专利名称：一种全自动上芯机的自动撑膜装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种全自动上芯机，特别是一种应用于全自动上芯机上的机械装置部件。
背景技术：
上芯机是半导体芯片后续封装生产工序的关键设备之一。目前，这类全自动上芯机大部分依赖进口，国内只有少数的三两家设备制造商能生产这类设备。然而，在全自动上芯机工作运行中，自动撑膜部件能否精确、可靠运行，是非常关键的，其关系到顶针能否准确地从薄膜上吸取到晶片，直接影响机器的封装效率和封装质量。因此，全自动上芯机的 自动撑膜部件是一个非常重要的工作机构，其直接决定着一台全自动上芯机能否可靠地运行，实现闻精度、闻效率封装的关键。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种运行可靠、精确度高、结构简单、使用寿命长的全自动上芯机的自动撑膜装置。本实用新型的技术方案是这样实现的一种全自动上芯机的自动撑膜装置，其特点在于包括饲服电机、X向运动机构、Y向运动机构、撑膜平台、气缸、撑膜环件、撑膜机件，其中Y向运动机构设置于X向运动机构上，并且X向运动机构、Y向运动机构分别各与一个饲服电机相传动连接；所述撑膜平台安装于Y向运动机构上；所述撑膜环件设置于撑膜平台上，所述撑膜平台的四周边角上分别各设置有一个气缸，所述撑膜机件的四周边角分别相对应地与各气缸相连接，所述撑膜环件的上部穿套于撑膜机件中。其中，所述X向运动机构与Y向运动机构分别由底板、滑轨、滑块、螺杆、螺杆套、螺杆支座构成，所述Y向运动机构的底板固定安装于X向运动机构的滑块上，所述撑膜平台固定安装于Y向运动机构的滑块上。本实用新型的有益效果将本装置应用在全自动上芯机上，工作时，在气缸向上运动，将撑膜机件向上升起，将薄膜铺设在撑膜环件上，使气缸向下运动，撑膜机件向下降下，薄膜被撑开并罩在撑膜环件上，将若干晶片铺放在薄膜上，供全自动上芯机的另一个工作部件吸取；同时，整张薄膜在全自动上芯机的协调统一控制下，利用X向运动机构、Y向运动机构带动，实现X向来回水平移动和Y向来回水平移动，以配合全自动上芯机的工作部件吸取薄膜不同位置上的晶片。本装置具有运行可靠、效率高、精确度高、结构简单、使用寿命长的特点，可以有效满足全自动上芯机制造应用的要求。
以下结合附图对本实用新型作进一步的说明
[0010]图I为本实用新型的拆装结构示意图。图2为本实用新型的立体结构示意图。
具体实施方式
如图I与图2所示，本实用新型所述的一种全自动上芯机的自动撑膜装置，其包括饲服电机I、X向运动机构2、Y向运动机构3、撑膜平台4、气缸5、撑膜环件6、撑膜机件7，其中Y向运动机构3设置于X向运动机构上，并且X向运动机构2、Y向运动机构3分别各与一个饲服电机I相传动连接；所述撑膜平台2安装于Y向运动机构3上，并在X向运动机构2、Y向运动机构3带动下，所述撑膜平台2实现X向来回水平运动和Y向来回水平运动。所述撑膜环件6设置于撑膜平台4上，所述撑膜平台4的四周边角上分别各设置有一个气缸5，所述撑膜机件7的四周边角分别相对应地与各气缸5相连接，所述撑膜环件6的上部穿套于撑膜机件7中。为了使X向运动机构2与Y向运动机构3具有结构简单、实现容易、可靠性高的特点，如图I所示，所述X向运动机构2与Y向运动机构3分别由底板8、滑轨9、滑块10、螺杆
11、螺杆套12、螺杆支座13构成，所述Y向运动机构3的底板8固定安装于X向运动机构2的滑块10上，所述撑膜平台4固定安装于Y向运动机构3的滑块10上。此外，为了使撑膜环件6能够简单可靠地安装于撑膜平台4上，如图I所示，所述撑膜平台4上设有环槽14，所述撑膜环件6安装于环槽14中。同时，所述撑膜机件7中部设有供撑膜环件6穿套的通孔15。
权利要求1.一种全自动上芯机的自动撑膜装置，其特征在于包括饲服电机(I)、X向运动机构(2)、Y向运动机构(3)、撑膜平台⑷、气缸(5)、撑膜环件(6)、撑膜机件(7)，其中Y向运动机构(3)设置于X向运动机构上，并且X向运动机构(2)、Y向运动机构(3)分别各与一个饲服电机(I)相传动连接；所述撑膜平台(2)安装于Y向运动机构(3)上；所述撑膜环件(6)设置于撑膜平台(4)上，所述撑膜平台(4)的四周边角上分别各设置有一个气缸(5)，所述撑膜机件(7)的四周边角分别相对应地与各气缸(5)相连接，所述撑膜环件￠)的上部穿套于撑膜机件(7)中。
2.根据权利要求I所述全自动上芯机的自动撑膜装置，其特征在于所述X向运动机构(2)与Y向运动机构(3)分别由底板(8)、滑轨(9)、滑块(10)、螺杆(11)、螺杆套(12)、螺杆支座(13)构成，所述Y向运动机构(3)的底板⑶固定安装于X向运动机构⑵的滑块(10)上，所述撑膜平台⑷固定安装于Y向运动机构(3)的滑块(10)上。
3.根据权利要求I所述全自动上芯机的自动撑膜装置，其特征在于所述撑膜平台(4)上设有环槽(14)，所述撑膜环件(6)安装于环槽(14)中。
4.根据权利要求I所述全自动上芯机的自动撑膜装置，其特征在于所述撑膜机件(7)中部设有供撑膜环件￠)穿套的通孔(15)。
专利摘要本实用新型涉及一种全自动上芯机的自动撑膜装置，其特点在于包括饲服电机、X向运动机构、Y向运动机构、撑膜平台、气缸、撑膜环件、撑膜机件，其中Y向运动机构设置于X向运动机构上，并且X向运动机构、Y向运动机构分别各与一个饲服电机相传动连接；撑膜平台安装于Y向运动机构上；所述撑膜环件设置于撑膜平台上，撑膜平台的四周边角上分别各设置有一个气缸，撑膜机件的四周边角分别相对应地与各气缸相连接，撑膜环件的上部穿套于撑膜机件中。铺设在撑膜环件上的整张薄膜，能在全自动上芯机的协调统一控制下，利用X向运动机构、Y向运动机构带动，实现X向来回水平移动和Y向来回水平移动，以配合全自动上芯机吸取薄膜不同位置上的晶片。
文档编号H01L21/677GK202772117SQ201220447179
公开日2013年3月6日 申请日期2012年8月31日 优先权日2012年8月31日
发明者施金佑 申请人:佛山市南海区宏乾电子有限公司