专利名称：一种引线键合机xy工作台结构的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体集成电路制造领域，特别是涉及后道装备引线键合机的核心部件XY工作台的结构设计。
背景技术：
引线键合设备的根本在于通过劈刀引导金属引线在三维空间中作复杂高速的运动以形成各种满足不同封装形式需要的特殊线弧形状。X，Y,Z三个方向上协调运动的精度和速度，是保证键合设备焊线精度、可靠性、一致性和效率的关键。 传统的键合机XY工作台的X向直线电机安装在绑定头的左侧，绑头下面还需要基座来支撑X向直线电机基座，Y向直线电机基座和键合头，这样将导致整个XY工作台占空间面积大，并且需要基座和X向直线电机动子的精密配合加上高精度的机械设计和装配才能保证XY工作台装配精度的技术问题。
发明内容
为了更好地提高引线键合机自动生产过程中的速度、精度和可靠性，本发明提供了一种新型引线键合机XY工作台。本发明采用的技术方案是一种引线键合机XY工作台结构，由引线键合机构、矿物质铸件基座、矿物质支腿和基础钢板组成，矿物质铸件基座为人造理石铸造而成的二层阶梯的台阶形状基座，其中第一层台阶开有垂直方向的走线孔用于导线安装；第二层台阶水平表面提供了 X向交叉滚子安装面，第二层台阶水平表面还开有X向直线电机定子安装孔，X向交叉滚子安装孔，第二层台阶水平表面上还开有X向直线电机安装凹槽，在X向直线电机安装凹槽的侧面开有走线凹槽；第三层台阶水平表面上开有Y向直线电机定子安装孔；在第二层台阶的垂直面上开有水平向的导线孔；矿物质铸件基座的四角留有矿物质支腿的安装孔，四根大螺栓通过矿物质支腿安装孔将矿物质铸件基座，矿物质支腿和基础钢板固定连接在一起，在矿物质支腿上开有若干个走线孔；
引线键合机构由Y向直线电机定子，Y向直线电机动子，X向直线电机定子，X向直线电机动子，X向基座，Y向基座，键合头，Y向交叉滚子，X向交叉滚子和Y向直线电机动子散热器组成
用交叉滚子专用螺丝将X向交叉滚子通过X向交叉滚子安装孔安装在X向交叉滚子安装面上；
用螺丝通过X向基座上的X向直线电机动子安装螺丝孔将X向直线电机动子和X向基座固定在一起；
将Y向直线电机定子用螺丝通过Y向直线电机定子安装孔固定在矿物质铸件基座上；将X向直线电机定子用X向直线电机定子安装螺丝通过X向直线电机定子安装孔安装进X向直线电机安装凹槽里面；
用X向交叉滚子安装螺丝通过X向交叉滚子螺丝安装孔将X向交叉滚子安装在由矿物质材料铸成的X向交叉滚子安装面上；
用X向交叉滚子安装螺丝将X向交叉滚子和X向基座连在一起；
用Y向交叉滚子安装螺丝将Y向交叉滚子的一侧安装到Y向基座上，用Y向交叉滚子安装螺丝将Y向交叉滚子的另一侧固定到X向基座上，将Y向直线电机动子散热器和Y向直线电机动子的对齐边对齐，用Y向直线电机动子安装螺丝将其固定在Y向基座上。本发明的有益效果是这种引线键合机XY工作台结构结构省略掉传统结构左侧安装X向直线电机，这样键合头部分的所有重量都承载在X向直线电机动子上方的X向直线电机基座上面，因为不需要额外的机械连接，所以能够增加X方向的机械刚性和强度；本发明的这种结构的另一个好处就是机台的重心会向中间偏移，利于整个机台的稳定，从而大大增加了机器焊接的稳定性。
