故障检测系统以及故障检测方法
【专利摘要】一种故障检测系统以及故障检测方法，其对以装置控制层次的操作者状态为对象的FD/FP功能进行强化。故障检测系统具有：用于根据操作者的操作对设定值SP进行设定变更的设定值操作部(10)；基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出的操作量计算部(13)；对示出设定值操作部(10)变更设定值SP的变更频率的操作频率信息进行总计并保持的频率信息处理部(20)；在从外部接收到重置信号时，将保持在频率信息处理部(20)中的操作频率信息重置为零的重置部(21)；以及在操作频率信息的值超过预先规定的阈值时，输出警报的警报输出部(22)。
【专利说明】故障检测系统以及故障检测方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种能够对操作者没有正常操作温度调节计等控制器这一故障进行检测和预测的故障检测系统以及故障检测方法。
【背景技术】
[0002]在半导体制造装置中，EES (设备工程系统(Equipment Engineering System))正向实用阶段过渡。EES是用数据来对半导体制造装置是否正常地发挥功能进行检查，使装置的可靠性、生产效率提高的系统。EES的主要目的是以装置本身为对象的故障检测(FD:Fault Detect1n)、故障预测(FP:Fault Predict1n)(参照非专利文献 I)。
[0003]FD/FP中有装置控制层次、模块层次、子系统层次、I/O设备层次这样的层次化的掌握方法。装置控制层次的FD/FP是基于由主机或操作人员所指示的处理条件，对装置的功能是否在装置规格的允许范围内动作进行监视/检测的FD/FP。模块层次的FD/FP是对由设备或者子系统构成的模块是否能按指示值执行处理进行监视/检测的FD/FP。子系统层次的FD/FP是对由如执行反馈控制那样的多台设备构成的复合系统是否基于若干参数设定稳定地动作进行监视/检测的FD/FP。I/O设备层次的FD/FP是对构成装置的传感器、执行器是否按设计值稳定地动作进行监视/检测的FD/FP。这样，I/O设备层次的主体是传感器及执行器。
[0004]关于执行器的FD/FP，对于用(0，1)位串的数据(执行器数据)就可以完成的顺序控制性的动作，尤其可以说已处于实用阶段。
[0005]另一方面，关于传感器的FD/FP，温度、压力、流量等过程量则成为对象数据。关于这些数据，不能说以msec.层次保存全部数据是合理的。因此，提出有对于装置进行管理的每个处理单位、或者每一定期间对传感器的数据进行代表值化，并对代表值化了的值进行检查的EES对应的基板处理装置(参见专利文献I)等。所谓代表值是指最大值、最小值、平均值等。如果利用这些代表值能够实现FD/FP的话，则与对所有的数据进行监视的情形相比，因为可以大幅度地减少通信量、必要存储量等，所以是高效的。
[0006]作为利用了代表值的FD/FP，已知的有因劣化而引起的加热器线材断线的FP、因过电流而引起的加热器线材断线的FD等。在加热器劣化的情况下，因为加热器的电阻值(非过程量)的平均值将慢慢地上升，所以如果将加热器的电阻值的平均值作为代表值进行检查的话，就能够预测因劣化而引起的加热器线材断线。又，在因过电流而引起加热器线材断线的情况下，因为加热器的电阻值的最大值突发性地上升，所以如果将加热器的电阻值的最大值作为代表值进行检查的话，就能够检测出因过电流而引起的加热器线材断线。
[0007]现有技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献I日本特开2010-219460号公报
[0010]非专利文献
[0011]非专利文献I “关于装置层次的装置功能的性能确认的说明书(装置 > ?^ ^ Q装置機能O性能確認(二関+ 3解説書)”，社团法人电子信息技术产业协会，2005年3月23
曰
【发明内容】
[0012]发明要解决的课题
[0013]如上所述，如果是非过程量的话，就能够进行FD/FP的实用化。然而，在过程量的代表值化中，仅物理性状态成为处理对象，不能对操作者的状态进行处理，因此作为信息来说未必充分。因为EES的装置内分散配置是为了提高EES整体效率的有效安装方法，所以要求以伴随着操作者的操作的装置控制层次进一步强化FD/FP功能。
[0014]本发明正是为了解决上述问题而做出的，目的在于提供一种能够强化以装置控制层次的操作者状态为对象的FD/FP功能的故障检测系统以及故障检测方法。换言之，本发明以装置控制层次提供可以内置也可以外装的简易型的FD/FP相关功能。
[0015]用于解决课题的手段
[0016]本发明的故障检测系统的特征在于，具有:操作量计算单元，所述操作量计算单元基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出；设定值操作单元，所述设定值操作单元用于根据操作者的操作对所述设定值SP进行设定变更；频率信息处理单元，所述频率信息处理单元对示出利用该设定值操作单元进行的设定值SP的变更的频率的操作频率信息进行总计并保持；以及重置单元，所述重置单元在从外部接收到重置信号时，将保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息重置为零。
[0017]又，在本发明的故障检测系统的一构成例中，所述操作频率信息是以下几项中的至少一项:变更频率信息，所述变更频率信息示出所述设定值SP的变更的频率；再变更频率信息，所述再变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率；以及反方向变更频率信息，所述反方向变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率，且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更。
[0018]又，在本发明的故障检测系统的一构成例中，所述操作频率信息是以下几项中的至少一项:变更频率信息，所述变更频率信息示出所述设定值SP的变更的频率；再变更频率信息，所述再变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后所述控制量PV达到变更后的设定值SP之前、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率；以及反方向变更频率信息，所述反方向变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后所述控制量PV达到变更后的设定值SP之前、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率，且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更。
[0019]又，本发明的故障检测系统的一构成例的特征在于，还具有警报输出单元，所述警报输出单元在所述操作频率信息的值超过预先规定的阈值时，输出警报。
