支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟，支撑组件用于支撑和固定石墨舟片，支撑组件包括：管状本体，设置有轴向通孔；气体通孔，设置在管状本体的外周面上，并与轴向通孔连通。应用本实用新型的支撑组件，通过在管状本体上设置连通轴向通孔的气体通孔，在支撑组件与石墨舟片配合时，轴向通孔内部的气体可以很容易从气体通孔处抽出，达到便于支撑组件内部气体易于被抽出的目的。
【专利说明】支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光伏领域，具体而言，涉及一种支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟O
【背景技术】
[0002]现有技术中，在PECVD工艺时，工艺炉管通过抽真空的方式使其炉管气压保持在工艺设定值后，这时陶瓷圈两端均与石墨舟片抵接，没有空隙，使得陶瓷圈的轴向通孔内依然存在部分气体，当通入工艺气体时，陶瓷圈内外气压差导致气体流动不均，造成色差，同时陶瓷圈里的气体影响工艺炉管内工艺气体的纯度，造成对镀膜的影响。
[0003]其中，PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition):等离子增强化学气相沉积，是一种太阳能电池生产制程中的镀膜方式。
[0004]石墨舟:是镀膜工序在进行镀膜时使用于承载硅片的载体。
[0005]色差:同类物质在颜色上的差异。
[0006]陶瓷圈:石墨舟用来支撑及固定石墨舟片的一种部件，它也叫陶瓷管、陶瓷套。实用新型内容 [0007]本实用新型旨在提供一种支撑组件及具有该支撑组件的石墨舟，以达到支撑组件内部的气体易于被抽出的目的。
[0008]为了实现上述目的，本实用新型提供了一种支撑组件，用于支撑和固定石墨舟片，支撑组件包括:管状本体，设置有轴向通孔；气体通孔，设置在管状本体的外周面上，并与轴向通孔连通。
[0009]进一步地，气体通孔为设置在管状本体的一侧端部的凹槽，凹槽由管状本体的外侧向内侧延伸。
[0010]进一步地，气体通孔为多个，间隔布置于管状本体的外周面上。
[0011]进一步地，多个气体通孔沿管状本体的周向间隔均布。
[0012]进一步地，在管状本体的外周面上，气体通孔的面积为S，其中，S≥1mm2。
[0013]本实用新型还提供了一种石墨舟，包括石墨舟片和设置在相邻两个石墨舟片之间的上述支撑组件。
[0014]应用本实用新型的支撑组件，通过在管状本体上设置连通轴向通孔的气体通孔，在支撑组件与石墨舟片配合时，轴向通孔内部的气体可以很容易从气体通孔处抽出，达到便于支撑组件内部气体易于被抽出的目的。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:[0016]图1为根据本实用新型支撑组件的实施例的主视结构示意图；
[0017]图2为图1的侧视结构示意图。
[0018]图中附图标记:10、管状本体；11、轴向通孔；20、气体通孔。
【具体实施方式】
[0019]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。
[0020]如图1和图2所示，本实用新型实施例提供了一种支撑组件，用于支撑和固定石墨舟片，支撑组件包括管状本体10和气体通孔20。其中，管状本体10设置有轴向通孔11。气体通孔20设置在管状本体10的外周面上，并与轴向通孔11连通。
[0021]通过在管状本体10上设置连通轴向通孔11的气体通孔20，在支撑组件与石墨舟片配合时，轴向通孔11内部的气体可以很容易从气体通孔20处抽出，达到便于支撑组件内部气体易于被抽出的目的。
[0022]本实用新型实施例中的气体通孔20为设置在管状本体10的一侧端部的凹槽，凹槽由管状本体10的外侧向内侧延伸。
[0023]在配合位置时，管状本体10的两端部均分别与对应的石墨舟片抵接，在抽真空过程中，石墨舟片 压紧于管状本体10的两端，此时，管状本体10与石墨舟片之间缝隙极小，内部气体不能由该缝隙抽出。但由于设置有凹槽，在抽真空时，轴向通孔11内部的气体能够顺利从凹槽抽出，使轴向通孔11内的气体排净。进而可以防止该气体影响内外气压差导致气体流动不均，造成色差，同时保证工艺炉管内处于真空状态，不会影响工艺炉管内工艺气体的纯度，造成对镀膜的影响。
[0024]本实用新型实施例中，凹槽在管状本体10的外表面所在的展开平面内的面积为
S,其中，S≥1mm2,且小于管状本体10的侧端部圆环的面积。
[0025]需要说明的是，本实用新型实施例中的凹槽的面积并不对本实用新型产生限制，上述凹槽的面积可以根据管状本体10的大小和型号进行调整，凡是满足上述结构特征的技术方案，均应在本申请的保护范围内。
[0026]优选地，本实用新型还提供了另一种实施例，例如，上述气体通孔20为多个，间隔布置于管状本体10的外周面上。
[0027]设置多个气体通孔20，可以更加快捷地将轴向通孔11内部的气体抽出，缩短抽真空的过程，提闻效率。
[0028]进一步地，可以将上述多个气体通孔20沿管状本体10的周向间隔均布。将气体通孔20周向均布，能够便于模具的制作，使量化生产支撑组件时更加便捷，成本较低。
[0029]需要说明的是，上述支撑组件可以为陶瓷圈，陶瓷管或陶瓷套，当然也可以由其他材料一体成型制成。
[0030]本实用新型还提供了一种石墨舟，包括石墨舟片和设置在相邻两个石墨舟片之间的上述支撑组件。
[0031 ] 进一步地，本实用新型还提供了一种光伏生产机械，包括上述石墨舟。
[0032]从以上的描述中，可以看出，本实用新型上述的实施例实现了如下技术效果:通过在管状本体上设置连通轴向通孔的气体通孔，在支撑组件与石墨舟片配合时，轴向通孔内部的气体可以很容易从气体通孔处抽出，达到便于支撑组件内部气体易于被抽出的目的。[0033] 以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种支撑组件，用于支撑和固定石墨舟片，其特征在于，所述支撑组件包括: 管状本体(10)，设置有轴向通孔(11)； 气体通孔(20)，设置在所述管状本体(10)的外周面上，并与所述轴向通孔(11)连通。
2.根据权利要求1所述支撑组件，其特征在于，所述气体通孔(20)为设置在所述管状本体(10)的一侧端部的凹槽，所述凹槽由所述管状本体(10)的外侧向内侧延伸。
3.根据权利要求1所述支撑组件，其特征在于，所述气体通孔(20)为多个，间隔布置于所述管状本体(10)的外周面上。
4.根据权利要求3所述支撑组件，其特征在于，多个所述气体通孔(20)沿所述管状本体(10)的周向间隔均布。
5.根据权利要求1所述支撑组件，其特征在于，在所述管状本体(10)的外周面上，所述气体通孔(20)的面积为S，其中，S≥1mm2。
6.一种石墨舟，包括石墨舟片和设置在相邻两个石墨舟片之间的支撑组件，其特征在于，所述支撑组件为根据权利要求1至5中任一项所述的支撑组件。
【文档编号】H01L21/673GK203782230SQ201420109936
【公开日】2014年8月20日 申请日期:2014年3月11日 优先权日:2014年3月11日
【发明者】王家道, 傅登峰, 吴卫平, 曾德栋 申请人:海南英利新能源有限公司