专利名称：阵列微片激光器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及激光领域，尤其涉及采用半导体激光阵列作为泵浦源，或单一大功率泵浦分解为多个泵浦源，或光纤束泵浦或其他泵浦方式，由微片或其他微型腔构成的阵列微片激光器。
技术背景在半导体泵浦激光器中，通常方式是将半导体阵列激光器通过侧面或端面泵浦方式对单一激光谐振腔进行泵浦，从而获得高功率激光输出。这种方式通常存在问题是系统体积较大，结构较复杂。
在美国专利UL5,115,445；UL5,256,164；UL5,403,437中提出另一种用LD阵列泵浦一组粘在一个基片上的微片激光器设想，如图1所示的微片激光器包括阵列LD101和阵列微片式腔内倍频激光器102，该微片激光器均为超短腔微片激光器，它要求的激光腔纵模间隔大于激光增益介质增益宽度，以获得每个微片单纵模，显然这样要求每片只能产生较低功率的激光输出。在美国专利UL5,256,164提出以此产生高功率器件，但它所给出结构在实际上并不易获得较高功率输出，因为它散热结构过于简单，当阵列LD101功率较大时泵浦，就无法及时散热，微片激光器系统难以获得预期结果。
发明内容
本实用新型目的是提供一种及时散热以获得高功率的激光输出的阵列微片激光器。
本实用新型目的通过以下技术方案实现阵列微片激光器包括基座、阵列LD和阵列微片式腔内倍频激光器，阵列LD和阵列微片式腔内倍频激光器对应设在基座上，其中在基座上的微片式微片激光器之间设有孔或槽。
在阵列LD和阵列微片式腔内倍频激光器之间还设有阵列微透镜。
本实用新型采用以上结构，由于基座上的微片激光器之间设有孔或槽，可以通过冷却水或冷却风，及时散热，因此可以获得稳定的高功率的激光输出。
现结合附图对本实用新型作进一步阐述图1是现有阵列微片激光器的结构示意图；
图2是本实用新型的结构示意图；图3是本实用新型微片式微形腔激光器阵列的截面结构示意图；图4是本实用新型采用阵列式半导体激光器的微片激光器的结构示意图；图5是本实用新型采用输出多根光纤的激光器的微片激光器的结构示意图；图6是本实用新型采用强激光分束成多光束的微片激光器的结构示意图；图7是本实用新型实施例一的结构示意图；图8是本实用新型实施例二的结构示意图。
具体实施方式
如图2、3所示本实用新型的阵列微片激光器包括基座103、阵列LD101和阵列微片式腔内倍频激光器102，阵列LD101和阵列微片式腔内倍频激光器102对应设在基座103上，其中在基座103上的阵列微片式腔内倍频激光器102之间设有孔或槽105，所设孔或槽105可以沿三维方向设置，以达到最好的通风通水的散热效果，基座103还可以采用导热系数大的材料，从而获得稳定的高功率的激光输出。阵列LD101和阵列微片式腔内倍频激光器102可以直接粘接，或在阵列LD101和阵列微片式腔内倍频激光器102之间还设有阵列微透镜104，将阵列LD101输出的光聚焦，以提高功率。
如图4所示，本实用新型的阵列LD101可以采用阵列式半导体激光器。
如图5所示，本实用新型的阵列LD101可以采用输出多根光纤的激光器。
如图6所示，本实用新型的阵列LD101可以采用将较强激光分束成多光束的激光器。
本实用新型具体实施时，如图7所示，阵列微片式腔内倍频激光器102包括激光增益介质106、与激光增益介质106基质相同的介质107和热膨胀系数相近的光学材料108与倍频晶体109，所设材料可以是片状或立柱状，各光学元件采用深化光胶构成整体，各元件之间间隙实现通水或通气冷却。
本实用新型具体实施时，也可如图8所示，阵列微片式腔内倍频激光器102包括激光增益介质106、与激光增益介质106基质相同的介质107和热膨胀系数相近的光学材料108与倍频晶体109、及其他材料110，所设材料可以是片状或立柱状，各光学元件采用深化光胶构成整体，各元件之间间隙实现通水或通气冷却。
权利要求1.阵列微片激光器，包括基座、阵列LD和阵列微片式腔内倍频激光器，阵列LD和阵列微片式腔内倍频激光器对应设在基座上，其特征在于在基座上的阵列微片式腔内倍频激光器之间设有孔或槽。
2.根据权利要求1所述的阵列微片激光器，其特征在于其孔或槽沿三维方向设置。
3.根据权利要求1或2所述的阵列微片激光器，其特征在于其阵列LD和阵列微片式腔内倍频激光器直接粘接。
4.根据权利要求1或2所述的阵列微片激光器，其特征在于在阵列LD和阵列微片式腔内倍频激光器之间设有阵列微透镜。
5.根据权利要求1或2所述的阵列微片激光器，其特征在于阵列LD是阵列式半导体激光器、输出多根光纤的激光器或将较强激光分束成多光束的激光器。
6.根据权利要求1或2所述的阵列微片激光器，其特征在于其阵列微片式腔内倍频激光器包括激光增益介质、与激光增益介质基质相同的介质和热膨胀系数相近的光学材料与倍频晶体，所设材料是片状或立柱状，各光学元件采用深化光胶构成整体，各元件之间间隙实现通水或通气。
专利摘要本实用新型公开阵列微片激光器，其包括基座、阵列LD和阵列微片式腔内倍频激光器，阵列LD和阵列微片式腔内倍频激光器对应设在基座上，其中在基座上的阵列微片式腔内倍频激光器之间设有孔或槽，采用以上结构，由于基座上的微片激光器之间设有孔或槽，可以通过冷却水或冷却风，及时散热，因此可以获得稳定的高功率的激光输出。
文档编号H01S3/04GK2899206SQ20062006912
公开日2007年5月9日 申请日期2006年1月28日 优先权日2006年1月28日
发明者吴砺, 孙朝阳, 林斌, 凌吉武 申请人:福州高意通迅有限公司