[0020]又，本发明的故障检测系统的特征在于，具有:操作量计算单元，所述操作量计算单元基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出；设定值操作单元，所述设定值操作单元用于根据操作者的操作对所述设定值SP进行设定变更；累计信息处理单元，所述累计信息处理单元对示出该设定值操作单元变更设定值SP的变更幅度的累计的操作累计信息进行总计并保持；以及重置单元，所述重置单元在从外部接收到重置信号时，将保持在所述累计信息处理单元中的操作累计信息重置为零。
[0021]又，在本发明的故障检测系统的一构成例中，所述操作累计信息是以下几项中的至少一项:变更累计信息，所述变更累计信息示出所述设定值SP的变更幅度的累计；再变更累计信息，所述再变更累计信息示出在所述设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的情况下的变更幅度的累计；以及反方向变更累计信息，所述反方向变更累计信息示出在所述设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更的情况下的变更幅度的累计。
[0022]又，在本发明的故障检测系统的一构成例中，所述操作累计信息是以下几项中的至少一项:变更累计信息，所述变更累计信息示出所述设定值SP的变更幅度的累计；再变更累计信息，所述再变更累计信息示出在所述设定值SP的变更进行后所述控制量PV达到变更后的设定值SP之前、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的情况下的变更幅度的累计；以及反方向变更累计信息，所述反方向变更累计信息示出在所述设定值SP的变更进行后所述控制量PV达到变更后的设定值SP之前、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更的情况下的变更幅度的累计。
[0023]又，本发明的故障检测系统的一构成例的特征在于，还具有警报输出单元，所述警报输出单元在所述操作累计信息的值超过预先规定的阈值时，输出警报。
[0024]又，本发明的故障检测系统的一构成例的特征在于，还具有:频率信息取得单元，所述频率信息取得单元以预先规定的间隔取得保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息；重置信号发送单元，所述重置信号发送单元在所述操作频率信息的取得后将所述重置信号发送至所述重置单元；频率信息履历存储单元，所述频率信息履历存储单元对由所述频率信息取得单元取得的操作频率信息进行存储；以及判定单元，所述判定单元在最新的操作频率信息的值相对于存储在该频率信息履历存储单元中的过去的任意的操作频率信息的值的增加量超过预先规定的阈值时，输出警报。
[0025]又，本发明的故障检测系统的一构成例的特征在于，还具有:累计信息取得单元，所述累计信息取得单元以预先规定的间隔取得保持在所述累计信息处理单元中的操作累计信息；重置信号发送单元，所述重置信号发送单元在所述操作累计信息的取得后将所述重置信号发送至所述重置单元；累计信息履历存储单元，所述累计信息履历存储单元对由所述累计信息取得单元取得的操作累计信息进行存储；以及判定单元，所述判定单元在最新的操作累计信息的值相对于存储在该累计信息履历存储单元中的过去的任意的操作累计信息的值的增加量超过预先规定的阈值时，输出警报。
[0026]又，本发明的故障检测方法的特征在于，包括:操作量计算步骤，基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出；频率信息处理步骤，用频率信息处理单元对示出通过操作者的操作进行的设定值SP的变更的频率的操作频率信息进行总计并保持；以及重置步骤，在从外部接收到重置信号时，将保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息重置为零。
[0027]又，本发明的故障检测方法的一构成例的特征在于，还包括警报输出步骤，在所述操作频率信息的值超过预先规定的阈值时，输出警报。
[0028]又，本发明的故障检测方法的特征在于，包括:操作量计算步骤，基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出；累计信息处理步骤，用累计信息处理单元对示出操作者的操作变更设定值SP的变更幅度的累计的操作累计信息进行总计并保持；以及重置步骤，在从外部接收到重置信号时，将保持在所述累计信息处理单元中的操作累计信息重置为零。
[0029]又，本发明的故障检测方法的一构成例的特征在于，还包括警报输出步骤，在所述操作累计信息的值超过预先规定的阈值时，输出警报。
[0030]又，本发明的故障检测方法的一构成例的特征在于，还包括:频率信息取得步骤，以预先规定的间隔取得保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息；重置信号发送步骤，在所述操作频率信息的取得后发送所述重置信号；频率信息履历存储步骤，将在所述频率信息取得步骤中取得的操作频率信息存储到频率信息履历存储单元中；以及判定步骤，在最新的操作频率信息的值相对于存储在该频率信息履历存储单元中的过去的任意的操作频率信息的值的增加量超过预先规定的阈值时，输出警报。
[0031]又，本发明的故障检测方法的一构成例的特征在于，还包括:累计信息取得步骤，以预先规定的间隔取得保持在所述累计信息处理单元中的操作累计信息；重置信号发送步骤，在所述操作累计信息的取得后发送所述重置信号；累计信息履历存储步骤，将在所述累计信息取得步骤中取得的操作累计信息存储到累计信息履历存储单元中；以及判定步骤，在最新的操作累计信息的值相对于存储在所述累计信息履历存储单元中的过去的任意的操作累计信息的值的增加量超过预先规定的阈值时，输出警报。
[0032]发明效果
[0033]根据本发明，通过设置频率信息处理单元，能够强化以装置控制层次的操作者状态为对象的FD/FP功能，能够对操作者没有正常地操作温度调节计等控制器的故障进行检测和预测。
[0034]又，在本发明中，通过将设定值SP的变更进行后控制量PV达到变更后的设定值SP之前、设定值SP的变更被再次进行的频率作为再变更频率信息进行总计，将设定值SP的变更进行后控制量PV达到变更后的设定值SP之前、设定值SP的变更被再次进行的频率作为反方向变更频率信息进行总计，且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更，能够检测出反馈控制系统中特有的非正常性操作。
[0035]又，在本发明中，通过设置累计信息处理单元，能够强化以装置控制层次的操作者状态为对象的FD/FP功能，能够对操作者没有正常地操作温度调节计等控制器的故障进行检测和预测。
