专利名称：移载装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及移载装置等，该移载装置配置在半导体制造装置与通道之间，且相对于临时保管收纳有在半导体的制造中需要的基板等的对象物的搁架而在上述搁架内变更上述对象物的载置场所。
背景技术：
以往，在将玻璃基板或硅基板等基板从其他场所搬入到半导体制造装置，且将处理完毕的基板搬出到其他场所的情况下，将多张基板收纳于被称为片盒的箱中进行输送。在该片盒的输送中，为了实现半导体车间的节省空间化等，利用在工厂的顶棚附近移动的天车来进行输送。这里，根据半导体的制造工序的前一道工序的进度与后一道工序的进度等，会产 生临时保管片盒的需要，因此，在半导体制造装置的装载机或卸载机的上方设置有保管片盒的搁架。进而，设置有如下的移载装置该移载装置能够在能够进行处理时将该片盒自动地从搁架移载至装载机，且将能够将收纳有处理完毕的基板的片盒从卸载机移载至搁架。对于半导体制造车间，为了实现节省空间化，以夹着通道的方式在两侧设置有半导体制造装置，且在半导体制造装置和通道之间配置装载机与卸载机，进而，在装载机、卸载机与通道之间配置移载装置。例如,在专利文献I中记载有如上的移载装置与搁架。对于专利文献I所记载的搁架，为了尽可能地实现节省空间化，沿水平方向与铅垂方向设置有通道，以便移载装置所保持的片盒能够在搁架的内部移动。并且，为了尽可能地确保较宽的通道，移载装置以将用于使保持片盒的保持单元沿铅垂方向移动的轨道、与用于使该轨道沿水平方向移动的轨道贴附于搁架的方式配置。专利文献I :日本特开2001 - 298069号公报由于近来的基板的大型化等，包含基板在内的片盒的重量变重，因此移载装置也需要具有较高的刚性。
发明内容
本发明是鉴于上述课题而作成的，其目的在于提供一种能够满足移载装置的刚性，且能够在该移载装置的配置场所附近确保较宽的通道的移载装置。为了解决上述课题，本发明所涉及的移载装置将被载置于具备沿铅垂方向配置有多个、且沿水平方向配置有多个的搁架板的搁架的任一搁架板的对象物移载至其他的搁架板，上述移载装置的特征在于，上述移载装置具备两根支柱，该两根支柱配置于搁架的前侦牝且以沿铅垂方向延伸的方式配置；上部轨道，该上部轨道沿水平方向延伸，且呈桥状地安装于上述支柱的上部的前侧面；铅垂轨道，该铅垂轨道以沿铅垂方向延伸的方式配置，且以能够滑动的方式与上述上部轨道的侧面连接；下部轨道，该下部轨道配置在上述平面内的上述铅垂轨道的下方，安装于上述支柱的下部，且以能够滑动的方式与上述铅垂轨道连接；以及保持单元，该保持单元以能够装卸的方式保持上述对象物，以呈从上述铅垂轨道朝搁架突出的突出状的方式配置，且该保持单元以能够滑动的方式与上述铅垂轨道的侧面连接。这样，由于利用上部轨道和下部轨道对铅垂轨道进行引导，因此能够提高移载装置的刚性。并且，由于能够使载荷分散至上部轨道与下部轨道，因此能够使上部轨道变薄，从而能够抑制向通道侧突出的量。此外，由于下部轨道配置于与支柱相同的平面内，因此实质上能够使人所通过的高度的移载装置的厚度变薄，进而能够确保较宽的通道。此外，也可以形成为上述移载装置还具备配置于上述支柱的前侧、且覆盖上述保持单元的活动区域的罩，上述罩包括上部罩，该上部罩覆盖上述上部轨道；以及下部罩，该下部罩配置于相比上述上部罩靠后方的位置，且覆盖上述活动区域的下部。并且，优选形成为上述上部轨道具备水平驱动上述铅垂轨道的水平驱动单元，上述下部轨道不具备水平驱动上述铅垂轨道的水平驱动单元。 由此，能够在移载装置中采用较薄的下部轨道，进而能够确保较宽的通道。并且，优选形成为上述铅垂轨道在上端部侧方具备沿铅垂方向驱动上述保持单元的铅垂驱动单元，上述上部轨道配置于相比上述铅垂驱动单元靠下方的位置。由此，能够确保较宽的移载装置的上方空间，进而能够容易地避免由天车保持的对象物与移载装置之间的干涉。根据本发明，能够提供一种能够确保移载装置的较高的刚性，且能够确保较宽的通道的移载装置。
