专利名称：晶圆移转缓冲装置的制作方法
技术领域：
本实用新型关于一种晶圆移转缓冲装置，尤其是一种可避免当晶圆承载装置因故 而无法容置晶圆时，可缓冲容置晶圆的装置
背景技术：
目前常见的晶圆承载装置主要有两种不同设计，一种为晶圆片匣(cassette)，具 有顶部、底部及左右侧壁，并且在两侧壁上形成有多凸缘，而晶圆则从上述顶部、底部及左 右侧壁所共同围绕出的侧向出入口进出，而另一种晶圆承载装置为晶圆片盒(magazine)， 是一种上方形成有一个顶端汲放口的承载装置；由于两种晶圆承载装置所移载晶圆的方式有很大差异，故是属于两种不同系统所 使用的承载装置，但在实际使用者的设厂过程，往往会取其所需而自行组合运用，因此两种 晶圆承载装置之间的移动变换也是频繁出现的，因此为了在自动化作业的移载晶圆过程 中，要求晶圆片匣与晶圆片盒间能够顺利转换承载传送，并且不会对晶圆造成破坏或损毁， 无疑成为业界关注的焦点。因此，若能提供一种自动化缓冲容置晶圆装置，在晶圆承载装置无法承载晶圆时， 具有暂时容置晶圆的功能，以保持自动化测试机台的检测作业流程能够以一贯化的方式进 行，同时能降低晶圆损毁率，应为最佳解决方案。
发明内容本实用新型的目的即在于提供一种晶圆移转缓冲装置，其能使得晶圆在晶圆承载 装置之间移转容置时，避免晶圆承载装置无法容置晶圆时，发生持续运送的晶圆相互碰撞 而导致晶圆毁损情况发生，且晶圆在晶圆承载装置的间移转容置时，可缓冲容置。为实现上述目的，本实用新型公开了一种晶圆移转缓冲装置，设置于两个晶圆承 载装置的输送带间，其特征在于该晶圆移转缓冲装置包含一缓冲容置架，其中包含有一组容置架，该组容置架跨设于输送带两侧，该组容置 架的相对壁面上形成有多个用以提供晶圆置放的至少一容置晶圆空间的凹槽；以及一设置于缓冲容置架下方以调整高度使输送带通过缓冲容置架不同高度位置的 驱动机构。其中，该缓冲容置架的该组容置架设置于一底座上。其中，缓冲容置架的该组容置架设置于一驱动机构上。其中，该容置晶圆空间与底座之间形成一提供晶圆输送装置通过的通道。其中，该晶圆承载装置为晶圆片匣或晶圆片盒。其中，该驱动机构为油压式升降台或液压式升降台。通过上述结构，本实用新型实现了以下技术效果1.通过设置驱动机构、空间和通道，使晶圆在晶圆承载装置的间移转容置时，避 免晶圆承载装置无法容置晶圆时，发生持续运送的晶圆相互碰撞而导致晶圆的毁损情况发生。2.其还可应用于各种晶圆承载装置进行移转容置时，可使各种晶圆承载装置能够 顺利转换承载传送，并降低晶圆碰撞所产生的损失。3.可将容置架直接设置于晶圆输送装置之上，方便使用者可以自行组合运用。有关于本实用新型的前述及其他技术内容、特点与功效，在以下配合参考图式的 较佳实施例的详细说明中，将可清楚的呈现。
图IA为本实用新型晶圆移转缓冲装置的立体结构图；图IB为本实用新型晶圆移转缓冲装置的侧视图；图IC为本实用新型晶圆移转缓冲装置的另一结构侧视图；图2为本实用新型晶圆移转缓冲装置的正常情况示意图；图3A为本实用新型晶圆移转缓冲装置的实施例图；图3B为本实用新型晶圆移转缓冲装置的实施例图；图3C为本实用新型晶圆移转缓冲装置的实施例图；图3D为本实用新型晶圆移转缓冲装置的实施例图；图3E为本实用新型晶圆移转缓冲装置的实施例图；以及图3F为本实用新型晶圆移转缓冲装置的实施例图。
具体实施方式
请参阅图1A、图1B、图IC及图2为本实用新型晶圆移转缓冲装置1的立体结构 图、结构侧视图、另一结构侧视图及正常情况示意图，而该晶圆移转缓冲装置1设置于两个 晶圆承载装置的晶圆输送装置上，由图IA中可知，该晶圆移转缓冲装置1主要包括一缓冲容置架11，设置于驱动机构12上方，其中包含有一底座111、一组左右容置 架112，113，而该左右容置架112，113设置于底座111上，该左右容置架112，113跨设于输 送道2两侧，且该左右容置架112，113之间所形成的空间可允许输送带2通过，另外该左右 容置架112，113的相对壁面上设置了多个凹槽1131，而左右容置架112，113的相对凹槽间 则会形成一容置晶圆空间114，而该容置晶圆空间与底座111之间会形成一通道115，以利 于晶圆移转缓冲装置1于晶圆31，32正常运作情况下，该输送带2可以通过该通道115 (请 参考图IB及图2)；一驱动机构12，设置于缓冲容置架11下方，该驱动机构12可依据高度需求带动调 整升降，进而带动缓冲装置容置架11垂直位移，使输送带2与容置晶圆空间114位置相对 变化，因此当晶圆承载装置(晶圆片匣、晶圆片盒等等可以承载晶圆的容器)因故而无法容 置晶圆时，该驱动机构12会上升、下降使输送带2移载的晶圆31，32可陆续暂存于缓冲容 置架的容置晶圆空间114中，以避免因晶圆相互碰撞而导致晶圆的毁损；而该驱动机构12 的驱动方式可为油压式升降台、液压式升降台等升降装置；值得一提的是，另一种缓冲容置架11的左右容置架112，113亦可直接设置于一驱 动机构上，直接带动调整高度，进而带动缓冲装置容置架11垂直位移(请参考图1C)。