[0036]又，在本发明中，通过将设定值SP的变更进行后控制量PV达到变更后的设定值SP之前、设定值SP被再次进行变更的情况下的变更幅度的累计作为再变更累计信息进行总计，将设定值SP的变更进行后控制量PV达到变更后的设定值SP之前、设定值SP的变更被再次进行且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更的情况下的变更幅度的累计作为反方向变更累计信息进行总计，能够检测出反馈控制系统中特有的非正常性操作。
[0037]又，在本发明中，通过设置频率信息取得单元、频率信息履历存储单元和判定单元，能够实现更高级的操作者状态检测。
[0038]又，在本发明中，通过设置累计信息取得单元、累计信息履历存储单元和判定单元，能够实现更高级的操作者状态检测。
【专利附图】
【附图说明】
[0039]图1是示出本发明的第一实施形态所涉及的故障检测系统的结构的框图。
[0040]图2是示出本发明的第一实施形态所涉及的故障检测系统的动作的流程图。
[0041]图3是示出本发明的第一实施形态所涉及的故障检测系统的动作例的图。
[0042]图4是示出本发明的第二实施形态所涉及的故障检测系统的结构的框图。
[0043]图5是示出本发明的第二实施形态所涉及的故障检测系统的动作的流程图。
[0044]图6是示出本发明的第二实施形态所涉及的故障检测系统的动作例的图。
[0045]图7是示出本发明的第三实施形态所涉及的故障检测系统的结构的框图。
[0046]图8是示出本发明的第三实施形态所涉及的故障检测系统的动作的流程图。
[0047]图9是示出本发明的第三实施形态所涉及的故障检测系统的动作例的图。
[0048]图10是示出本发明的第四实施形态所涉及的故障检测系统的结构的框图。
[0049]图11是示出本发明的第四实施形态所涉及的故障检测系统的动作的流程图。
[0050]图12是示出本发明的第五实施形态所涉及的故障检测系统的结构的框图。
[0051]图13是示出本发明的第五实施形态所涉及的加热装置的结构的框图。
[0052]图14是示出本发明的第五实施形态所涉及的故障检测系统的动作的流程图。
[0053]图15是示出本发明的第五实施形态中的操作频率信息的记录例的图。
【具体实施方式】
[0054][发明原理I]
[0055]
【发明者】着眼于如下所述的性质。
[0056](A)作为由操作者进行的控制器的代表性操作，有设定值SP的变更。
[0057](B)很少在刚进行了一次设定值SP的变更之后，紧接着再次进行变更。
[0058](C)在刚进行了一次设定值SP的变更之后，紧接着进行与该变更反方向的变更(取消操作)是低效率的操作，难以被认为是正常的操作步骤。
[0059]根据上述的㈧?(C)的性质，
【发明者】想到，通过记录设定值SP变更频率、设定值SP变更后的短时间内的再变更频率、设定值SP变更后的短时间内的反方向变更频率等，能够检测到操作者没有正常地操作控制器的状态。由于作为记录的信息量不会变得庞大，因此也能安装在简易型的控制器层次。控制器作为信息检测功能形成FD/FP功能的一部分。并且，用上位层次的PC等对这些频率信息进行加工、进行警报发报和信息分析结果的提示的结构是现实的。但是，如果是简易性的警报功能的话，就也能安装于控制器。
[0060][发明原理2]
[0061]在设定值SP的变更的情况下，除了完全的误操作以外，也存在一旦变更后进行微调层次的变更的情况。例如，由于控制器的操作性的不便，存在以下这样的有意图的再变更:暂且向大概的设定值SP临时变更并开始控制动作，这之后变更为详细的设定值SP。在这种情况下，设定值SP变更后的短时间内的再变更幅度比较小。
[0062]因此，通过记录不仅包含设定值SP的变更频率，还添加了变更幅度的再变更累计、反方向变更累计，就能够用取得该信息的上位层次的PC等进行更详细的分析。但是即使在该情况下，如果是利用了这些累计信息的简易的警报功能的话，也能安装于控制器。
[0063][发明原理3]
[0064]在设定值SP的变更后设定值SP被再次变更时，对于该第二次变更是否在自第一次变更的短时间内被进行的判断，按情况的不同，处理也不同。如果是反馈控制系统的话，设定值SP的变更的目的应该是使控制量PV趋于该变更后的设定值SP，因此在设定值SP变更后控制量PV达到该设定值SP(或SP的附近)以前，处理设定值SP的再变更、反方向变更进行的频率和累计是更现实的。即，通过这样的处理，就能够检测到反馈控制系统中特有的非正常操作。
[0065][第一实施形态]
[0066]以下，参照附图对本发明的实施形态进行说明。图1是示出本发明的第一实施形态所涉及的故障检测系统的结构的框图。本实施形态是对应于上述发明原理I的例子。在此，对以简易型的控制器(温度调节计)实现故障检测系统的例子进行说明。本实施形态的故障检测系统由以往设置于温度调节计的一般性结构的温度调节计控制功能部1、和作为本实施形态的特征结构的FD/FP功能部2构成。
[0067]温度调节计控制功能部I具有:用于操作者通过手动操作对设定值SP进行设定变更的设定值操作部10、从设定值操作部10输入设定值SP的设定值输入部11、从测量仪器输入控制量PV的控制量输入部12、基于设定值SP和控制量PV计算操作量MV的操作量计算部13、以及将操作量MV输出至温度调节计外部的操作量输出部14。
[0068]FD/FP功能部2具有:对示出设定值操作部10变更设定值SP的变更频率的操作频率信息进行总计并保持的频率信息处理部20、在从外部接收到重置信号时将保持于频率信息处理部20的操作频率信息重置为零的重置部21、以及在操作频率信息的值超过预先规定的阈值时向温度调节计外部输出警报的警报输出部22。
[0069]下面，参照图2、图3对本实施形态的故障检测系统的动作进行说明。图2是示出故障检测系统的动作的流程图，图3是示出故障检测系统的动作例的图。图3的横轴是时间，纵轴是控制量PV (温度)。在此，令设定值SP为温度设定值，令控制量PV为温度测量值，对收集例如加热装置的升温控制中的数据的情况进行说明。
[0070]首先，在初始状态，由于从外部接收到重置信号，FD/FP功能部2的重置部21将保持在频率信息处理部20中的操作频率信息(变更频率信息A、再变更频率信息B、反方向变更频率信息C)全部重置为O (图2的步骤S100)。
[0071]变更频率信息A表示利用设定值操作部10的设定值SP的变更的频率。再变更频率信息B表示利用设定值操作部10的设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时，再次利用设定值操作部10进行设定值SP的变更的频率。反方向变更频率信息C表示利用设定值操作部10的设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用设定值操作部10进行设定值SP的变更的频率，该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更。