图I是示出移载装置整体的立体图。图2是示出将罩卸下后的移载装置的立体图。图3是从侧面示出移载装置与人的平面图。图4是从侧面示出打开门后人访问对象物的情况的平面图。
具体实施例方式
其次，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图I是示出移载装置整体的立体图。图2是示出将罩卸下后的移载装置的立体图。如上述图所示，移载装置100配置于半导体制造装置等装置200的前侧、且配置于装卸机201的前侧，该移载装置100将被载置于具备沿铅垂方向配置有多个、且沿水平方向配置有多个的搁架板301的搁架300的任一搁架板的对象物202移载至其他的搁架板，该移载装置100具备支柱101、上部轨道102、铅垂轨道103、下部轨道104、保持单元105、罩106、水平驱动单元107、以及铅垂驱动单元108。支柱101配置于搁架300的前侧，且以沿铅垂方向延伸的方式配置。在本实施方式的情况下，以比装置200的宽度还稍微宽的间隔配置，且以两根支柱101所形成的平面与装置的前表面平行的方式配置。上部轨道102以沿水平方向延伸的方式配置，且呈桥状地安装于两根支柱101的上部的前侧面。在本实施方式的情况下，在上部轨道102的内部设置有用于沿水平方向驱动铅垂轨道103的环状带。铅垂轨道103以沿铅垂方向延伸的方式配置，且配置于包含两根支柱101的平面内，并以能够滑动的方式与上部轨道102的侧面连接。铅垂轨道103与上部轨道102以在前后方向重叠的方式配置。下部轨道104配置于两个支柱101所假想地所形成的平面内，且配置在铅垂轨道103的下方，并以两端部分别与支柱101的下部对接的状态呈桥状地安装于两根支柱101。并且，下部轨道104以能够滑动的方式与铅垂轨道103连接，也就是说，下部轨道104与铅垂轨道103配置于同一平面内，且铅垂轨道103在上述平面内移动。在本实施方式的情况下，下部轨道104与铅垂轨道103经由带轮壳体131连接。带轮壳体131与铅垂轨道103被固定在一起，且带轮壳体131与铅垂轨道103 —并在下部轨道104延伸的方向移动。另外，在带轮壳体131的刚性不足的情况下等，可以设置有避开带轮壳体131且连接下部轨道104与铅垂轨道103的托架等。·保持单元105为以能够装卸的方式保持对象物202的装置，保持单元105以呈从铅垂轨道103朝搁架板301突出的突出状的方式配置，且以能够滑动的方式与铅垂轨道103的侧面连接。在本实施方式的情况下，对象物202在上部设置有保持用的凸缘203，保持单元105具备钩形爪151，该钩形爪151能够通过沿水平方向移动而相对于凸缘203进行插装或拆卸，在凸缘203插入于该钩形爪151的状态下，该钩形爪151能够与凸缘203的下表面卡合而将对象物202提起。水平驱动单元107安装于上部轨道102的端部，是水平驱动铅垂轨道103的装置。在本实施方式的情况下，水平驱动单元107以使上部轨道102所具备的环状带沿顺方向或反方向移动的方式进行驱动，从而与该环状带连接的铅垂轨道103由上部轨道102与下部轨道104引导而沿水平方向移动。另外，在本实施方式的情况下，在下部轨道104并未安装水平驱动单元107。