滑块安装头，在所述挠性件姿势检测单元检测到了所述挠性件配置于所述搭载预定面内的情况下，执行所述滑块的载置。8.根据权利要求6所述的头堆叠组件制造装置，其特征在于: 具有能够保持所述滑块而将所述滑块载置到所述挠性件的滑块搭载预定面上的滑块安装头， 所述滑块安装头，在所述挠性件姿势检测单元检测到了所述挠性件配置于所述搭载预定面内的情况下，执行所述滑块向基于所述基准标记算出的搭载位置的载置。9.根据权利要求2所述的头堆叠组件制造装置，其特征在于: 具有能够使所述载荷弯曲校正部与所述承载梁支撑部的相对位置变化的相对位置变更单元， 所述载荷弯曲校正部通过所述相对位置变更单元执行按压。10.根据权利要求1所述的头堆叠组件制造装置，其特征在于: 所述承载梁支撑部具有与配置于所述搭载预定面的所述承载梁直接抵接的支撑部件； 所述支撑部件支撑所述承载梁面内的比所述载荷弯曲部靠前端方向的部位。11.一种头堆叠组件制造装置，其将滑块搭载于挠性件的搭载面，该挠性件由具有载荷弯曲部并被支撑于头堆叠组件的E块的板状的承载梁进行姿势控制，该头堆叠组件制造装置的特征在于，具有: 承载梁支撑部，与所述承载梁的一部分接合并向与所述载荷弯曲部的弯曲方向相反的方向被所述承载梁按压，并在搭载预定面内支撑所述挠性件;和 相对位置变更单元，能够使按压所述承载梁而使所述挠性件的位置变化的所述载荷弯曲校正部与所述承载梁支撑部的相对位置变化， 所述承载梁支撑部通过所述相对位置变更单元，使得所述承载梁支撑部与所述承载梁的相对位置始终为一定量。12.根据权利要求11所述的头堆叠组件制造装置，其特征在于: 所述承载梁支撑部具有与所述搭载预定面平行地配置并与所述承载梁直接抵接的支撑部件，所述支撑部件配置于下述部位，该部位与所述载荷弯曲部相比处于靠前端方向，并且在所述支撑部件配置于该部位时，凹陷在所述滑块的载置执行期间不会因所述滑块与所述承载梁支撑部的夹入而损伤。
【文档编号】G11B5/48GK105913858SQ201610091516
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年2月18日
【发明人】川岛崇, 水野亨, 铃木英利, 早见健, 早见健一
【申请人】Tdk株式会社