[0072]温度调节计的控制动作一旦启动，温度调节计控制功能部I的操作量计算部13就根据周知的控制运算算法，计算出使从设定值输入部11输入的设定值SP和从控制量输入部12输入的控制量PV—致的操作量MV。作为控制运算算法，例如有PID。操作量输出部14将由操作量计算部13计算出的操作量MV输出给控制对象。在控制对象例如是加热处理炉的情况下，将电力供给至加热处理炉的加热器的电力调整器就成为操作量MV的实际的输出对象。温度调节计控制功能部I对每个控制周期重复执行这样的操作量MV的计算和输出。
[0073]温度调节计的操作者在想要变更设定值SP的情况下，操作设定值操作部10以进行设定值SP的变更。
[0074]FD/FP功能部2的频率信息处理部20在温度调节计控制功能部I的控制动作启动时，在设定值SP的变更通过设定值操作部10被进行的情况下(图2的步骤SlOl中:是)，根据该设定值SP的变更按下式那样更新变更频率信息A的值(图2的步骤S102)。
[0075]A — A+1...(I)
[0076]在图3的例子中，在时刻tl，设定值SP被从20°C变更为52°C，变更频率信息A增加1，从A = O更新至A= I。又，在时刻t3，设定值SP被从80°C变更为20°C，变更频率信息A被从A = 2更新为A = 3。又，在时刻t4，设定值SP被从20°C变更为88°C，变更频率信息A被从A = 3更新为A = 4。进一步地，在时刻t6，设定值SP被从80°C变更为20°C，变更频率信息A被从A = 5更新为A = 6。
[0077]频率信息处理部20将设定值SP的变更进行后的经过时间重置为O并开始经过时间的测量(图2的步骤S103)，在该经过时间在预先规定的时间以下时(图2的步骤S104中:是)，设定值SP的变更通过设定值操作部102被进一步进行的情况下(图2的步骤S105中:是)，根据该设定值SP的变更按式(I)那样更新变更频率信息A的值(图2的步骤S106)，同时按下式那样更新再变更频率信息B的值(图2的步骤S107)。
[0078]B — B+1...(2)
[0079]在图3的例子中，在时刻t2设定值SP被从52°C变更为80°C时，由于自时刻tl的经过时间在规定时间以下，因此在变更频率信息A增加1、从A = I被更新为A = 2的同时，再变更频率信息B增加1，从B = O被更新为B = I。
[0080]又，频率信息处理部20在设定值SP的变更进行后的经过时间在预先规定的时间以下时(步骤S104中:是)，设定值SP的变更通过设定值操作部10被进一步进行(步骤S105中:是)、该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更(取消操作)的情况下(图2的步骤S108中:是)，按下式那样更新反方向变更频率信息C的值(图2的步骤S109)。
[0081]C — C+1...(3)
[0082]在图3的例子中，在时刻t5设定值SP被从88°C变更为80°C时，由于自时刻t4的经过时间在规定时间以下，因此在变更频率信息A被从A = 4更新为A = 5的同时，再变更频率信息B被从B = I更新为B = 2，进一步地，由于该变更相对于时刻t4的设定值SP的变更是反方向的变更，因此反方向变更频率信息C也被从C = O更新为C = I。
[0083]FD/FP功能部2的警报输出部22在变更频率信息A的值超过预先规定的阈值Ta的情况下(图2的步骤SllO中:是)，将与此对应的警报Aa输出到温度调节计外部(图2的步骤SI 11)。
[0084]警报输出部22在再变更频率信息B的值超过预先规定的阈值Tb的情况下(图2的步骤S112中:是)，将与此对应的警报Ab输出到温度调节计外部(图2的步骤S113)。
[0085]又，警报输出部22在反方向变更频率信息C的值超过预先规定的阈值Tc的情况下(图2的步骤SI 14中:是)，将与此对应的警报Ac输出到温度调节计外部(图2的步骤S115)。另外，再变更频率信息B以及反方向变更频率信息C的值为零是理想的。作为警报Aa, Ab, Ac的输出形态，例如有向上位层次的PC等的警报信号的输出等。
[0086]每一定周期地重复执行以上那样的步骤SlOl?S115的处理，直到例如根据来自操作者的指令使FD/FP功能部2的动作结束(图2的步骤SI 16中:是)。该FD/FP功能部2的动作周期可以和温度调节计控制功能部I的控制周期相同，也可以不同。
[0087]根据以上所述，在本实施形态中，能够将FD/FP功能分散配置于简易型的装置控制层次(温度调节计等)，该FD/FP功能是将与设定值SP的设定变更相关的操作频率信息作为表示操作者的状态的信息进行处理的功能。即，只要是温度控制系统，就能够检测出操作者没有正常地操作控制器这一故障。
[0088][第二实施形态]
[0089]接下来，关于本发明的第二实施形态进行说明。图4是示出本发明的第二实施形态所涉及的故障检测系统的结构的框图，对与图1相同的结构赋予相同的符号。本实施形态是对应于上述发明原理2的例子。在本实施形态中，也对以简易型的控制器(温度调节计)实现故障检测系统的例子进行说明。本实施形态的故障检测系统由温度调节计控制功能部I和FD/FP功能部2a构成。
[0090]温度调节计控制功能部I的结构以及动作如在第一实施形态中所说明的那样。FD/FP功能部2a具有:在从外部接收到重置信号时，将保持在后面叙述的累计信息处理部中的操作累计信息重置为O的重置部21a ;在操作累计信息的值超过预先规定的阈值时，将警报输出到温度调节计外部的警报输出部22a ;以及对示出设定值操作部10变更设定值SP的变更幅度的累计的操作累计信息进行总计并保持的累计信息处理部23。
[0091]下面，参照图5、图6对本实施形态的故障检测系统的动作进行说明。图5是示出故障检测系统的动作的流程图，图6是示出故障检测系统的动作例的图。图6的横轴是时间，纵轴是控制量PV (温度)。
[0092]首先，在初始状态，由于从外部接收到重置信号，FD/FP功能部2a的重置部21a将保持在累计信息处理部23中的操作累计信息(变更累计信息D、再变更累计信息E、反方向变更累计信息F)全部重置为O (图5的步骤S200)。
[0093]变更累计信息D表示利用设定值操作部10的设定值SP的变更幅度的累计。再变更累计信息E表示利用设定值操作部10的设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时，再次利用设定值操作部10进行设定值SP的变更的情况下的变更幅度的累计。反方向变更累计信息F表示利用设定值操作部10的设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用设定值操作部10进行设定值SP的变更的情况下的变更幅度的累计，该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更。
[0094]FD/FP功能部2a的累计信息处理部23在温度调节计控制功能部I的控制动作启动时，设定值SP的变更通过设定值操作部10被进行的情况下(图5的步骤S201中:是)，检测出相对于变更前的设定值SP的值的设定值SP的变更幅度△ SP，并按下式那样更新变更累计信息D的值(图5的步骤S202)。
