专利名称：集成有肖特基二极管的功率mos晶体管器件的制造方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体集成电路制造工艺方法，特别是涉及一种集成有肖特基二 极管的功率MOS晶体管器件的制造方法。
背景技术：
在功率MOS晶体管器件中集成肖特基二极管，目的是为了提高其交频特性，如图1 所示，为使用现有制造方法制备的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件示意图，所 述集成有集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件包括第一导电类型的衬底、栅极、第 二导电类型的体区、第一导电类型的源区、源极；所述衬底包含了低掺杂的漂移区、高掺杂 的漏区以及在漏区上形成的漏极，所述衬底通过低掺杂的漂移区和所述体区相连；所述栅 极为沟槽结构，通过其侧壁的纵向栅氧化层和所述体区相连；所述源区形成于所述体区的 上部，在所述源区内形成一源极，所述源极为一深槽接触；在所述源极深槽接触的底部形成 一金属和所述衬底的肖特基二极管，在所述源极深槽接触的上部形成分别形成金属和所述 体区、金属和所述源区的欧姆接触。集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件的现有制造方法为，首先是在形成有 具有第一导电类型的漏区和漂移区的硅衬底上形成栅极；还包括如下步骤步骤一、体区光刻，定义所述体区的位置，形成所述体区的光刻胶图形，在需要形 成肖特基二极管的区域要用光刻胶做阻挡层，防止肖特基二极管的区域注入体区的离子；步骤二、以光刻胶为掩膜，在所述体区注入第二导电类型离子杂质、去除光刻胶、 对杂质进行退火推进；步骤三、源区光刻，定义所述源区的位置，形成所述源区的光刻胶图形；步骤四、以光刻胶为掩膜，在源区注入第一导电类型离子杂质、去除光刻胶、对杂 质进行退火推进；步骤五、源极深槽接触孔光刻，定义所述源极深槽接触孔的位置，形成所述源极深 槽接触孔区域的光刻胶图形；步骤六、以光刻胶为掩膜，刻蚀形成所述源极深槽接触孔；步骤七、采用大于40度的大角度注入形成欧姆接触的P型重掺杂离子、对杂质进 行退火推进，图中用P+表示P型重掺杂离子；步骤八、在所述源极深槽接触孔底部进行具有第一导电类型的肖特基掺杂离子注 入；步骤九、在所述源极深槽接触孔内填充金属形成源极深槽接触、在漏区中形成漏 极。利用现有制造方法制备的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件具有的缺 点为一、步骤七是采用大于40度的大角度、高浓度的离子注入形成P型重掺杂欧姆接触， 这种注入条件会使部分注入的离子散射到底部的肖特基区域，而影响肖特基二极管的性 能，从而使制备的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件性能稳定性降低；二、大角度注入会损伤注入设备，使注入设备的折旧加快，提高了生产成本。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管 器件的制造方法，能保证所制备的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件的性能稳 定，同时能减少注入设备的损伤、从而降低生产成本。为解决上述技术问题，本发明提供的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件 的现有制造方法为，首先是在形成有第一导电类型的漏区和漂移区的硅衬底上形成栅极； 还包括如下步骤步骤一、体区光刻，定义所述体区的位置，形成所述体区的光刻胶图形，在需要形 成肖特基二极管的区域要用光刻胶做阻挡层，防止肖特基二极管的区域注入体区的离子；步骤二、以光刻胶为掩膜，在所述体区注入第二导电类型离子杂质、去除光刻胶、 对杂质进行退火推进；步骤三、源区光刻，定义所述源区的位置，形成所述源区的光刻胶图形；步骤四、以光刻胶为掩膜，在源区注入第一导电类型离子杂质、去除光刻胶、对杂 质进行退火推进；步骤五、欧姆接触区光刻，定义所述欧姆接触区的位置，形成所述欧姆接触区的光 刻胶图形；步骤六、以光刻胶为掩膜，进行欧姆接触区P型重掺杂离子注入、去除光刻胶、对 杂质进行退火推进，P型重掺杂离子注入的注入角度为O 7度；步骤七、源极深槽接触孔光刻，定义所述源极深槽接触孔的位置，形成所述源极深 槽接触孔区域的光刻胶图形；步骤八、以光刻胶为掩膜，刻蚀形成所述源极深槽接触孔、并去除光刻胶；步骤九、在所述源极深槽接触孔底部进行具有第一导电类型的肖特基二极管掺杂 离子注入；步骤十、在所述源极深槽接触孔内填充金属形成源极深槽接触、在漏区中形成漏 极。