专利名称：具标记功能的除胶设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及除胶设备，尤指一种削弱晶片贴片黏着力的紫外线除胶设备。
背景技术：
在半导体晶片制备工艺中，包括了对晶片的其中一面贴附保护胶片继而进行面研 磨、或是切割成多个芯片的步骤。晶片贴片的目的是要使胶带例如蓝膜(blue tape)，贴附 在一环形支持框底部(一部分则因支持框的中心孔而裸露出)，而晶片则贴附在支持框中 心孔范围内所裸露出的胶带部分。当不再需要胶带而欲将其与晶片分离时，一般是利用一紫外线照射手段照射在胶 带贴附晶片的部位，如此可使胶带黏着力减弱，并保持晶片不破损且容易地进行剥离。为说明方便，此处把包括胶带、晶片、环形支持框的组合未经紫外线照射的称为照 射前工件，而经过紫外线照射使黏着力减弱的组合称为照射后工件。然而，现有技术除胶设备存在有一缺点，亦即照射前工件与照射后工件在外观上 并无法区别，因此可能会发生将照射前工件误认为照射后工件，因而不执行紫外线照射的 漏照事情；另一方面也可能发生将照射后工件误认为照射前工件，因而重复执行紫外线照 射的情事。由此可知，现有除胶设备存在进行重复照射，导致胶带黏着力减弱，造成后续产品 加工异常而降低良率的缺点。
实用新型内容本实用新型的一目的是提供一种具标记功能的除胶设备，以便能让工作人员轻易 辨识出工作件是否已经紫外线照射处理。为达成上述目的，本实用新型的具标记功能的除胶设备包括一机台本体及架设于 机台本体的一上盖、一透光玻璃、一环形光罩、一紫外线光源。上述环形光罩配置于透光玻 璃上方，并包括有一内径边缘。上述紫外线光源配置于透光玻璃下方。上盖并向下突伸有一打印头，打印头是设置在环形光罩的内径边缘起算径向向外 一胶带裸露距离之内。打印头包括有一打印图案面朝环形光罩。所述的除胶设备，其中，该打印头包括有一螺纹部，螺合于该上盖。所述的除胶设备，其中，该打印头包括有一卡合凸部，卡合固定于该上盖的一卡合 槽。所述的除胶设备，其中，该打印头包括有一主体与一副体，该主体固定于该上盖， 该打印图案位于该副体上，且该副体螺合于该主体。所述的除胶设备，其中，该打印头包括有一外壳体、一转动本体及一卡掣弹片，该 外壳体固定于该上盖，该转动本体枢设在该外壳体内，且该转动本体外环周设有多个卡掣 缺口，该打印图案连接于相邻卡掣缺口间。本实用新型的有益效果是，通过上述设计，工件(如晶片)放置在机台上准备照射紫外线之前，一旦上盖覆盖密闭住工件，打印头便实时在胶带裸露区域形成一打印标记，确 保之后工件取出时能够轻易被辨识其处理状态。在打印头是自外部组装至上盖的场合，打印头相对于上盖的固定方式并不特别限 定，例如打印头可包括有一螺纹部，并以此螺合于上盖。或者，打印头可包括有一卡合凸部， 以此卡合固定于上盖的一卡合槽。又或者，打印头可包括有一主体与一副体，主体固定于上 盖，打印图案位于副体上，且副体螺合于主体。此外，打印头可以是设计成具有多个打印图案者，依需求变换所需标记图案。例如 打印头可包括有一外壳体、一转动本体及一卡掣弹片，其中外壳体固定于上盖，转动本体枢 设在外壳体内，且转动本体外环周设有多个卡掣缺口，两相邻卡掣缺口之间连接有一打印 图案。