[0095]D — D+1 Λ SP 卜..(4)
[0096]在图6的例子中，在时刻110，设定值SP被从20°C变更为50°C，变更累计信息D仅增加变更幅度ASP的绝对值I ASPl = 32，并被从D = O更新为D = 32。又，在时刻tl2，设定值SP被从80°C变更为20°C，变更累计信息D仅增加变更幅度Λ SP的绝对值| Λ SP=60，并被从D = 60更新为D = 120。又，在时刻tl3，设定值SP被从20°C变更为88°C，变更累计信息D仅增加变更幅度Λ SP的绝对值I Λ SP I = 68，并被从D = 120更新为D =188。进一步地，在时刻tl5，设定值SP被从80°C变更为20°C，变更累计信息D仅增加变更幅度Λ SP的绝对值I Λ SP I = 60，并被从D = 196更新为D = 256。
[0097]累计信息处理部23将设定值SP的变更进行后的经过时间重置为O并开始经过时间的测量(图5的步骤S203)，在该经过时间在预先规定的时间以下时(图5的步骤S204中:是)，设定值SP的变更通过设定值操作部10被进一步进行的情况下(图5的步骤S205中:是)，检测出相对于变更前的设定值SP的值的设定值SP的变更幅度△ SP，并按式(4)那样更新变更累计信息D的值(图5的步骤S206)，同时按下式那样更新再变更累计信息E (图5的步骤S207)。
[0098]E — E+1 Λ SP 卜..(5)
[0099]在图6的例子中，在时刻til设定值SP被从52°C变更为80°C时，由于自时刻tlO的经过时间在规定时间以下，因此变更累计信息D仅增加变更幅度Λ SP的绝对值I ASP=28，并被从D = 32更新为D = 60，同时再变更累计信息E被从E = O更新为E = 28。
[0100]又，累计信息处理部23在设定值SP的变更进行后的经过时间在预先规定的时间以下时(步骤S204中:是)，设定值SP的变更通过设定值操作部10被进一步进行(步骤S205中:是)、该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更(取消操作)的情况下(图5的步骤S208中:是)，按下式那样更新反方向变更累计信息F的值(图5的步骤S209)。
[0101]F — F+1 ASP|...(6)
[0102]在图6的例子中，在时刻tl4设定值SP被从88°C变更为80°C时，由于自时刻tl3的经过时间在规定时间以下，因此在变更累计信息D仅增加变更幅度ASP的绝对值I ASP=8，并被从D = 188更新为D = 196的同时，再变更累计信息E被从E = 28更新为E =36，进一步地，由于该变更相对于时刻tl3的设定值SP的变更是反方向的变更，因此反方向变更累计信息F也被从F = O更新为F = 8。
[0103]FD/FP功能部2a的警报输出部22a在变更累计信息D的值超过预先规定的阈值Td的情况下(图5的步骤S210中:是)，将与此对应的警报Ad输出到温度调节计外部(图5的步骤S211)。
[0104]警报输出部22a在再变更累计信息E的值超过预先规定的阈值Te的情况下(图5的步骤S212中:是)，将与此对应的警报Ae输出到温度调节计外部(图5的步骤S213)。
[0105]又，警报输出部22a在反方向变更累计信息F的值超过预先规定的阈值Tf的情况下(图5的步骤S214中:是)，将与此对应的警报Af输出到温度调节计外部(图5的步骤S215)。另外，再变更累计信息E以及反方向变更累计信息F的值为零是理想的。作为警报Ad、Ae、Af的输出形态，例如有向上位层次的PC等的警报信号的输出等。
[0106]每一定周期地重复执行以上那样的步骤S201?S215的处理，直到例如根据来自操作者的指令使FD/FP功能部2a的动作结束(图5的步骤S216中:是)。
[0107]在本实施形态中，能够将FD/FP功能分散配置于简易型的装置控制层次(温度调节计等)，该FD/FP功能是将与设定值SP的设定变更相关的操作累计信息作为表示操作者的状态的信息进行处理的功能。即，只要是温度控制系统，就能够检测出操作者没有正常地操作控制器这一故障。如果并用本实施形态和第一实施形态的话，就能用上位层次的PC等进行更详细的分析。
[0108][第三实施形态]
[0109]接下来，对本发明的第三实施形态进行说明。图7是示出本发明的第三实施形态所涉及的故障检测系统的结构的框图，对与图1相同的结构赋予相同的符号。本实施形态是对应于上述发明原理1、发明原理3的例子。在本实施形态中，也对以简易型的控制器(温度调节计)实现故障检测系统的例子进行说明。本实施形态的故障检测系统由温度调节计控制功能部I和FD/FP功能部2b构成。
[0110]温度调节计控制功能部I的结构以及动作如在第一实施形态中所说明的那样。FD/FP功能部2b参照设定值SP和控制量PV，具有频率信息处理部20b、重置部21以及警报输出部22，该频率信息处理部20b对示出设定值操作部10变更设定值SP的变更的频率的操作频率信息进行总计并保持。
[0111]下面，参照图8、图9对本实施形态的故障检测系统的动作进行说明。图8是示出故障检测系统的动作的流程图，图9是示出故障检测系统的动作例的图。图9的横轴是时间，纵轴是控制量PV (温度)。
[0112]首先，在初始状态，由于从外部接收到重置信号，FD/FP功能部2b的重置部21将保持在频率信息处理部20b中的操作频率信息(变更频率信息A、再变更频率信息B、反方向变更频率信息C)全部重置为O (图8的步骤S300)。
[0113]FD/FP功能部2b的频率信息处理部20b在温度调节计控制功能部I的控制动作启动时，在设定值SP的变更通过设定值操作部10被进行的情况下(图8的步骤S301中:是)，根据该设定值SP的变更按式(I)那样更新变更频率信息A的值(图8的步骤S302)。
[0114]在图9的例子中，在时刻t20设定值SP被从20°C变更为52°C，变更频率信息A增力口 1，从A = O更新至A = I。又，在时刻t22，设定值SP被从80°C变更为20°C，变更频率信息A被从A = 2更新为A = 3。又，在时刻t23，设定值SP被从20°C变更为88°C，变更频率信息A被从A = 3更新为A = 4。进一步地，在时刻t25，设定值SP被从80°C变更为20°C，变更频率信息A被从A = 5更新为A = 6。
[0115]频率信息处理部20b参照设定值SP和控制量PV，在控制量PV达到变更后的设定值SP此前(图8的步骤S303中:否)，设定值SP的变更进一步通过设定值操作部10被进行的情况下(图8的步骤S304中:是)，根据该设定值SP的变更按式(I)那样更新变更频率信息A的值(图8的步骤S305)，同时，按式(2)那样更新再变更频率信息B的值(图8的步骤S306)。
[0116]在图9的例子中，在时刻t21设定值SP被从52°C变更为80°C时，由于控制量PV未达到此前被变更成的设定值SP = 52°C，因此在变更频率信息A增加1、从A = I被更新为A = 2的同时，再变更频率信息B增加1，从B = O被更新为B = I。
