改善器件负偏压温度不稳定性的方法
【专利摘要】本发明提供了一种改善器件负偏压温度不稳定性的方法。利用干法沉积工艺替代湿法沉积工艺来沉积栅极氧化层；而且在沉积栅极氧化层之后，利用高温热氧化工艺在放置了待处理器件的氧化工艺腔中通入氧化气体以生长栅极隔离薄膜。而且，可以在利用高温热氧化工艺生长栅极隔离薄膜的过程中，在氧化气体中掺入二氯硅烷以完成栅极隔离薄膜的高温热氧化工艺。
【专利说明】改善器件负偏压温度不稳定性的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体制造领域，更具体地说，本发明涉及一种通过改进炉管工艺来改善器件负偏压温度不稳定性的方法。
【背景技术】
[0002]在PMOS器件工作时，当栅极处于负偏压下，在经过施加一定时间后，器件的阈值电压绝对值不断增大，漏极电流和跨导不断减小，这种效应会随着偏压的增加而更加显著。
[0003]在现有制程中，栅极氧化层(Gate I oxide)采用湿法沉积(Wet deposition)的工艺，工艺过程中会引入H形成H+，在栅极电场的作用下向栅极方向漂移，某些会被氧化层缺陷俘获形成正氧化层陷阱电荷，这部分电荷会引起阈值电压的漂移，且栅控能力变弱，在相同栅极电压下和漏极电压下，反型层程度降低，饱和电流减小，器件驱动能量下降；另一部分H+还会和界面的S1-H键继续作用使得S1-H分解并形成H2，留下界面陷阱即三价硅的悬挂键，而界面陷阱的产生将导致表面散射率的增大，从而影响载流子迁移率、跨导等。由此，使得器件的负偏压温度不稳定性NBTI (Negativebiastemperature instability)受到影响。
【发明内容】
[0004]本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷，提供一种能够通过改进炉管工艺来改善器件负偏压温度不稳定性的方法。
[0005]为了实现上述技术目的，根据本发明，提供了 一种改善器件负偏压温度不稳定性的方法，其中利用干法沉积工艺替代湿法沉积工艺来沉积栅极氧化层；而且在沉积栅极氧化层之后，利用高温热氧化工艺在放置了待处理器件的氧化工艺腔中通入氧化气体以生长栅极隔离薄膜。
[0006]优选地，在利用高温热氧化工艺生长栅极隔离薄膜的过程中，在氧化气体中掺入
二氯硅烷以完成栅极隔离薄膜的高温热氧化工艺。
[0007]优选地，所述改善器件负偏压温度不稳定性的方法用于制造PM0S。
[0008]优选地，所述改善器件负偏压温度不稳定性的方法用于制造NM0S。
[0009]优选地，所述改善器件负偏压温度不稳定性的方法用于制造CMOS。
[0010]因此，本发明通过利用干法沉积工艺和高温热氧化工艺的组合以改变和改进炉管的工艺，由此降低了工艺过程中H+的产生，从而减少了栅极氧化物和衬底之间的界面的界面陷阱(Si悬挂键)，最终减少了阈值电压的漂移，改善了器件的负偏压温度不稳定性NBT10
【专利附图】
【附图说明】
[0011]结合附图，并通过参考下面的详细描述，将会更容易地对本发明有更完整的理解并且更容易地理解其伴随的优点和特征，其中:[0012]图1示意性地示出了根据本发明优选实施例的改善器件负偏压温度不稳定性的方法。
[0013]需要说明的是，附图用于说明本发明，而非限制本发明。注意，表示结构的附图可能并非按比例绘制。并且，附图中，相同或者类似的元件标有相同或者类似的标号。
【具体实施方式】
[0014]为了使本发明的内容更加清楚和易懂，下面结合具体实施例和附图对本发明的内容进行详细描述。