请参阅图3A至图3F，为本实用新型晶圆移转缓冲装置的缓冲容置实施例图，由图中可知，该晶圆移转缓冲装置的其中一实施运作方式为1.当前方晶圆承载装置因故而无法容置晶圆时，该驱动机构12会自动调整(下 降)使输送带2可通过缓冲容置架11的容置晶圆空间(请参考图3A)；2.输送带2移载的晶圆31已开始与左右容置架112，113的相对凹槽接触(请参 考图3B)；3.当输送带2移载的晶圆31完全置放于左右容置架112，113的相对凹槽中时，缓 冲容置架11下方的驱动机构12则会将上升一格的距离，以便下一格相对凹槽可容置次一 片的晶圆32 (请参考图3C)4.原本在输送带上的晶圆32亦完全置放于左右容置架112，113的相对凹槽中， 同时因为故障排除的缘故，会将输送带2停止运作，而该驱动机构12则会将一并停止运作 (请参考图3D)5.当晶圆承载装置问题已排除，该输送带2开始运作，并藉由驱动机构12自动调 整(下降)使将置放于相对凹槽中的晶圆32向前运送(请参考图3E)；6.当输送带2移载的晶圆32完全离开左右容置架112，113的相对凹槽时，该驱 动机构12开始下降一格，以便晶圆31可离开左右容置架112，113的相对凹槽(请参考图 3F)。值得一提的是，当输送带2位置高于容置晶圆空间时(输送带2于缓冲容置架11 上方运作)，可采用另一种开始作动方式与前一实施例相反，因此当前方晶圆承载装置因故 而无法容置晶圆时，该驱动机构12会调整(上升)使输送带2可通过缓冲容置架11的容 置晶圆空间(请参考图3A)，而后则以相同前一实施例的程序继续进行。本实用新型所提供的晶圆移转缓冲装置，与其他习用技术相互比较时，更具备下 列优点1.本实用新型的晶圆移转缓冲装置，可使晶圆在晶圆承载装置的间移转容置时， 避免晶圆承载装置无法容置晶圆时，发生持续运送的晶圆相互碰撞而导致晶圆的毁损情况 发生。2.本实用新型的晶圆移转缓冲装置，为一种可应用于各种晶圆承载装置进行移转 容置时，可使各种晶圆承载装置能够顺利转换承载传送，并降低晶圆碰撞所产生的损失。3.本实用新型的晶圆移转缓冲装置，可直接设置于晶圆输送装置之上，方便使用 者可以自行组合运用。藉由以上较佳具体实施例的详述，希望能更加清楚描述本实用新型的特征与精 神，而并非以上述所揭露的较佳具体实施例来对本实用新型的范畴加以限制。相反地，其目 的是希望能涵盖各种改变及具相等性的安排于本实用新型所欲申请的专利范围的范畴内。
权利要求一种晶圆移转缓冲装置，设置于两个晶圆承载装置的输送带间，其特征在于该晶圆移转缓冲装置包含一缓冲容置架，其中包含有一组容置架，该组容置架跨设于输送带两侧，该组容置架的相对壁面上形成有多个用以提供晶圆置放的至少一容置晶圆空间的凹槽；以及一设置于缓冲容置架下方以调整高度使输送带通过缓冲容置架不同高度位置的驱动机构。
2.如权利要求1所述的晶圆移转缓冲装置，其特征在于，该缓冲容置架的该组容置架 设置于一底座上。
3.如权利要求1所述的晶圆移转缓冲装置，其特征在于，缓冲容置架的该组容置架设 置于一驱动机构上。
4.如权利要求1所述的晶圆移转缓冲装置，其特征在于，该容置晶圆空间与底座之间 形成一提供晶圆输送装置通过的通道。
5.如权利要求1所述的晶圆移转缓冲装置，其特征在于，该晶圆承载装置为晶圆片匣 或晶圆片盒。
6.如权利要求1所述的晶圆移转缓冲装置，其特征在于，该驱动机构为油压式升降台 或液压式升降台。
专利摘要一种晶圆移转缓冲装置，由一缓冲容置架及一驱动机构所组成，其中该缓冲容置架设置于驱动机构上方，而该晶圆移转缓冲装置则设置于两个晶圆承载装置的输送带间，为一可缓冲容置晶圆的装置，因此当晶圆承载装置因故而无法容置晶圆时，可由驱动机构进行升降控制，使在输送带中移载的晶圆陆续暂存于缓冲容置架的容置空间中，以避免因晶圆相互碰撞而导致晶圆的毁损。
文档编号H01L21/673GK201732775SQ20102019040
公开日2011年2月2日 申请日期2010年5月14日 优先权日2010年5月14日
发明者黄祥豪 申请人:致茂电子(苏州)有限公司