[0117]又，频率信息处理部20b在如上述所述控制量PV未达到设定值SP前(图8的步骤S303中:否)，设定值SP的变更进一步通过设定值操作部10被进行(图8的步骤S304中:是)，且在该步骤S304中进行的最新的设定值SP的变更相对于在步骤S301中进行的此前的设定值SP的变更是反方向的变更(取消操作)的情况下(图8的步骤S307中:是)，按式(3)那样更新反方向变更频率信息C的值(图8的步骤S308)。
[0118]在图9的例子中，在时刻t24设定值SP被从88°C变更为80°C时，由于控制量PV未达到此前被变更成的设定值SP = 88°C，因此在变更频率信息A被从A = 4更新为A = 5的同时，再变更频率信息B被从B = I更新为B = 2，进一步地，由于该变更相对于时刻t23的设定值SP的变更是反方向的变更，因此反方向变更频率信息C也被从C = O更新为C =
1
[0119]由于图8的步骤S309、S310、S311、S312、S313、S314的处理分别和图2的步骤S110、S111、S112、S113、S114、S115 相同，因此省略其说明。
[0120]每一定周期地重复执行以上那样的步骤S301?S314的处理，直到例如根据来自操作者的指令使FD/FP功能部2b的动作结束(图8的步骤S315中:是)。这样，采用本实施形态，能够检测出反馈控制系统中特有的非正常性操作。
[0121][第四实施形态]
[0122]在第三实施形态中，将上述发明原理3与第一实施形态(发明原理I)进行了组合，但是也可以将发明原理3与第二实施形态(发明原理2)进行组合。图10是示出本发明的第四实施形态所涉及的故障检测系统的结构的框图，对与图4相同的结构赋予相同的符号。本实施形态的故障检测系统由温度调节计控制功能部I和FD/FP功能部2c构成。
[0123]温度调节计控制功能部I的结构以及动作如在第一实施形态中所说明的那样。FD/FP功能部2c具有:重置部21a、警报输出部22a以及累计信息处理部23c，该累计信息处理部23c参照设定值SP和控制量PV，对示出设定值操作部10变更设定值SP的变更幅度的累计的操作累计信息进行总计并保持。
[0124]下面，参照图11对本实施形态的故障检测系统的动作进行说明。首先，在初始状态，由于从外部接收到重置信号，FD/FP功能部2c的重置部21a将保持在累计信息处理部23c中的操作累计信息(变更累计信息D、再变更累计信息E、反方向变更累计信息F)全部重置为0(图11的步骤S400)。
[0125]FD/FP功能部2c的累计信息处理部23c在温度调节计控制功能部I的控制动作启动时，设定值SP的变更通过设定值操作部10被进行的情况下(图11的步骤S401中:是)，检测出相对于变更前的设定值SP的值的设定值SP的变更幅度ASP，并按式(4)那样更新变更累计信息D的值(图11的步骤S402)。
[0126]累计信息处理部23c参照设定值SP和控制量PV，在控制量PV达到变更后的设定值SP前(图11的步骤S403中:否)，设定值SP的变更进一步通过设定值操作部10被进行的情况下(图11的步骤S404中:是)，检测出相对于变更前的设定值SP的值(步骤S401的变更后的设定值SP的值)的设定值SP的变更幅度ASP，并按式(4)那样更新变更累计信息D的值(图11的步骤S405)，同时，按式(5)那样更新再变更累计信息E (图11的步骤S406)。
[0127]又，累计信息处理部23c在如上述所述控制量PV未达到设定值SP前(图11的步骤S403中:否)，设定值SP的变更进一步通过设定值操作部10被进行(图11的步骤S404中:是)，且在该步骤S404中进行的最新的设定值SP的变更相对于在步骤S401中进行的此前的设定值SP的变更是反方向的变更(取消操作)的情况下(图11的步骤S407中:是)，按式(6)那样更新反方向变更累计信息F的值(图11的步骤S408)。
[0128]由于图11的步骤S409、S410、S411、S412、S413、S414的处理分别和图5的步骤S210、S211、S212、S213、S214、S215 相同，因此省略其说明。
[0129]每一定周期地重复执行以上那样的步骤S401?S414的处理，直到例如根据来自操作者的指令使FD/FP功能部2c的动作结束(图11的步骤S415中:是)。这样，采用本实施形态，能够与第三实施形态同样地检测出反馈控制系统中特有的非正常性操作。
[0130][第五实施形态]
[0131]接下来，对本发明的第五实施形态进行说明。本实施形态示出在加热装置的温度控制系统中应用了第一实施形态的故障检测系统的情况下的例子。图12是示出本实施形态的故障检测系统的结构的框图，对与图1相同的结构赋予相同的符号。本实施形态的故障检测系统由温度调节计控制功能部1、FD/FP功能部2以及FD/FP功能部3构成。
[0132]温度调节计控制功能部I和FD/FP功能部2的结构以及动作如在第一实施形态中所说明的那样。FD/FP功能部3具有:频率信息取得部30，其以预先规定的间隔取得保持在频率信息处理部20中的操作频率信息(变更频率信息A、再变更频率信息B、反方向变更频率信息C);重置信号发送部31，其在取得操作频率信息后将重置信号发送至重置部21 ;频率信息履历存储部32，其对由频率信息取得部30取得的操作频率信息进行存储；以及判定部33，其在最新的操作频率信息的值相对于存储在频率信息履历存储部32中的过去的任意操作频率信息的值的增加量超过预先规定的阈值时，输出警报，该警报示出向操作者没有正常地操作温度调节计的状态推移的危险性。
[0133]图13是示出成为本实施形态的应用对象的加热装置的结构的框图。加热装置由以下部分构成:对作为处理对象的被加热物进行加热的加热腔室100 ;电热器101 ;对加热腔室100内的温度进行测量的温度传感器102 ;对加热腔室100内的温度进行控制的温度调节计103 ;电力调整器104 ;供电电路105 ;以及对加热装置整体进行控制的PLC(可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller)) 106。
[0134]温度调节计103计算出使温度传感器102测量到的温度PV与温度设定值SP —致的操作量MV。电力调整器104决定与操作量MV相对应的电力，通过供电电路105将该决定了的电力供给至电热器101。这样，温度调节计103就对加热腔室100内的被加热物的温度进行控制。
[0135]图12的温度调节计控制功能部I和FD/FP功能部2被安装在温度调节计103中，FD/FP功能部3被安装在由比温度调节计103更上位层次的PC等构成的PLC106中。
[0136]下面，参照图14对本实施形态的故障检测系统的FD/FP功能部3的动作进行说明。
[0137]频率信息取得部30取得保持在FD/FP功能部2的频率信息处理部20b中的操作频率信息(变更频率信息A、再变更频率信息B、反方向变更频率信息C)(图14的步骤S500)。