[0015]在半导体器件的可靠性分析中，负偏压温度不稳定性NBTI (Negative biastemperature instability)是非常重要的考量参数,针对于提升器件的负偏压温度不稳定性NBTI，本发明在栅极氧化层沉积工艺中使用干法沉积(Dry oxidation)替代湿法沉积，并利用掺氯的HTO(热氧化)进行栅极隔离物的生长，从而减少了 H+的产生，降低了正氧化层陷阱电荷的数量，改善了器件的负偏压温度不稳定性NBTI。
[0016]具体地说，通过将现有制程中栅极氧化层沉积工艺的湿法沉积改变成干法沉积，可以减少水汽或者是H2的进入，降低S1-H以及H+的数量，避免S1-H断裂后产生界面陷阱(Si悬挂键)和H+被俘获后产生的正氧化层陷阱电荷，从而提升器件的负偏压温度不稳定性NBTI ;另外，在栅极隔离物的生长中利用HTO(高温热氧化)的方式生长薄膜，高温下同时在氧化气体中掺入二氯硅烷(SiH2Cl2),氯的引入改善了氧化的速度和氧化层的质量，在Si和SiO2的界面Cl和Si结合生成氯硅化物，在高温有氧的情况下，氯硅化物易被氧化成SiO2，氯相当于氧化过程中的催化剂，并且能结合S1-H断裂后产生的氢离子，在减少了界面陷阱(Si悬挂键)的同时也减少了 H+的数目，很大程度上改善了器件的负偏压温度不稳定性NBTI ;另外，氯还能结合薄膜中的一些可能存在的金属元素，提升了薄膜的质量。
[0017]因此，本发明通过利用干法沉积工艺和高温热氧化工艺的组合改变和改进炉管的工艺来降低工艺过程中H+的产生，从而减少了栅极氧化物和衬底之间的界面的界面陷阱(Si悬挂键)，最终减少了阈值电压的漂移，改善了器件的负偏压温度不稳定性NBTI。
[0018]具体地，图1示意性地示出了根据本发明优选实施例的改善器件负偏压温度不稳定性的方法。
[0019]如图1所示，在根据本发明优选实施例的改善器件负偏压温度不稳定性的方法中，利用干法沉积工艺替代湿法沉积工艺来沉积栅极氧化层；而且在沉积栅极氧化层之后，利用高温热氧化工艺在放置了待处理器件的氧化工艺腔中通入氧化气体以生长栅极隔离薄膜。
[0020]优选地，在利用高温热氧化工艺生长栅极隔离薄膜的过程中，在氧化气体中掺入二氯硅烷以完成栅极隔离薄膜的高温热氧化工艺。
[0021]上述方法可用于制造PMOS、NMOS或者CMOS等。
[0022]需要说明的是，除非特别说明或者指出，否则说明书中的术语“第一”、“第二”、“第三”等描述仅仅用于区分说明书中的各个组件、元素、步骤等，而不是用于表示各个组件、元素、步骤之间的逻辑关系或者顺序关系等。
[0023]可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。
【权利要求】
1.一种改善器件负偏压温度不稳定性的方法，其中利用干法沉积工艺替代湿法沉积工艺来沉积栅极氧化层；而且在沉积栅极氧化层之后，利用高温热氧化工艺在放置了待处理器件的氧化工艺腔中通入氧化气体以生长栅极隔离薄膜。
2.根据权利要求1所述的改善器件负偏压温度不稳定性的方法，其特征在于，在利用高温热氧化工艺生长栅极隔离薄膜的过程中，在氧化气体中掺入二氯硅烷以完成栅极隔离薄膜的高温热氧化工艺。
3.根据权利要求1或2所述的改善器件负偏压温度不稳定性的方法，其特征在于，所述改善器件负偏压温度不稳定性的方法用于制造PMOS。
4.根据权利要求1或2所述的改善器件负偏压温度不稳定性的方法，其特征在于，所述改善器件负偏压温度不稳定性的方法用于制造NMOS。
5.根据权利要求1或2所述的改善器件负偏压温度不稳定性的方法，其特征在于，所述改善器件负偏压温度不稳定性的方法用于制造CMOS。
【文档编号】H01L21/285GK103943481SQ201410162847
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2014年4月22日 优先权日:2014年4月22日
【发明者】朱双龙, 胡鹏超, 刘景富 申请人:上海华力微电子有限公司