图I是本发明引线键合机XY工作台结构的结构示意图。图中1、Y向直线电机定子，2、Υ向直线电机动子，3、Χ向直线电机定子，4、Χ向直线电机动子，5、X向基座，6、Y向基座，7、X向直线电机矿物质铸件基座，8、X向直线电机安装凹槽，9、键合头。图2是本发明矿物质基础基座结构不意图。图中21-24、χ向直线电机定子安装孔，51-56、γ向直线电机定子安装孔，70-79、X向交叉滚子安装孔，8、X向直线电机安装凹槽，10、X直线电机动子走线凹槽。图3是本发明引线键合机XY工作台结构组装结构分解图。图中I、Y向直线电机定子，2、Y向直线电机动子，3、X向直线电机定子，4、X向直线电机动子，5、X向基座，6、Y向基座，7、X向直线电机矿物质铸件基座，8、X向直线电机安装凹槽凹槽，10、X直线电机动子走线凹槽，70-79、X向交叉滚子安装孔，80-89、X向交叉滚子螺丝安装孔，90-99、X向交叉滚子安装螺丝I (安装到70-79)，101、X向直线电机定子安装螺丝，IOUX向直线电机定子安装螺丝，102,X向直线电机动子安装螺丝，103,X向交叉滚子安装螺丝2 (通过X向基座5安装到X向交叉滚子螺丝安装孔80-89)，104-105,Y向交叉滚子安装螺丝，106，Y向直线电机动子安装螺丝，IlUY向交叉滚子，112,Y向直线电机动子散热器，113、X向交叉滚子安装面，114-115、X向交叉滚子，116、X向直线电机动子安装孔。
具体实施例方式下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。图1、2、3示出了引线键合机XY工作台的结构图 以下结合附图对本发明作进一步的说明
一种引线键合机XY工作台结构，由引线键合机构、矿物质铸件基座(7)、矿物质支腿(117)和基础钢板(118)组成，矿物质铸件基座(7)为人造理石铸造而成的三层阶梯的台阶形状基座，其中第一层台阶开有垂直方向的走线孔用于导线安装；第二层台阶水平表面提供了 X向交叉滚子安装面(113)，第二层台阶水平表面还开有X向直线电机定子安装孔(41-44)，X向交叉滚子安装孔(70-79)，第二层台阶水平表面上还开有X向直线电机安装凹槽(8)，在X向直线电机安装凹槽(8)的侧面开有走线凹槽(10)，在第二层台阶的垂直面上开有水平向的导线孔；第三层台阶水平表面上开有Y向直线电机定子安装孔(51-56);矿物质铸件基座(7)的四角留有矿物质支腿(117)的安装孔(31-34)，四根大螺栓通过矿物质支腿安装孔(31-34)将矿物质铸件基座(J)，矿物质支腿(117)和基础钢板(118)固定连接在一起，在矿物质支腿(117)上开有若干个走线孔。引线键合机构包括Y向直线电机定子(I)，Y向直线电机动子(2)，X向直线电机定子(3)，X向直线电机动子(4)，X向基座(5)，Y向基座(6)，键合头(9)，交叉滚子安装螺丝，Y向交叉滚子(111)，X向交叉滚子(114-115)和Y向直线电机动子散热器(112)；
用交叉滚子专用螺丝将X向交叉滚子(114-115)通过X向交叉滚子安装孔(70-79)安装在X向交叉滚子安装面(113)上；
用螺丝(102)通过X向基座(5)上的X向直线电机动子安装螺丝孔(116)将X向直线电机动子⑷和X向基座(5)固定在一起；
将Y向直线电机定子(I)用螺丝通过Y向直线电机定子安装孔(51-56)固定在矿物质基础基座(图2)上;
将X向直线电机定子(3)用X向直线电机定子安装螺丝(101)通过X向直线电机定子安装孔(41-44)安装进X向直线电机安装凹槽(10)里面；
用X向交叉滚子安装螺丝(90-99)通过X向交叉滚子螺丝安装孔(80-89)将X向交叉滚子(114-115)安装在由矿物质材料铸成的X向交叉滚子安装面(113)上；