[0138]取得操作频率信息后，频率信息取得部30对重置信号发送部31发出发送重置信号的指令。根据该指令，重置信号发送部31将重置信号发送给FD/FP功能部2的重置部21(图14的步骤S501)。重置部21的动作如在第一实施形态中所说明的那样。
[0139]频率信息履历存储部32对由频率信息取得部30取得的操作频率信息进行存储(图14的步骤S502)。
[0140]判定部33对由频率信息取得部30取得的最新的变更频率信息A和存储在频率信息履历存储部32中的过去的任意变更频率信息A进行比较，在最新的变更频率信息A的值相对于过去的变更频率信息A的值的增加量超过预先规定的阈值Tax的情况下(图14的步骤S503)，输出警报Xa，该警报Xa示出向操作者没有正常地操作温度调节计103的状态推移的危险性(图14的步骤S504)。
[0141]判定部33对由频率信息取得部30取得的最新的再变更频率信息B和存储在频率信息履历存储部32中的过去的任意的再变更频率信息B进行比较，在最新的再变更频率信息B的值相对于过去的再变更频率信息B的值的增加量超过预先规定的阈值Tbx的情况下(图14的步骤S505)，输出警报Xb，该警报Xb示出向操作者没有正常地操作温度调节计103的状态推移的危险性(图14的步骤S506)。
[0142]又，判定部33对由频率信息取得部30取得的最新的反方向变更频率信息C和存储在频率信息履历存储部32中的过去的任意的反方向变更频率信息C进行比较，在最新的反方向变更频率信息C的值相对于过去的反方向变更频率信息C的值的增加量超过预先规定的阈值Tcx的情况下(图14的步骤S507)，输出警报Xe，该警报Xe示出向操作者没有正常地操作温度调节计103的状态推移的危险性(图14的步骤S508)。作为警报Xa、Xb、Xe的输出形态，例如有LED的点灯、消息的显示以及声音输出等。
[0143]每一定周期地重复执行以上那样的步骤S500?S508的处理，直到例如根据来自操作者的指令使FD/FP功能部3的动作结束(图14的步骤S509中:是)。该FD/FP功能部3的动作周期被设定成比FD/FP功能部2的动作周期以及温度调节计控制功能部I的控制周期长的值。
[0144][操作者状态检测例]
[0145]在此，对将本实施形态的故障检测系统应用到了图13所示的加热装置的温度控制系统中的情况进行说明。在利用了加热装置的生产过程中，根据对象产品的不同有各种各样的温度变更，升温工序也是各种各样的，但是升温模式是有限的，在一周之中以平均的频率执行大致标准的升温模式。因此，设FD/FP功能部3的动作周期为一周。设阈值为Tax=50次，Tbx = 10次，Tcx = 5次。如图15所示那样将每一周的操作频率信息(变更频率信息A、再变更频率信息B、反方向变更频率信息C)记录在频率信息履历存储部32中。
[0146]如图15所明确示出的那样，由于在第27周和第28周示出了各自的再变更频率信息B的值至少相对于第2周的再变更频率信息B的值增加的部分(18次-7次=11次，22次-7次=15次)超过阈值Tbx = 10次，因此输出警报Xb。
[0147]又，由于在第28周示出了反方向变更频率信息C的值至少相对于第I周和第2周的反方向变更频率信息C的值增加的部分(8次-2次=6次)超过阈值Tcx = 5次，因此输出警报Xe。
[0148]如上所述，根据本实施形态，能够与第一实施形态相比进行更高级的操作者状态检测。根据本实施形态，生产过程管理者能够确认因操作者的交替等而导致的、向操作者没有正常地操作温度调节计103的状态推移的危险性，从而采取一些措施。
[0149]另外，在本实施形态中，将FD/FP功能部3应用到第一实施形态中，但是当然也可以将FD/FP功能部3应用到第二?第四实施形态中。在将FD/FP功能部3应用到第二、第四实施形态中的情况下，设置累计信息取得部和累计信息履历存储部来代替频率信息取得部30和频率信息履历存储部32，该累计信息取得部以预先规定的间隔取得被保持在累计信息处理部23、23c中的操作累计信息，该累计信息履历存储部对由累计信息取得部取得的操作累计信息进行存储，判定部33在最新的操作累计信息的值相对于存储在累计信息履历存储部中的过去的任意的操作累计信息的值的增加量超过预先规定的阈值时，输出警报即可。
[0150]另外，在【背景技术】中以EES的装置内分散配置为课题进行了提出，但是第一?第五实施形态不限于EES，在建筑物的空调控制、化学成套设备等中运用的装置控制层次也在对象范围内。
[0151]第一?第五实施形态中说明的故障检测系统可以通过具备CPU(中央处理单元(Central Processing Unit))、存储装置及界面的计算机和对这些硬件资源进行控制的程序来实现。CPU根据存放于存储装置中的程序，执行第一?第五实施形态中说明的处理。另夕卜，如上述说明的那样，在故障检测系统分散配置于多个装置中的情况下，各装置的CPU根据存放于各自装置的存储装置的程序来执行处理即可。
[0152]产业上的可利用性
[0153]本发明能够适用于对操作者没有正常地操作温度调节计等控制器的故障进行检测和预测的技术。
[0154]符号说明
[0155]1:温度调节计控制功能部，2、2a、2b、2c、3:FD/FP功能部，10:设定值操作部，11:设定值输入部，12:控制量输入部，13:操作量计算部，14:操作量输出部，20、20b:频率信息处理部，21、21a:重置部，22、22a:警报输出部，23、23c:累计信息处理部，30:频率信息取得部，31:重置信号发送部，32:频率信息履历存储部，33:判定部。
【权利要求】
1.一种故障检测系统，其特征在于，具有: 操作量计算单元，所述操作量计算单元基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出； 设定值操作单元，所述设定值操作单元用于根据操作者的操作对所述设定值SP进行设定变更； 频率信息处理单元，所述频率信息处理单元对示出利用该设定值操作单元进行的设定值SP的变更的频率的操作频率信息进行总计并保持；以及 重置单元，所述重置单元在从外部接收到重置信号时，将保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息重置为零。
2.如权利要求1所记载的故障检测系统，其特征在于， 所述操作频率信息是以下几项中的至少一项: 变更频率信息，所述变更频率信息示出所述设定值SP的变更的频率； 再变更频率信息，所述再变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率；以及反方向变更频率信息，所述反方向变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率，且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更。