这是为了扩大移载装置100的前侧的下部空间。因此，如果不对上述下部空间造成影响，则也可以安装小型的驱动装置。铅垂驱动单元108安装于铅垂轨道103的上端部侧方，是沿铅垂方向驱动保持单元105的装置。在本实施方式的情况下，铅垂驱动单元108与上部轨道102相同，以使铅垂轨道103所具备的环状带沿顺方向或反方向移动的方式进行驱动，从而与该环状带连接的保持单元105由铅垂轨道103引导而沿水平方向移动。在本实施方式的情况下，上部轨道102配置在铅垂驱动单元108的下方，因此，即便铅垂驱动单元108与铅垂轨道103 —并移动，上部轨道102与铅垂驱动单元108也不会干涉。罩106是在移载装置100工作时将人与移载装置100隔绝的壁，该罩106配置在两根支柱101前侧，且覆盖保持单元105的活动区域的整个区域，罩106具备上部罩161，该上部罩161以覆盖位于活动区域的上部的上部轨道102的方式向前侧突出，且沿上部轨道102延伸；以及下部罩163,该下部罩163配置于相比上部罩161靠后方的位置,且覆盖活动区域的下部。在本实施方式的情况下，在下部罩163设置有三个门162，通过打开该门162，能够访问移载装置100、装卸机201。搁架300配置在装卸机201的上方，是临时保管从天车等接收的对象物202，并临时保管要交接至天车等的对象物202的所谓的装置前缓冲区。在本实施方式的情况下，搁架300沿纵向具备3张搁架板301，且具备3列该搁架板301，由此总共能够载置9个对象物202。并且，搁架300形成为如下结构在搁架板301之间具备沿上下方向延伸的通道，从而能够使对象物202在搁架300的内部沿上下方向移动。此外，在搁架300和装卸机201之间形成有能够使对象物202沿水平方向移动的空间。因此，搁架300能够利用上述移载装置100在搁架300的内部自由地移动对象物202。装卸机201是用于将收纳于对象物202的基板等搬入到装置200，并将处理完毕的基板等收纳到对象物202进而搬出的装置。在本实施方式的情况下，装卸机201也作为临时保管对象物202的搁架300发挥作用。
图3是从侧面示出移载装置与人的平面图。根据以上的移载装置100，虽然在上下方向具备上部轨道102与下部轨道104，且具备较高的刚性，但通过使向前侧(图3中的左侧)突出的部分集中于上部，能够确保人H或起重机(未图示)通行的空间的宽度较宽。也就是说，实质上能够确保较宽的通道宽度。并且，铅垂驱动单元108不必配置于相比支柱101靠上方的位置，并且，由于铅垂驱动单元108不会与上部轨道102干涉，因此能够使移载装置100的上方空间扩大。因此，即便在天车等配置在装置200的上部的情况下，也能够避免与天车之间的干涉。图4是从侧面示出打开门后人访问对象物的情况的平面图。如该图所示，即便在移载装置100在停止中打开罩106的门162，人H访问被载置于装卸机201的对象物202等的情况下，由于下部轨道104并不突出至相比支柱101靠前侧的位置，而是配置于比较靠下方的位置，因此，下部轨道104不会成为障碍，人H能够容易地访问对象物202。另外，本发明并不限定于上述实施方式。例如保持单元105不仅可以是与设置在对象物202的上部的凸缘203卡合，并以吊挂状态输送对象物202的装置，保持单元105也可以是以将爪插入到对象物202的下部而将对象物202提起的方式保持对象物202的保持单元。并且，对于搁架300，示出有能够沿纵向载置3层对象物202、且沿横向载置3列对象物202的搁架300，但本实施方式中示出的装卸机201也为载置对象物202的构件，装卸机201也构成搁架300的一部分。