专利名称：压力调整装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种调整装置，特别是指一种压力调整装置。
背景技术：
生产工业中，一些电子产品对环境有较高的要求，如设备前端模组(EFEM，Equipment Front End Module)中，首要的问题就是保证高度洁净,如果洁净不能保证的话就很可能污染晶片，导致生产的损失，而要保证高洁净度的一个重要因素就是要与使用环境有一个足够的正压差，传统的EFEM采用单层孔板结构，就提说，也就是在最下端平行于水平面的出风口处放置单层孔板，或是在晶片传送平面与电控部分之间的水平面上放置单层孔板，由于单层孔板的出风口面积不可调，所说就无法满足不同环境下的正压差。
发明内容
鉴于以上内容，有必要提供一种可调节正压差值的压力调整装置。一种压力调整装置，包括一收容室，所述收容室具有一底部，并在所述底部上设有若干与外界连通的通风孔，所述收容室内装设有独立送风单元及调整结构，所述调整结构具有上侧和下侧，所述调整结构设有若干通孔作为出风孔，所述调整结构的上侧连通所述独立送风单元，所述调整结构的下侧连通所述底部，所述调整结构的上侧与其下侧间由于所述独立送风单元的风流由上侧流经所述通孔至下侧形成一正压差值，调整所述调整结构以改变所述调整结构形成的出风口面积而改变所述正压差值的大小。在一实施方式中，所述调整结构包括相互平行的上孔板及下孔板，所述正压差值的大小能够通改变所述上孔板与下孔板在平行于所述上孔板和下孔板所在方向的相对位置来改变。在一实施方式中，所述上孔板与所述下孔板叠加在一起，并通过一锁固件锁入所述上孔板及下可板。在一实施方式中，所述上孔板与所述下孔板结构相同，并分别设有上通孔及下通孔。在一实施方式中，所述独立送风单元的风向垂直于所述上孔板及所述下孔板，并能够穿过所述上孔板上的上通孔及下孔板上的下通孔。在一实施方式中，所述上通孔及所述下通孔交错形成所述出风口，且所述出风口的面积能够通过改变所述上通孔及所述下通孔交错的面积而改变。在一实施方式中，调整结构与所述独立送风单元所述之间形成一传输空间，与所述收容室的底部之间设有电控部分。在一实施方式中，所述上孔板及所述下孔板分别沿相背的方向移动从而能够减小所述出风口面积而增大所述正压差值。在一实施方式中，所述上孔板及所述下孔板沿相向的方向移动从而能够增大所述出风口面积而减小所述正压差值。
在一实施方式中，所述上孔板及所述下孔板均呈矩形。与现有技术相比，上述压力调整装置中，独立送风单元的风向由所述调整结构的上侧至下侧，并形成一正压差值，通过调整所述调整结构而改变其上的出风口面积来改变正压差值的大小，很方便。
图1是本发明压力调整装置的一较佳实施方式的一示意图。图2是图1中沿B-B方向的一俯视图。图3是图2中上位孔的一示意图。图4是图2中下位孔的一示意图。主要元件符号说明
权利要求
1.一种压力调整装置，包括一收容室，所述收容室具有一底部，并在所述底部上设有若干与外界连通的通风孔，其特征在于:所述收容室内装设有独立送风单元及调整结构，所述调整结构具有上侧和下侧，所述调整结构设有若干通孔作为出风孔，所述调整结构的上侧连通所述独立送风单元，所述调整结构的下侧连通所述底部，所述调整结构的上侧与其下侧间由于所述独立送风单元的风流由上侧流经所述通孔至下侧形成一正压差值，调整所述调整结构以改变所述调整结构形成的出风口面积而改变所述正压差值的大小。
2.如权利要求1所述的压力调整装置，其特征在于:所述调整结构包括相互平行的上孔板及下孔板，所述正压差值的大小能够通改变所述上孔板与下孔板在平行于所述上孔板和下孔板所在方向的相对位置来改变。
3.如权利要求2所述的压力调整装置，其特征在于:所述上孔板与所述下孔板叠加在一起，并通过一锁固件锁入所述上孔板及下可板。
4.如权利要求3所述的压力调整装置，其特征在于:所述上孔板与所述下孔板结构相同，并分别设有上通孔及下通孔。
5.如权利要求4所述的压力调整装置，其特征在于:所述独立送风单元的风向垂直于所述上孔板及所述下孔板，并能够穿过所述上孔板上的上通孔及下孔板上的下通孔。
6.如权利要求5所述的压力调整装置，其特征在于:所述上通孔及所述下通孔交错形成所述出风口，且所述出风口的面积能够通过改变所述上通孔及所述下通孔交错的面积而改变。
7.如权利要求1所述的压力调整装置，其特征在于:调整结构与所述独立送风单元所述之间形成一传输空间，与所述收容室的底部之间设有电控部分。
8.如权利要求2所述的压力调整装置，其特征在于:所述上孔板及所述下孔板分别沿相背的方向移动从而能够减小所述出风口面积而增大所述正压差值。
9.如权利要求8所述的压力调整装置，其特征在于:所述上孔板及所述下孔板沿相向的方向移动从而能够增大所述出风口面积而减小所述正压差值。
10.如权利要求9所述的压力调整装置，其特征在于:所述上孔板及所述下孔板均呈矩形。
全文摘要
一种压力调整装置，包括一收容室，所述收容室具有一底部，并在所述底部上设有若干与外界连通的通风孔，所述收容室内装设有独立送风单元及调整结构，所述调整结构具有上侧和下侧，所述调节结构设有若干通孔作为出风孔，所述调整结构的上侧连通所述独立送风单元，所述调整结构的下侧连通所述底部，所述调整结构的上侧与其下侧间由于所述独立送风单元的风流由上侧流经所述通孔至下侧形成一正压差值，调整所述调整结构以改变所述调整结构形成的出风口面积而改变所述正压差值的大小。
文档编号H01L21/67GK103187336SQ201110449438
公开日2013年7月3日 申请日期2011年12月29日 优先权日2011年12月29日
发明者郑鋆, 曲道奎, 徐方, 李学威, 张鹏, 温燕修, 周道, 边弘晔 申请人:沈阳新松机器人自动化股份有限公司