图ι为本实用新型第-一较佳实施例的除胶设备外观示意图；图2为图1的除胶设备上盖示意图；图3为第一较佳实施例的除胶设备照射前示意图；图4为本实用新型一i狡佳实施例的除胶设备照射中示意图；图5为本实用新型第-一较佳实施例的照射后工件示意图；图6为本实用新型第一二较佳实施例的除胶设备部分示意图；图7为本实用新型第:Ξ较佳实施例的除胶设备部分示意图；图8为本实用新型第四较佳实施例的除胶设备部分示意图。主要元件符号说明机台本体10玻璃承载部101光罩承载部102上盖 11,40,44,51罩盖壁111,41核心区域112氮气流通孔113中介区域114螺孔 115，462紫外线光源20透光玻璃21环形光罩22内径边缘221透光孔222打印头 23,42,43,45,48 打印图案 231，422，432，472，491螺纹部232，471照射前工件30照射后工件30a支持框31胶带32胶带裸露区域321晶片33打印标记34卡合槽 411，412，441卡合凸部421，431，461主体46副体47内部空间481转动本体49卡掣缺口 490卡掣弹片50胶带裸露距离D具体实施方式
参考图1 3，显示出第一实施例除胶设备的构成。本实施例的晶片除胶设备主要 包括有一机台本体10与架设在机台本体10的多个除胶相关元件，这些元件包括有一上盖 11、一透光玻璃21、一环形光罩22及一紫外线光源20。本实施例的除胶设备是用于对包含环形的支持框31、胶带32、晶片33的照射前工 件30进行紫外线照射，使贴附于晶片33的部分胶带32黏着力下降。照射前工件30的构 成描述如下胶带32贴附在支持框31底部，晶片33则贴附在支持框31中心孔范围内所裸 露出的胶带部分。详细而言，透光玻璃21是被承载在机台本体10的一玻璃承载部101上；环形光罩 22是被承载在机台本体10的一光罩承载部102上，且位于透光玻璃21的上方，与透光玻璃 21相隔开。紫外线光源20配置在透光玻璃21下方并相隔开。环形光罩22的内径边缘221界定出一中空的透光孔222，亦即紫外线穿经过透光 玻璃21后，一部分被光罩22挡住无法穿透，另一部分则自透光孔222穿出。上盖11于内侧面包括有突出且呈环形封闭的一罩盖壁111，罩盖壁111所环绕范 围内，区分成偏中心的一核心区域112以及介于罩盖壁111内缘与核心区域112之间的一 中介区域114，形成为中介区域114环绕核心区域112的配置。特别地，中介区域114突伸有一打印头23，打印头23呈柱状，并包括有位于相对两 端的一打印图案231以及一螺纹部232，螺纹部232螺合于上盖11的中介区域114的螺孔 115。打印图案231配置成当上盖11的罩盖壁111罩盖住由支持框31、胶带32、晶片33 构成的照射前工件30时，打印图案231面朝环形光罩22 (以及在环形光罩22上的部分胶 带，即图中胶带裸露区域321)。也就是打印头23在上盖11的位置若对应到环形光罩22， 不能超出环形光罩22的内径边缘221起算径向向外一胶带裸露距离D。此外，在本例中，大致与晶片形状、尺寸对应的核心区域112布设有多个氮气流通 孔113，这些孔洞连通至一氮气供应装置(图未示)。参考图4与图5，分别为除胶设备照射中示意图与照射后工件示意图。进行紫外 线照射前，上盖11需移动以使得罩盖壁111罩盖住照射前工件30，此时上盖11与机台主 体10共同界定出一密闭空间，而照射前工件30位于其中。接着紫外线光源20便发出紫外 线，紫外线在通过透光玻璃21后，部分被环形光罩22挡住，部分则经过透光孔222直接照 射到晶片33底部的胶带32，此过程中氮气也会经由氮气流通孔113释放出，提高紫外线将 胶带32黏着力降低的效果。需注意的是，当上盖11下降至使罩盖壁111罩盖住照射前工件30，于此同时打印 头23也会压迫到如图所示胶带裸露区域321，形成与打印图案相同的打印标记34。图5所 示的照射后工件30a中，在胶带裸露区域321呈现UV字样的打印标记34。由上述可知，通过本实用新型的设备，一旦上盖移动罩盖住工件，打印头即在胶带 上形成打印标记，因此可轻易辨识照射前与照射后工件。