3.如权利要求1所记载的故障检测系统，其特征在于， 所述操作频率信息是以下几项中的至少一项: 变更频率信息，所述变更频率信息示出所述设定值SP的变更的频率； 再变更频率信息，所述再变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后所述控制量PV达到变更后的设定值SP之前、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率；以及 反方向变更频率信息，所述反方向变更频率信息示出在所述设定值SP的变更进行后所述控制量PV达到变更后的设定值SP之前、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的频率，且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更。
4.如权利要求1至3中的任意一项所记载的故障检测系统，其特征在于，还具有 警报输出单元，所述警报输出单元在所述操作频率信息的值超过预先规定的阈值时，输出警报。
5.如权利要求1至3中的任意一项所记载的故障检测系统，其特征在于，还具有: 频率信息取得单元，所述频率信息取得单元以预先规定的间隔取得保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息； 重置信号发送单元，所述重置信号发送单元在所述操作频率信息的取得后将所述重置信号发送至所述重置单元； 频率信息履历存储单元，所述频率信息履历存储单元对由所述频率信息取得单元取得的操作频率信息进行存储；以及 判定单元，所述判定单元在最新的操作频率信息的值相对于存储在该频率信息履历存储单元中的过去的任意的操作频率信息的值的增加量超过预先规定的阈值时，输出警报。
6.一种故障检测系统，其特征在于，具有: 操作量计算单元，所述操作量计算单元基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出； 设定值操作单元，所述设定值操作单元用于根据操作者的操作对所述设定值SP进行设定变更； 累计信息处理单元，所述累计信息处理单元对示出该设定值操作单元变更设定值SP的变更幅度的累计的操作累计信息进行总计并保持；以及 重置单元，所述重置单元在从外部接收到重置信号时，将保持在所述累计信息处理单元中的操作累计信息重置为零。
7.如权利要求6所记载的故障检测系统，其特征在于， 所述操作累计信息是以下几项中的至少一项: 变更累计信息，所述变更累计信息示出所述设定值SP的变更幅度的累计； 再变更累计信息，所述再变更累计信息示出在所述设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的情况下的变更幅度的累计；以及 反方向变更累计信息，所述反方向变更累计信息示出在所述设定值SP的变更进行后的经过时间在规定时间以下时、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更的情况下的变更幅度的累计。
8.如权利要求6所记载的故障检测系统，其特征在于， 所述操作累计信息是以下几项中的至少一项: 变更累计信息，所述变更累计信息示出所述设定值SP的变更幅度的累计； 再变更累计信息，所述再变更累计信息示出在所述设定值SP的变更进行后所述控制量PV达到变更后的设定值SP之前、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更的情况下的变更幅度的累计；以及 反方向变更累计信息，所述反方向变更累计信息示出在所述设定值SP的变更进行后所述控制量PV达到变更后的设定值SP之前、再次利用所述设定值操作单元进行设定值SP的变更且该设定值SP的变更相对于此前的设定值SP的变更是反方向的变更的情况下的变更幅度的累计。
9.如权利要求6至8中的任意一项所记载的故障检测系统，其特征在于，还具有 警报输出单元，所述警报输出单元在所述操作累计信息的值超过预先规定的阈值时，输出警报。
10.如权利要求6至8中的任意一项所记载的故障检测系统，其特征在于，还具有: 累计信息取得单元，所述累计信息取得单元以预先规定的间隔取得保持在所述累计信息处理单元中的操作累计信息； 重置信号发送单元，所述重置信号发送单元在所述操作累计信息的取得后将所述重置信号发送至所述重置单元； 累计信息履历存储单元，所述累计信息履历存储单元对由所述累计信息取得单元取得的操作累计信息进行存储；以及 判定单元，所述判定单元在最新的操作累计信息的值相对于存储在该累计信息履历存储单元中的过去的任意的操作累计信息的值的增加量超过预先规定的阈值时，输出警报。
11.一种故障检测方法，其特征在于，包括: 操作量计算步骤，基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出； 频率信息处理步骤，用频率信息处理单元对示出通过操作者的操作进行的设定值SP的变更的频率的操作频率信息进行总计并保持；以及 重置步骤，在从外部接收到重置信号时，将保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息重置为零。
12.如权利要求11所记载的故障检测方法，其特征在于，还包括 警报输出步骤，在所述操作频率信息的值超过预先规定的阈值时，输出警报。
13.如权利要求11或12所记载的故障检测方法，其特征在于，还包括: 频率信息取得步骤，以预先规定的间隔取得保持在所述频率信息处理单元中的操作频率信息； 重置信号发送步骤，在所述操作频率信息的取得后发送所述重置信号； 频率信息履历存储步骤，将在所述频率信息取得步骤中取得的操作频率信息存储到频率信息履历存储单元中；以及 判定步骤，在最新的操作频率信息的值相对于存储在该频率信息履历存储单元中的过去的任意的操作频率信息的值的增加量超过预先规定的阈值时，输出警报。
14.一种故障检测方法，其特征在于，包括: 操作量计算步骤，基于设定值SP和控制量PV计算出操作量MV并输出； 累计信息处理步骤，用累计信息处理单元对示出操作者的操作变更设定值SP的变更幅度的累计的操作累计信息进行总计并保持；以及 重置步骤，在从外部接收到重置信号时，将保持在所述累计信息处理单元中的操作累计信息重置为零。
15.如权利要求14所记载的故障检测方法，其特征在于，还包括 警报输出步骤，在所述操作累计信息的值超过预先规定的阈值时，输出警报。
16.如权利要求14或15所记载的故障检测方法，其特征在于，还包括: 累计信息取得步骤，以预先规定的间隔取得保持在所述累计信息处理单元中的操作累计信息； 重置信号发送步骤，在所述操作累计信息的取得后发送所述重置信号； 累计信息履历存储步骤，将在所述累计信息取得步骤中取得的操作累计信息存储到累计信息履历存储单元中；以及 判定步骤，在最新的操作累计信息的值相对于存储在所述累计信息履历存储单元中的过去的任意的操作累计信息的值的增加量超过预先规定的阈值时，输出警报。
【文档编号】H01L21/66GK104465437SQ201410478109
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年9月18日 优先权日:2013年9月24日
【发明者】田中雅人 申请人:阿自倍尔株式会社