用X向交叉滚子安装螺丝(103)将X向交叉滚子(114-115)和X向基座(5)连在一起；用Y向交叉滚子安装螺丝(104)将Y向交叉滚子(111)的一侧安装到Y向基座(6)上，用Y向交叉滚子安装螺丝(105)将Y向交叉滚子(111)的另一侧固定到X向基座(5)上，将Y向直线电机动子散热器(I 12)和Y向直线电机动子(2)的对齐边对齐，用Y向直线电机动子安装螺丝(106)将其固定在Y向基座(6)上。
权利要求
1.一种引线键合机XY工作台结构，由矿物质铸件基座，Y向直线电机定子(1)，Y向直线电机动子(2)，X向直线电机定子(3)，X向直线电机动子(4)，X向基座(5)，Y向基座(6)，Y向交叉滚子(111)，X向交叉滚子(114-115)，Y向直线电机动子散热器(112)组成；矿物质铸件基座为人造理石铸造而成的三层阶梯的台阶形状基座，其中第一层台阶开有垂直方向的走线孔用于导线安装；第二层台阶水平表面提供了 X向交叉滚子安装面(113)，第二层台阶水平表面还开有X向直线电机交叉滚子安装孔(70-79)和预留X向直线电机安装凹槽(8);在X向直线电机安装凹槽(8)的底部预留X向直线电机定子安装孔(21-24)，在凹槽(8)侧面开有X向直线电机动子走线凹槽(10);第三层台阶水平表面上开有Y向直线电机定子安装孔(51-56);其特征在于 引线键合机构由Y向直线电机定子(1)，Y向直线电机动子(2)，X向直线电机定子(3)，X向直线电机动子(4)，Χ向基座(5)，Υ向基座(6)，交叉滚子安装螺丝，Y向交叉滚子(111)，X向交叉滚子(114-115)，Y向直线电机动子散热器(112)组成； Y向直线电机定子(I)用螺丝通过Y向直线电机定子安装孔(51-56)固定在矿物质铸件基座上； X向直线电机定子(3)用X向直线电机定子安装螺丝(101)通过X向直线电机定子安装孔(21-24)安装进X向直线电机安装凹槽(8)里面； 用螺丝(102)通过基座(5)上的X向直线电机动子安装螺丝孔(116)将X向直线电机动子⑷和X向基座(5)固定在一起； X向交叉滚子安装螺丝(90-99)通过X向交叉滚子螺丝安装孔(80-89)将X向交叉滚子(114-115)的一侧固定在由矿物质材料铸成的X向交叉滚子安装面(113)上； 用X向交叉滚子安装螺丝(103)将X向交叉滚子(114-115)的另一侧和X向基座(5)固定在一起，这样就组成了 XY工作台的X向运动机械结构； 用Y向交叉滚子安装螺丝(104)将Y向交叉滚子(111)的一侧安装到Y向基座(6)上，用Y向交叉滚子安装螺丝(105)将Y向交叉滚子(111)的另一侧固定到X向基座(5)上，将Y向直线电机动子散热器(I 12)和Y向直线电机动子(2)的对齐边对齐，用Y向直线电机动子安装螺丝(106 )将其固定在Y向基座(6 )上，这样就实现了 XY工作台在X和Y方向上的机械解耦。
全文摘要
一种引线键合机XY工作台结构，属于半导体集成电路制造领域。这种引线键合机XY工作台结构省略掉传统结构左侧安装X向直线电机，巧妙的利用了在传统X基座下方用基座支撑结构的空间，这样键合头部分的所有重量都承载在X向直线电机动子上方的X向直线电机基座上面，因为不需要额外的机械连接，所以能够增加X方向的机械刚性和强度；本发明的这种结构的另一个好处就是机台的重心会向中间偏移，利于整个机台的稳定，从而大大增加了机器焊接的稳定性。
文档编号H01L21/60GK102956516SQ20121046765
公开日2013年3月6日 申请日期2012年11月19日 优先权日2012年11月19日
发明者张飞, 徐大林 申请人:大连佳峰电子有限公司