参考图6，为第二较佳实施例的除胶设备部分示意图。在第二实施例中使用了两 个打印头42，43固定在上盖40的罩盖壁41，且每一打印头42，43两端分别为一卡合凸部 421,431与一打印图案422，432。打印头42，43各以其卡合凸部421，431卡合固定在中介 区域41开设的二卡合槽411，412。此种紧配固定方式不同于第一例的可拆卸式螺合手段。[0054]参考图7，为第三较佳实施例的除胶设备部分示意图。在第三实施例中打印头45 包括一主体46与一副体47，且打印图案472是位于副体47上。副体47还包括一螺纹部 471螺合于主体46的螺孔462。主体46还包括有一卡合凸部461卡合固定在上盖的44中 介区域所开设的卡合槽441。此种设计与第一例同样可以方便更换具不同打印图案的打印 头。参考图8，为第四较佳实施例的除胶设备部分示意图。在第四实施例中打印头包括 一外壳体48、一转动本体49及一卡掣弹片50，其中外壳体48以类似于第三例的卡合方式 固定在上盖51，转动本体49则枢设在外壳体48的内部空间481，且转动本体49呈类环状 的多面体。本例中转动本体49外环周设有六个卡掣缺口 490，两相邻卡掣缺口 490间连接有 一打印图案491，因此共有六个打印图案491。以外力旋转转动本体49后，就可以变换不同 的打印图案491，而透过卡掣弹片50卡掣在卡掣缺口 490也使转动本体49能适当定位，确 保打印头48能正常使用而不会任意转动。当然，熟知此技术领域的人士在参考本说明书后当能轻易延伸至具不同数目面体 的打印头设计，并不限于实施例所述的六打印图案491的打印头。上述实施例仅为了方便说明而举例而已，本实用新型所主张的权利范围自应以申 请专利范围所述为准，而非仅限于上述实施例。
权利要求1.一种具标记功能的除胶设备，包括 一机台本体；一上盖，架设于该机台本体； 一透光玻璃，架设于该机台本体；一环形光罩，架设于该机台本体且位于该透光玻璃上方，包括有一内径边缘；以及 一紫外线光源，架设于该机台本体且位于该透光玻璃下方； 其特征在于该上盖向下突伸有一打印头，该打印头设置在该环形光罩的内径边缘起算径向向外一 胶带裸露距离之内，该打印头包括有一打印图案面朝该环形光罩。
2.如权利要求1所述的除胶设备，其特征在于，该打印头包括有一螺纹部，螺合于该上至ΓΤΠ ο
3.如权利要求1所述的除胶设备，其特征在于，该打印头包括有一卡合凸部，卡合固定 于该上盖的一卡合槽。
4.如权利要求1所述的除胶设备，其特征在于，该打印头包括有一主体与一副体，该主 体固定于该上盖，该打印图案位于该副体上，且该副体螺合于该主体。
5.如权利要求1所述的除胶设备，其特征在于，该打印头包括有一外壳体、一转动本体 及一卡掣弹片，该外壳体固定于该上盖，该转动本体枢设在该外壳体内，且该转动本体外环 周设有多个卡掣缺口，该打印图案连接于相邻卡掣缺口间。
专利摘要本实用新型公开了一种具标记功能的除胶设备，包括一机台本体及架设于机台本体的上盖、透光玻璃、环形光罩、紫外线光源。环形光罩位于透光玻璃上方，且包括有一内径边缘。紫外线光源位于透光玻璃下方。上盖向下突伸有一打印头，打印头设置在环形光罩的内径边缘起算径向向外一胶带裸露距离之内，打印头包括有一打印图案面朝环形光罩。通过此，经紫外线照射处理的工件具有一可识别标记，更容易防止重复照射或漏未照射的情况发生。
文档编号H01L21/00GK201829471SQ20102054237
公开日2011年5月11日 申请日期2010年9月25日 优先权日2010年9月25日
发明者吕孟谕 申请人:京隆科技(苏州)有限公司