以上工艺中，对N型功率MOS晶体管器件，所述第一导电类型为N型，第二导电类 型为P型；对P型功率MOS晶体管器件，所述第一导电类型为P型，第二导电类型为N型。和现有的制造方法不同，本发明增加了一步欧姆接触区光刻的工艺，使欧姆接触 区P型重掺杂离子注入能够在所述源极深槽接触孔形成之前进行，并且是采用0 7度的 小角度，使得本发明具有的有益效果为首先、欧姆接触区P型重掺杂离子注入不会影响到 所述源极深槽接触孔底部的肖特基二极管区域，这就使得最后所制备的肖特基二极管性能 稳定，能使本发明所制备的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件的性能稳定；其次、 由于是采用0 7度的小角度注入，这就减少了注入设备的损伤，减少了生产成本。
下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明图1是现有制造方法制备的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件示意图2是本发明的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件的制造方法流程图；图3 图6是本发明的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件的制造方法在 各步骤中样品示意图；图7是本发明制造方法制备的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件示意 图。
具体实施例方式如图2所示，本发明的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件的制造方法包 括了如下步骤首先是在首先是在形成有具有第一导电类型的漏区和漂移区的硅衬底上形成栅 极；步骤一、如图3所示，体区光刻，定义所述体区的位置，形成所述体区的光刻胶图 形，在需要形成肖特基二极管的区域要用光刻胶做阻挡层，防止肖特基二极管的区域注入 体区的离子；步骤二、如图3所示，以光刻胶为掩膜，在所述体区注入第二导电类型离子杂质、 去除光刻胶、对杂质进行退火推进；步骤三、如图4所示，源区光刻，定义所述源区的位置，形成所述源区的光刻胶图 形；步骤四、如图4所示，以光刻胶为掩膜，在源区注入第一导电类型离子杂质、去除 光刻胶、对杂质进行退火推进，所述源区的深度要浅于所述体区，最后形成在所述体区的上 部；步骤五、如图5所示，欧姆接触区光刻，定义所述欧姆接触区的位置，形成所述欧 姆接触区的光刻胶图形；步骤六、如图5所示，以光刻胶为掩膜，进行欧姆接触区P型重掺杂离子注入、去除 光刻胶、对杂质进行退火推进，图中用P+表示P型重掺杂离子，P型重掺杂离子注入的注入 角度为O 7度，最后P型重掺杂离子注入到了将要形成欧姆接触区域的所述源区和体区 中，其深度要大于所述源区的深度、小于所述体区的深度，从而不会对将要形成的肖特基二 级管造成影响；步骤七、如图6所示，源极深槽接触孔光刻，定义所述源极深槽接触孔的位置，形 成所述源极深槽接触孔区域的光刻胶图形；步骤八、如图6所示，以光刻胶为掩膜，刻蚀形成所述源极深槽接触孔、并去除光 刻胶；步骤九、如图6所示，在所述源极深槽接触孔底部进行具有第一导电类型的肖特 基二极管掺杂离子注入；步骤十、在所述源极深槽接触孔内填充金属形成源极深槽接触、在漏区中形成漏 极。以上工艺中，对N型功率MOS晶体管器件，所述第一导电类型为N型，第二导电类 型为P型；对P型功率MOS晶体管器件，所述第一导电类型为P型，第二导电类型为N型。