并且，可以将对在本说明书中所记载的构成元件进行任意地组合而实现的其他实施方式作为本发明的实施方式。对上述实施方式实施在不脱离本发明的主旨、即在权利要求书所记载的用语表示的意思的范围内本领域技术人员所想到的各种变形而得的变形例也包含于本发明。并且，“铅垂”、“平面”、“平行”等用语是以允许不脱离本发明的主旨的程度的误差的意思使用的。并且，“装卸机”的用语表示包含搬入装置及搬出装置中某一方的功能或双方的功能的装置。本发明能够适用于设置在半导体制造装置等的附近的装置前自动仓库。标号说明100…移载装置;101…支柱;102…上部轨道;103…铅垂轨道;104…下部轨道；105…保持单元；106…罩；107…水平驱动单元；108…铅垂驱动单元；131…带轮壳体；151…钩形爪；161…上部罩;162…门;163…下部罩;200…装置;201…装卸机;202…对象物;203…凸缘;300…搁架;301…搁架板。·
权利要求
1.一种移载装置，该移载装置将被载置于具备沿铅垂方向配置有多个、且沿水平方向配置有多个的搁架板的搁架的任一搁架板的对象物移载至其他的搁架板， 上述移载装置的特征在于， 上述移载装置具备 两根支柱，该两根支柱配置于搁架的前侧，且以沿铅垂方向延伸的方式配置； 上部轨道，该上部轨道沿水平方向延伸，且呈桥状地安装于上述支柱的上部的前侧面； 铅垂轨道，该铅垂轨道以沿铅垂方向延伸的方式配置，且以能够滑动的方式与上述上部轨道的侧面连接； 下部轨道，该下部轨道配置在上述平面内的上述铅垂轨道的下方，安装于上述支柱的下部，且以能够滑动的方式与上述铅垂轨道连接；以及 保持单元，该保持单元以能够装卸的方式保持上述对象物，以呈从上述铅垂轨道朝搁架突出的突出状的方式配置，且该保持单元以能够滑动的方式与上述铅垂轨道的侧面连接。
2.根据权利要求I所述的移载装置，其特征在于， 上述移载装置还具备配置于上述支柱的前侧、且覆盖上述保持单元的活动区域的罩， 上述罩包括 上部罩，该上部罩覆盖上述上部轨道；以及 下部罩，该下部罩配置于相比上述上部罩靠后方的位置，且覆盖上述活动区域的下部。
3.根据权利要求I所述的移载装置，其特征在于， 上述上部轨道具备水平驱动上述铅垂轨道的水平驱动单元，上述下部轨道不具备水平驱动上述铅垂轨道的水平驱动单元。
4.根据权利要求I所述的移载装置，其特征在于， 上述铅垂轨道在上端部侧方具备沿铅垂方向驱动上述保持单元的铅垂驱动单元， 上述上部轨道配置于相比上述铅垂驱动单元靠下方的位置。
全文摘要
本发明提供一种移载装置(100)，该移载装置(100)用于移载被载置于搁架(300)的任一搁架板(301)的对象物(202)，该移载装置(100)具备两根支柱(101)，其配置于搁架(300)的前侧，且以沿铅垂方向延伸的方式配置；上部轨道(102)，其呈桥状地安装于支柱(101)的上部的前侧面；铅垂轨道(103)，其配置于包含两根支柱(101)的平面内，且以能够滑动的方式与上部轨道(102)的侧面连接；下部轨道(104)，其配置在铅垂轨道(103)的下方，安装于支柱(101)的下部，且以能够滑动的方式与铅垂轨道(103)连接；以及保持单元(105)，其以能够装卸的方式保持对象物(202)，且以能够滑动的方式与铅垂轨道(103)的侧面连接。
文档编号H01L21/677GK102893385SQ201080066678
公开日2013年1月23日 申请日期2010年5月13日 优先权日2010年5月13日
发明者伊藤靖久 申请人:村田机械株式会社