如图7所示，为用本发明方法制造的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件示意图，包括第一导电类型的衬底、栅极、第二导电类型的体区、第一导电类型的源区、源 极；所述衬底包含了低掺杂的漂移区、高掺杂的漏区以及在漏区上形成的漏极，所述衬底通 过低掺杂的漂移区和所述体区相连；所述栅极为沟槽结构，通过其侧壁的纵向栅氧化层和 所述体区相连；所述源区形成于所述体区的上部，在所述源区内形成一源极，所述源极为一 深槽接触；在所述源极深槽接触的底部形成一金属和所述衬底的肖特基二极管，在所述源 极深槽接触的上部形成分别形成金属和所述体区、金属和所述源区的欧姆接触。和现有的 制造方法相比，本发明方法简化了欧姆接触注入的注入条件，即通过增加一步欧姆接触区 的光刻工艺，使欧姆接触注入能在所述源极深槽接触孔形成之前进行，并能用0 7度的小 角度进行注入，这就避免了现有工艺中出现的欧姆接触注入对肖特基二极管的影响，使肖 特基二极管的性能稳定；同时小角度注入减少了注入设备的损伤，节约了生产成本。
以上通过具体实施例对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限 制。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员还可做出许多变形和改进，这些也应 视为本发明的保护范围。
权利要求
1.一种集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件的制造方法，在形成有第一导电类 型的漏区和漂移区的硅衬底上形成栅极；其特征在于，还包括如下步骤步骤一、体区光刻，定义所述体区的位置，形成所述体区的光刻胶图形，在需要形成肖 特基二极管的区域要用光刻胶做阻挡层，防止肖特基二极管的区域注入体区的离子；步骤二、以光刻胶为掩膜，在所述体区注入第二导电类型离子杂质、去除光刻胶、对杂 质进行退火推进；步骤三、源区光刻，定义所述源区的位置，形成所述源区的光刻胶图形；步骤四、以光刻胶为掩膜，在源区注入第一导电类型离子杂质、去除光刻胶、对杂质进 行退火推进；步骤五、欧姆接触区光刻，定义所述欧姆接触区的位置，形成所述欧姆接触区的光刻胶 图形；步骤六、以光刻胶为掩膜，进行欧姆接触区P型重掺杂离子注入、去除光刻胶、对杂质 进行退火推进；步骤七、源极深槽接触孔光刻，定义所述源极深槽接触孔的位置，形成所述源极深槽接 触孔区域的光刻胶图形；步骤八、以光刻胶为掩膜，刻蚀形成所述源极深槽接触孔、并去除光刻胶；步骤九、在所述源极深槽接触孔底部进行具有第一导电类型的肖特基二极管掺杂离子 注入；步骤十、在所述源极深槽接触孔内填充金属形成源极深槽接触、在漏区中形成漏极。
2.如权利要求1所述的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件的制造方法，其特 征在于对N型功率MOS晶体管器件，所述第一导电类型为N型，第二导电类型为P型；对P 型功率MOS晶体管器件，所述第一导电类型为P型，第二导电类型为N型。
3.如权利要求1所述的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件的制造方法，其特 征在于步骤六的欧姆接触区P型重掺杂离子注入的注入角度为0 7度。
全文摘要
本发明公开了一种集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件的制造方法，在形成有漏区和漂移区的硅衬底上形成栅极；接着进行体区光刻，在需要形成肖特基二极管的区域要用光刻胶做阻挡层，防止肖特基二极管的区域注入体区的离子；体区注入；源区光刻；源区注入；欧姆接触区光刻；欧姆接触区P型重掺杂离子注入；源极深槽接触孔光刻；刻蚀形成源极深槽接触孔；在源极深槽接触孔底部进行肖特基二极管掺杂离子注入；在所述源极深槽接触孔内填充金属形成源极深槽接触、在漏区中形成漏极。本发明能保证所制备的集成有肖特基二极管的功率MOS晶体管器件的性能稳定，同时能减少注入设备的损伤、从而降低生产成本。
文档编号H01L21/265GK102104026SQ200910201958
公开日2011年6月22日 申请日期2009年12月18日 优先权日2009年12月18日
发明者孙效中, 张朝阳, 房宝清, 李江华 申请人:上海华虹Nec电子有限公司